Próżniowy chuck

Aplikacja: 

Wysoko wydajność próżni wykonana dla precyzyjnej adsorpcji i mocnej utrwalenia płytek i wlewków. Jest dobrze dostosowany do sytuacji, w tym produkcja półprzewodników, cięcie opłat, precyzyjne przetwarzanie, epitaxy o wysokiej temperaturze, trawienie i implantacja jonów.

Parametry podstawowe:

● Regulowana porowatość (od 10 do 200 μm).
● Zdolny do wytrzymania ultra -wysokich temperatur (do ≤1600 ° C) i wykazywania doskonałej odporności na wstrząsy termiczne.
● Próżnia adsorpcji: standard to - 90 kPa (możliwe do osiągnięcia 100 kPa).

● Wymiary kubka ssącego: mogą obsługiwać 4/6/8/12 - calowe wafle, a rozmiar wlewki można dostosować zgodnie z określonymi potrzebami.

Ⅰ. Opis

Veteksemicon Ceramic Vacuum Chuck wykorzystuje połączoną strukturę porowatej ceramiki i metalowego pierścienia zewnętrznego. Poprzez spersonalizowany projekt kanałów i porów powietrza zdaje sobie sprawę z równomiernego rozkładu siły adsorpcji i wysokiej stabilności. Ten chuck dopasowuje się do produkcji półprzewodników, cięcia opłat, precyzyjnego przetwarzania itp. Może działać w ustawieniach ruchu o wysokiej temperaturze i wysokiej prędkości i spełnia wymagania kompatybilności płytek/wlewków w różnych rozmiarach.

Ⅱ. Podstawowa struktura i zalety materialne

Złożony układ wielowarstwowy:

✔ Warstwa powierzchniowa: Wykonane z porowatej ceramiki (można wybierać między porowatym węglikiem krzemowym lub porowatym grafitem). Średnicę porów można dostosować (10–200 μm), co gwarantuje, że siła adsorpcyjna jest równomiernie przenoszona na powierzchnię opłatek, zapobiegając w ten sposób lokalnym budowaniu naprężeń.

✔ Matryca: Złożony z wysoce sztywnej metalowej ramy (stali nierdzewnej lub stopu aluminium), aby zapewnić wsparcie strukturalne i szczelność.

✔ Drogi oddechowe i pory: Dokładnie obrabiane wewnętrzne drogi oddechowe tworzą sieć wraz z równomiernie rozmieszczonymi mikroporami. Ta konfiguracja obsługuje szybką ekstrakcję próżniową (siła adsorpcji może osiągnąć - 90 kPa) i natychmiastowe uwalnianie.

Ⅲ . Porównanie MACharakterystyka terialna

1. Porównanie właściwości materiału

2. Scenariusze aplikacji i przypadki

✔ Półprzewodnik Fabricatio

Wzrost epitaksjalny: może zdecydowanie adsorbować płytki SIC w wysokich temperaturach, zapobiegając wypaczeniu wafli i zanieczyszczenia.

Litografia i trawienie: Umożliwia precyzyjne pozycjonowanie na platformach o wysokiej prędkości (przyspieszenie ≤10g), zapewniając dokładność wyrównania graficznego.

✔ Przetwarzanie wlewków

Krojenie i szlifowanie: może adsorbować ciężkie wlewki (takie jak szafir i krzemion - wlewki węglika), zmniejszając pękanie krawędzi z powodu wibracji.

✔ Badania naukowe i technologie specjalne

Wysokie wyższe temperatury: porowate krzem ssący krzem - węglika ssące mogą działać w sposób ciągły w 1600 ° C bez deformacji lub zanieczyszczenia wentylacyjnym.

Powłoka próżniowa: Przy projekcie szczelności o wysokiej zawartości powietrza może dostosować się do środowiska wnęki PVD/CVD.

3. Dostosowań usług

✔ Oferujemy dostosowywanie rozmiaru i obciążenia.

✔ Stomata i drogi oddechowe mogą być zoptymalizowane w celu spełnienia określonych wymagań.

✔ Można go dostosować do specjalnych środowisk.

Ⅳ. FAQ:

W jaki sposób próżniowe uchwyty osiągają kompatybilność z waflami o wielu rozmiarach (np. 12/8/6 ")?

P: W jaki sposób pojedynczy Chuck zmierza jednocześnie w 12-calowym, 8-calowym i 6-calowym waflu? Czy restrukturyzacja fizyczna jest konieczna?

A:Wielowymiarowa kompatybilność poprzez adaptacyjne partycjonowanie dróg oddechowych i stomatalne:

✔ Dynamiczna kontrola jamy ustnej: Szybki na powierzchni frajera są rozmieszczone w obszarze pierścienia, a obwód powietrza w różnych obszarach jest kontrolowany przez zawór zewnętrzny.

Na przykład, podczas pochłaniania 8-calowego wafla, włączane są tylko pory w obszarze środkowym, a pory zewnętrzne są zamknięte (w celu uniknięcia wycieku siły adsorpcji).

✔ Elastyczna konstrukcja dróg oddechowych: Sieć portów ma modułowy układ, który pasuje do profili krawędzi waflowych o różnych rozmiarach, aby zapewnić jednolite pokrycie siły adsorpcji. I Zalety są następujące:

Zero Wymiana sprzętu: Nie trzeba usuwać ani wymieniać kubka ssącego, poprzez oprogramowanie lub przełącznik zaworu gazowego można dostosować do różnych rozmiarów.

Oszczędności kosztów: Zmniejsz koszty remontu sprzętu i przestoje oraz zwiększ elastyczność linii produkcyjnej.