Alumina ceramiczna próżnia

Alumina ceramiczna próżniowa chuck jest właścicielem wafla do procesów epitaksjalnych w przetwarzaniu półprzewodnikowym. Jest to kluczowe narzędzie do stabilizacji płytek i zapewnienia jednolitego wzrostu warstw epitaksjalnych. Jest szeroko stosowany w sprzęcie epitaksjalnym, takim jakMOCVDILPCVD.

VETEK półprzewodnik glinu ceramiczny próżnia Chuck odgrywa istotną rolę w stadiach przerzedzania płytki i szlifowania produkcji półprzewodników. Etapy te obejmują precyzyjnie zmniejszenie grubościpodłoże opłatAby zwiększyć rozpraszanie ciepła, co jest niezbędne dla poprawy wydajności i żywotności urządzeń półprzewodnikowych.

Kompatybilny z wieloma rozmiarami płytek: Vetek półprzewodnik glinu ceramiczny Chuck jest zaprojektowany do obsługi szerokiej gamy rozmiarów płytek, w tym 2, 3, 4, 5, 6, 8 i 12 cali. Ta zdolność adaptacyjna sprawia, że ​​nadaje się do różnych środowisk produkcyjnych półprzewodników, zapewniając spójną i niezawodną wydajność w różnych rozmiarach płytek.

Kompozycja materiału doskonałego: Podstawa ceramicznej próżni glinu jest wykonana z ultra-pure 99,9999% tlenku glinu (AL₂O₃), który oferuje doskonałą odporność na atak chemiczny i stabilność termiczną. Powierzchnia chucka jest wykonana z porowatejwęglik krzemowy (sic). Porowaty materiał ceramiczny ma gęstą i jednolitą strukturę, która poprawia jego trwałość i wydajność.

KorzyściPorowata technologia ceramiczna：

Czystość materialna i trwałość: Wykonane z 99,99% czystego tlenku glinu, nasz ceramiczny próżnia glinu Chuck opiera się na ataku chemicznym i oferuje doskonałą stabilność termiczną, co czyni go idealnym dla bardzo wymagających środowisk produkcyjnych.

Optymalna porowatość i przepuszczalność powietrza: Równomiernie rozłożone mikropory zapewniają doskonałą przepuszczalność powietrza i jednolitą siłę adsorpcji, co powoduje płynne i spójne działanie.

Zwiększona płaskość i równoległość: Mikroporowate ceramiczne chucki próżniowe mają doskonałą płaskość i równoległość, zapewniając precyzyjne obchodzenie się i stabilność wafla.

Dostosowane możliwości serwisowe: Vetesemi może zapewnić różne konfigurowalne kształty, w tym okrągłe, kwadratowe, pierścień i inne wzory o grubości od 3 mm do 10 mm. To dostosowanie zapewnia, że ​​nasze ceramiczne chucki z glinu zaspokajają szczególne potrzeby różnych procesów produkcyjnych półprzewodników i są zdecydowanie idealnym wyborem.

VETEK Semiconductor jest zaangażowany w dostarczanie zaawansowanych rozwiązań technologicznych i produktów dla przemysłu półprzewodnikowego i mamy szczerą nadzieję, że będzie twoim długoterminowym partnerem w Chinach.

.Formuła chemicznaAlumina Ceramics：

To półprzewodnikAlumina ceramiczna próżniowe sklepy chuck: