Powłoka SiC Taca epitaksjalna z krzemu monokrystalicznego

Powłoka SiC firmy VeTek semiconductor Taca epitaksjalna z krzemu monokrystalicznego została specjalnie zaprojektowana do wzrostu epitaksjalnego na krzemie monokrystalicznym i odgrywa ważną rolę w przemysłowych zastosowaniach epitaksjalnych z krzemu monokrystalicznego i pokrewnych urządzeń półprzewodnikowych.Powłoka sicnie tylko znacznie poprawia odporność na temperaturę i korozję tacy, ale także zapewnia długoterminową stabilność i doskonałą wydajność w ekstremalnych warunkach.

Zalety powłoki SiC

● Wysoka przewodność cieplna: Powłoka SiC znacznie poprawia zdolność zarządzania ciepłem tacy i może skutecznie rozpraszać ciepło wytwarzane przez urządzenia dużej mocy.

●  Odporność na korozję: Powłoka SIC działa dobrze w środowiskach o wysokiej temperaturze i korozyjnym, zapewniając długoterminową żywotność i niezawodność.

● Jednomości powierzchniowe: Zapewnia płaską i gładką powierzchnię, skutecznie unikając błędów produkcyjnych spowodowanych nierównościami powierzchni i zapewniając stabilność wzrostu epitaksjalnego.

Według badań, gdy wielkość porów podłoża grafitowego wynosi od 100 do 500 nm, na podłożu grafitowym można przygotować powłokę gradientową SiC, a powłoka SiC ma silniejsze właściwości przeciwutleniające. odporność na utlenianie powłoki SiC na tym graficie (krzywa trójkątna) jest znacznie większa niż w przypadku innych specyfikacji grafitu, odpowiednia do wzrostu epitaksji monokryształu krzemu. Powłoka SiC firmy VeTek Semiconductor Monokrystaliczna taca epitaksjalna z krzemu wykorzystuje grafit SGL jakopodłoże grafitowe, który jest w stanie osiągnąć taką wydajność.

SIC powlekanie SIC VEEK SIC, monokrystaliczny krzemowa taca epitaksjalna wykorzystuje najlepsze materiały grafitowe i najbardziej zaawansowaną technologię przetwarzania powlekania SIC. Co najważniejsze, bez względu na to, jakie dostosowanie produktu potrzebują klientów, możemy dołożyć wszelkich starań, aby się spotkać.

Podstawowe właściwości fizyczne powłok CVD SiC

Zakłady produkcyjne VeTek Semiconductor