Ceramiczny elektrostatyczny chuck

Procesy produkcji półprzewodników, zwłaszcza przetwarzanie waflów, są przeprowadzane w środowisku próżniowym, a mechanicznie zaciskające wafle przenoszą 

pewne ryzyko. Gdy siła koncentruje się na punkcie zacisku, kruche płytki krzemowe mogą zrzucić drobne fragmenty, powodując poważne uszkodzenie produkcji wafla.

W tym przypadku ceramiczny chuck elektrostatyczny staje się lepszym wyborem, który naprawia wafel za pomocą siły elektrostatycznej. Siła elektrostatyczna działa równomiernie na waflu, więc wafel można mocno naprawić, poprawiając dokładność procesu.

Według odpowiednich artykułów badawczych ceramiczny elektrostatyczny Chuck ma silniejsze ssanie niż inne chucki elektrostatyczne. Na przykład ceramiczny elektrostatyczny chuck ma znacznie silniejsze ssanie niż elektrostatyczne folia folii.

Ceramika Chuck jest zwykle wykonana z wysokowydajnych materiałów ceramicznych, takich jak AL2O3, ALN lub SIC, które mają wysoką odporność na ciepło, izolację i oporność na korozję. Porowaty ceramiczny Chuck jest nie tylko stabilny w ekstremalnych temperaturach, ale także skutecznie zapobiega degradacji ceramicznego e-chuck z powodu odczynników chemicznych i trawienia w osoczu podczas procesu produkcyjnego.

Kontrola temperatury: Wysoka przewodność cieplna i stabilne właściwości termiczne materiałów ceramicznych umożliwiają ceramiczną próżnię glinu w celu skutecznego kontroli temperatury, optymalizując w ten sposób rozkład temperatury podczas procesu.

Zdolność adaptacji próżniowej: Ceramiczny elektrostatyczny chuck jest odpowiedni do środowisk próżniowych, szczególnie w procesach trawienia o niskim ciśnieniu i precyzyjnym.

Niski wytwarzanie cząstek: Porowata ceramiczna e-chuck ma gładką powierzchnię, która może zmniejszyć zanieczyszczenie cząstek podczas mocowania opłat i pomóc poprawić wydajność produktu.

Zastosowanie: Głównie stosowane w produkcji półprzewodnikowej, odłączany ceramiczny elektrostatyczny chuck zapewniający precyzyjne pozycjonowanie i stabilność, co jest bardzo pomocne w litografii, trawienia i innych procesach produkcyjnych przetwarzania waflu półprzewodników. Upewnij się, że wafel jest nienaruszony podczas przetwarzania i poprawia jakość produkcji chipów.

To półprzewodnikCeramiczne sklepy produkcyjne E-Chuck: