Powłoka z węglika tantalu

Firma VeTek semiconductor jest wiodącym producentem materiałów powłokowych z węglika tantalu dla przemysłu półprzewodników. Nasza główna oferta produktów obejmuje części z powłoką z węglika tantalu CVD, części ze spiekanej powłoki TaC do hodowli kryształów SiC lub procesu epitaksji półprzewodników. Przeszedł ISO9001, VeTek Semiconductor ma dobrą kontrolę nad jakością. Firma VeTek Semiconductor pragnie stać się innowatorem w branży powłok z węglika tantalu poprzez ciągłe badania i rozwój technologii iteracyjnych.

Głównymi produktami sąPierścień prowadzący pokryty TaC, Trójpłatkowy pierścień prowadzący pokryty powłoką CVD TaC, Halfmoon pokryty węglikiem tantalu TaC, Susceptor epitaksjalny planetarny SiC z powłoką CVD TaC, Pierścień z powłoką z węglika tantalu, Porowaty grafit pokryty węglikiem tantalu, Susceptor rotacji powłoki TaC, Pierścień z węglika tantalu, Płytka obrotowa z powłoką TaC, Susceptor waflowy pokryty TaC, Pierścień deflektora pokryty TaC, Powłoka CVD TaC, Uchwyt pokryty TaCitp., czystość jest poniżej 5 ppm, może spełnić wymagania klienta.

Grafit z powłoką TaC powstaje poprzez pokrycie powierzchni podłoża grafitowego o wysokiej czystości cienką warstwą węglika tantalu w opatentowanym procesie chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD). Zaletę pokazano na poniższym obrazku:

Excellent properties of TaC coating graphite

Powłoka z węglika tantalu (TaC) zyskała na popularności ze względu na wysoką temperaturę topnienia do 3880°C, doskonałą wytrzymałość mechaniczną, twardość i odporność na szoki termiczne, co czyni ją atrakcyjną alternatywą dla złożonych procesów epitaksji półprzewodnikowej o wyższych wymaganiach temperaturowych, takie jak system Aixtron MOCVD i proces epitaksji LPE SiC. Ma również szerokie zastosowanie w procesie wzrostu kryształów SiC metodą PVT.

Kluczowe funkcje:

●Stabilność temperatury

●Bardzo wysoka czystość

●Odporność na H2, NH3, SiH4,Si

●Odporność na zapasy termiczne

●Silna przyczepność do grafitu

●Konformalne pokrycie powłoką

● Rozmiar do średnicy 750 mm (jedyny producent w Chinach osiąga ten rozmiar)

Aplikacje:

●Nośnik opłatków

● Indukcyjny wspornik grzejny

● Rezystancyjny element grzejny

●Dysk satelitarny

●Głowica prysznicowa

●Pierścień prowadzący

●Odbiornik LED Epi

●Dysza wtryskowa

●Pierścień maskujący

● Osłona termiczna

Powłoka z węglika tantalu (TaC) na mikroskopijnym przekroju poprzecznym:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parametr powłoki z węglika tantalu VeTek Semiconductor:

Właściwości fizyczne powłoki TaC
Gęstość	14,3 (g/cm3)
Specyficzna emisyjność	0.3
Współczynnik rozszerzalności cieplnej	6,3 10^-6/K
Twardość (HK)	2000 HK
Opór	1×10^-5Om*cm
Stabilność termiczna	<2500 ℃
Zmiany rozmiaru grafitu	-10~-20um
Grubość powłoki	Typowa wartość ≥20um (35um±10um)

Dane EDX powłoki TaC：

EDX data of TaC coating

Dane dotyczące struktury kryształu powłoki TaC:

Element	Procent atomowy
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Przeciętny
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
Ich	47.90	42.59	47.63	46.04

Uchwyt z powłoką TaC Dysk planetarny z powłoką TaC
Płyta pokryta TaC Płytka obrotowa z powłoką TaC Odbiornik powłoki TaC Powłoka CVD TaC Pierścień z powłoką CVD TaC Płyta z powłoką TaC

View as

Płyta obrotowa powłoki TAC

Płytka obrotowa powłoki TAC wytwarzana przez Vetek Semiconductor oferuje wyjątkową powłokę TAC, z wyjątkową powłoką TAC, płyta obrotowa powłoki TAC mają niezwykłą oporność w wysokiej temperaturze i bezczynność chemiczną, która wyróżnia ją od tradycyjnych roztworów. Zobowiązujemy się do zapewnienia wysokiej jakości produktów w konkurencyjnych cenach i czekali na to, że jest to twój partner z długich czasów.

Zobacz więcej >> Wyślij zapytanie >>

Płyta powłoki TAC

Zaprojektowany z precyzyjną i zaprojektowaną do perfekcji, płyta powłokowa TAC VETEK Semiconductor jest specjalnie dostosowana do różnych zastosowań w procesach z węglików krzemowych (SIC), zapewniającą bezsilne kompatybilność i wydajność płyty TAC. Jego niezawodna wydajność i wysokiej jakości powłoki przyczyniają się do spójnych i jednolitych wyników w zastosowaniach SIC Crystal Wzrost. Zobowiązujemy się do dostarczania wysokiej jakości produktów w konkurencyjnych cenach i oczekujemy od długoterminowego partnera w Chinach.

Zobacz więcej >> Wyślij zapytanie >>

Pokrywa powlekania CVD TAC

Pokrywa powlekania CVD TAC dostarczona przez VETEK Semiconductor jest wysoce wyspecjalizowanym komponentem zaprojektowanym specjalnie do wymagających aplikacji. Dzięki zaawansowanym funkcjom i wyjątkowej wydajności nasza pokrywa powłoki CVD TAC oferuje kilka kluczowych zalet. Nasz pokrywa CVD TAC zapewnia niezbędną ochronę i wydajność wymaganą do sukcesu. Nie możemy się doczekać zbadania potencjalnej współpracy z Tobą!

Zobacz więcej >> Wyślij zapytanie >>

TAC Coating Planetary Sensceptor

TAC Coating Planetary Wathceptor to wyjątkowy produkt dla urządzeń epitaxy Aixtron. Powłoka TAC Veteka Semiconductor zapewnia doskonałą oporność w wysokiej temperaturze i bezwładność chemiczną. Ta unikalna kombinacja zapewnia niezawodną wydajność i długą żywotność usług, nawet w wymagających środowiskach. VETEK jest zaangażowany w dostarczanie wysokiej jakości produktów i służenie jako długoterminowy partner na chińskim rynku z konkurencyjnymi cenami.

Zobacz więcej >> Wyślij zapytanie >>

TAC Coating Coking Talerz wspornika

Powłoka TAC może wytrzymać wysoką temperaturę 2200 ℃. Vetek Semiconductor zapewnia powłokę TAC o dużej czystości z zanieczyszczeniami poniżej 5ppm w Chinach. TAC Coating Coking Plate jest w stanie wytrzymać wodór amoniaku, argoninę w komorze reakcyjnej urządzenia epitaksjalnego. Poprawia żywotność usługi produktu. Zapewniasz wymagania, zapewniamy dostosowanie.

Zobacz więcej >> Wyślij zapytanie >>

Powłoka TAC Chuck

Powłoka TAC VEEK Semiconductor Chuck ma wysokiej jakości powłokę powierzchniową, znaną z wybitnej oporności w wysokiej temperaturze i bezwładności chemicznej, szczególnie w procesach epitaxy węgla krzemu (SIC) (EPI). Dzięki wyjątkowym funkcjom i doskonałej wydajności, nasza powłoka TAC Chuck oferuje kilka kluczowych zalet. Jesteśmy zaangażowani w dostarczanie wysokiej jakości produktów w konkurencyjnych cenach i oczekujemy, że będziemy twoim długoterminowym partnerem w Chinach.

Zobacz więcej >> Wyślij zapytanie >>

Jako profesjonalny producent i dostawca w Chinach mamy własną fabrykę. Niezależnie od tego, czy potrzebujesz dostosowanych usług, aby zaspokoić konkretne potrzeby twojego regionu, czy chcesz kupić zaawansowane i trwałe Powłoka z węglika tantalu wyprodukowane w Chinach, możesz zostawić nam wiadomość.

Kod QR

O nas

Produkty

Skontaktuj się z nami

Telefon
+86-18069220752
Faks
+86-579-87223657
E-mail
anny@veteksemi.com
Adres
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, prowincja Zhejiang, Chiny

Menu internetowe

Wyszukiwarka produktów

Język

Wyjdź z menu

Powłoka z węglika tantalu

Kluczowe funkcje:

Aplikacje:

Powłoka z węglika tantalu (TaC) na mikroskopijnym przekroju poprzecznym:

Parametr powłoki z węglika tantalu VeTek Semiconductor:

Dane EDX powłoki TaC：

Dane dotyczące struktury kryształu powłoki TaC:

Płyta obrotowa powłoki TAC

Płyta powłoki TAC

Pokrywa powlekania CVD TAC

TAC Coating Planetary Sensceptor

TAC Coating Coking Talerz wspornika

Powłoka TAC Chuck

Wyślij zapytanie

Kod QR

O nas

Produkty

Skontaktuj się z nami

Telefon

Faks

E-mail

Adres