SIC powlekany e-chuck

Gdy azotek gali (GAN) staje się podstawowym materiałem półprzewodnika trzeciej generacji, jego zastosowania w polach o wysokiej częstotliwości i optoelektronice nadal się rozwijają, takie jak stacje bazowe komunikacyjne 5G, moduły zasilania i urządzenia LED. Jednak w produkcji półprzewodników, szczególnie w procesie trawienia, płytki muszą być poddane wysokiej temperaturze, wysokim środowisku korozji chemicznej i wyjątkowo wysoki precyzyjnie wymagania procesu, które przedstawiają wyjątkowo wysokie standardy techniczne dla narzędzi łożysk opłat.

SIC Ceramiczne palety VETEK SECINDUCTOR są przeznaczone do trawienia waflowego GAN i oferują wysoką czystość, doskonałą odporność na ciepło i chemiczne, aby wspierać proces produkcyjny. Jest odpowiedni do procesu trawienia w osoczu (ICP/RIE) i jest idealnym wyborem we współczesnym sprzęcie produkcyjnym półprzewodników.

Podstawowe mocne strony

1. Materiał ceramiczny o wysokiej czystości

Stabilność chemiczna: czystość materiału wynosi ponad 99,5%, a wafel Gan nie ma zanieczyszczenia.

Wysoka twardość i odporność na zużycie: twardość blisko diamentu, zdolna do wytrzymania użycia wysokiej częstotliwości, niewidoczne zmiany i zarysowania.

2. Doskonała wydajność termiczna

Wysoka przewodność cieplna, współczynnik dopasowany do GAN rozszerzalności cieplnej (CTE): Zmniejsz ryzyko pęknięcia wafla w procesie trawienia.

3. Super chemiczna odporność na korozję

Przez długi czas może działać w wysokim stężeniu fluorku, chlorku i innych środowisk żonorowych.

4. Precyzyjna konstrukcja i obróbka

Chropowatość powierzchni i płaskość zapewniają gładkie układanie i trawienie waflowe, aby spełnić wysokie wymagania dotyczące precyzyjnego procesu.

Wymiary, rowki, stałe otwory i inne struktury można dostosować zgodnie z wymaganiami klientów.

Pole aplikacji E-Chuck powlekane SIC

● Trawienie w osoczu (ICP/RIE)

Zapewnia utrwalenie i wsparcie w środowisku korozji o wysokiej temperaturze i wysokiej chemicznej, odpowiednie do procesu trawienia GAN, SIC i innych materiałów.

● Transfer i przechowywanie opłatek

Zapewnij wysoce płaską i wolną od zanieczyszczenia platformę do ochrony bezpieczeństwa wafla w procesie produkcyjnym.

Dostosowane usługi

VETEK Semiconductor oferuje dostosowane usługi w celu zaspokojenia konkretnych potrzeb procesowych:

● Dostosowywanie rozmiaru: Rozmiar palety można dostosować zgodnie z rozmiarem opłat (Ø4 ~ 12 cali).

● Optymalizacja struktury: Wsparcie rowka, otwór pozycjonujący, stały punkt i inne dostosowanie struktury.

To półprzewodnikSIC Coated E-Chuck Products Sklepy: