Pierścień ogniskowania trawienia w osoczu

W dziedzinie produkcji opłat wskaźnik Veteka Semiconductor's Pierścień skupi się kluczową rolą. To nie tylko prosty komponent, ale odgrywa istotną rolę w procesie trawienia w osoczu. Po pierwsze, pierścień ogniskowania Etchig w osoczu jest zaprojektowany w celu zapewnienia, że ​​wafel jest mocno utrzymywany w pożądanej pozycji, zapewniając w ten sposób dokładność i stabilność procesu trawienia. Trzymając wafel na miejscu, pierścień ogniskowy skutecznie utrzymuje jednolitość gęstości plazmy, co jest niezbędne dla sukcesuProces trawienia.

Ponadto pierścień ostrości odgrywa również ważną rolę w zapobieganiu zanieczyszczeniu boku opłatek. Jakość i czystość waflów mają kluczowe znaczenie dla produkcji chipów, dlatego należy podjąć wszystkie niezbędne środki, aby upewnić się, że wafle pozostały czyste przez cały proces trawienia. Pierścień ostrości skutecznie zapobiega przedostawaniu się zewnętrznych zanieczyszczeń i zanieczyszczeń do boków powierzchni opłat, zapewniając w ten sposób jakość i wydajność produktu końcowego.

W przeszłości,Pierścienie skupiające siębyły głównie wykonane z kwarcu i krzemu. Jednak wraz ze wzrostem suchego trawienia w zaawansowanej produkcji opłat podwójne zapotrzebowanie na pierścienie skupione z węgliku krzemu (SIC) również rośnie. W porównaniu z czystymi pierścieniami krzemowymi pierścienie SIC są bardziej trwałe i mają dłuższy okres użytkowania, zmniejszając w ten sposób koszty produkcji. Pierścienie krzemowe należy wymieniać co 10 do 12 dni, podczas gdy pierścienie SIC są wymieniane co 15–20 dni. Obecnie niektóre duże firmy, takie jak Samsung, badają stosowanie ceramiki węgla boru (B4C) zamiast SIC. B4C ma wyższą twardość, więc urządzenie trwa dłużej.

W sprzęcie do trawienia w osoczu instalacja pierścienia ostrości jest niezbędna do trawienia w osoczu powierzchni podłoża na podstawie w naczyniu do obróbki. Pierścień ogniskowania otacza podłoże z pierwszym regionem po wewnętrznej stronie powierzchni, który ma niewielką średnią chropowatość powierzchni, aby zapobiec przechwytywaniu i osadzaniu produktów reakcyjnych podczas trawienia. 

Jednocześnie drugi region poza pierwszym regionem ma dużą średnią chropowatość powierzchni, aby zachęcić produkty reakcyjne wygenerowane podczas procesu trawienia do przechwytywania i zdeponowania. Granica między pierwszym regionem a drugim regionem jest częścią, w której ilość trawienia jest stosunkowo znacząca, wyposażona w pierścień ogniskowy w urządzeniu do trawienia w osoczu, a na podłożu wykonywane jest trawienie w osoczu.

VETEKSEMICON PRODUKTY SKLEPS: