Menu internetowe

Wyszukiwarka produktów

Język

Produkty

Powłoka z węglika tantalu

Firma VeTek semiconductor jest wiodącym producentem materiałów powłokowych z węglika tantalu dla przemysłu półprzewodników. Nasza główna oferta produktów obejmuje części z powłoką z węglika tantalu CVD, części ze spiekanej powłoki TaC do hodowli kryształów SiC lub procesu epitaksji półprzewodników. Przeszedł ISO9001, VeTek Semiconductor ma dobrą kontrolę nad jakością. Firma VeTek Semiconductor pragnie stać się innowatorem w branży powłok z węglika tantalu poprzez ciągłe badania i rozwój technologii iteracyjnych.


Głównymi produktami sąPierścień prowadzący pokryty TaC, Trójpłatkowy pierścień prowadzący pokryty powłoką CVD TaC, Halfmoon pokryty węglikiem tantalu TaC, Susceptor epitaksjalny planetarny SiC z powłoką CVD TaC, Pierścień z powłoką z węglika tantalu, Porowaty grafit pokryty węglikiem tantalu, Susceptor rotacji powłoki TaC, Pierścień z węglika tantalu, Płytka obrotowa z powłoką TaC, Susceptor waflowy pokryty TaC, Pierścień deflektora pokryty TaC, Powłoka CVD TaC, Uchwyt pokryty TaCitp., czystość jest poniżej 5 ppm, może spełnić wymagania klienta.


Grafit z powłoką TaC powstaje poprzez pokrycie powierzchni podłoża grafitowego o wysokiej czystości cienką warstwą węglika tantalu w opatentowanym procesie chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD). Zaletę pokazano na poniższym obrazku:


Excellent properties of TaC coating graphite


Powłoka z węglika tantalu (TaC) zyskała na popularności ze względu na wysoką temperaturę topnienia do 3880°C, doskonałą wytrzymałość mechaniczną, twardość i odporność na szoki termiczne, co czyni ją atrakcyjną alternatywą dla złożonych procesów epitaksji półprzewodnikowej o wyższych wymaganiach temperaturowych, takie jak system Aixtron MOCVD i proces epitaksji LPE SiC. Ma również szerokie zastosowanie w procesie wzrostu kryształów SiC metodą PVT.


Kluczowe funkcje:

 ●Stabilność temperatury

 ●Bardzo wysoka czystość

 ●Odporność na H2, NH3, SiH4,Si

 ●Odporność na zapasy termiczne

 ●Silna przyczepność do grafitu

 ●Konformalne pokrycie powłoką

 ● Rozmiar do średnicy 750 mm (jedyny producent w Chinach osiąga ten rozmiar)


Aplikacje:

 ●Nośnik opłatków

 ● Indukcyjny wspornik grzejny

 ● Rezystancyjny element grzejny

 ●Dysk satelitarny

 ●Głowica prysznicowa

 ●Pierścień prowadzący

 ●Odbiornik LED Epi

 ●Dysza wtryskowa

 ●Pierścień maskujący

 ● Osłona termiczna


Powłoka z węglika tantalu (TaC) na mikroskopijnym przekroju poprzecznym:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


Parametr powłoki z węglika tantalu VeTek Semiconductor:

Właściwości fizyczne powłoki TaC
Gęstość 14,3 (g/cm3)
Specyficzna emisyjność 0.3
Współczynnik rozszerzalności cieplnej 6,3 10-6/K
Twardość (HK) 2000 HK
Opór 1×10-5Om*cm
Stabilność termiczna <2500 ℃
Zmiany rozmiaru grafitu -10~-20um
Grubość powłoki Typowa wartość ≥20um (35um±10um)


Dane EDX powłoki TaC：

EDX data of TaC coating


Dane dotyczące struktury kryształu powłoki TaC:

Element Procent atomowy
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Przeciętny
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
Ich 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
TRZY PIERŚCIJ TRZECE

TRZY PIERŚCIJ TRZECE

VETEK Semiconductor jest wiodącym trzema-petalowym producentem i innowatorem TAC w Chinach. Od wielu lat specjalizujemy się w TAC i SIC Coating. Nasze produkty mają odporność na korozję, wysoką wytrzymałość. Z niecierpliwością oczekujemy, że zostajemy twoim długoterminowym partnerem w Chinach. Spełni się konsultację w dowolnym momencie.
Zobacz więcej >> Wyślij zapytanie >>
Chuck powlekany z węglikiem tantalu

Chuck powlekany z węglikiem tantalu

VETEK Semiconductor jest wiodącym producentem i innowatorem z węglikiem Tantalum, Chucka w Chinach. Od wielu lat specjalizujemy się w powłokach TAC. Nasza produkty mają wysoką czystość i oporność na wysoką temperaturę do 2000 ℃. Z niecierpliwością oczekujemy, że zostaniemy twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Zobacz więcej >> Wyślij zapytanie >>
Pokrywa pokrowca na węglika tantalu

Pokrywa pokrowca na węglika tantalu

VETEK Semiconductor jest wiodącym producentem i innowatorem pokrytych węglika Tantalum w Chinach. Od wielu lat specjalizujemy się w TAC i SIC Coating. Nasze produkty mają odporność na korozję, wysoką wytrzymałość. Z niecierpliwością oczekujemy, że zostajemy twoim długoterminowym partnerem w Chinach. Spełni się konsultację w dowolnym momencie.
Zobacz więcej >> Wyślij zapytanie >>
Ultra czysty grafit dolny pół

Ultra czysty grafit dolny pół

Vetek Semiconductor jest wiodącym dostawcą spersonalizowanego ultra czystego grafitu dolnej półmoon w Chinach, specjalizującym się w zaawansowanych materiałach od wielu lat. Nasz ultra czysty grafit dolna Halfmoon jest specjalnie zaprojektowana do SIC Epitaksial Equipment, zapewniając doskonałą wydajność. Wykonany z grafitu importowanego ultra-kure, oferuje niezawodność i trwałość. Odwiedź naszą fabrykę w Chinach, aby zbadać naszą wysokiej jakości Ultra Pure Graphit z pierwszej ręki.
Zobacz więcej >> Wyślij zapytanie >>
Górna część halfmoon powlekana sic

Górna część halfmoon powlekana sic

VETEK Semiconductor jest wiodącym dostawcą spersonalizowanej części górnej północy powlekanej w Chinach, specjalizującej się w zaawansowanych materiałach od ponad 20 lat. Półprzewodnikowa część półprzewodnika górnego półprzewodnika powlekana SIC jest specjalnie zaprojektowana do SIC Equitaksial Equipment, służąc jako kluczowy element w komorze reakcyjnej. Wykonany z ultra-kure, grafitu klasy półprzewodnikowej, zapewnia doskonałą wydajność. Zapraszamy do wizyty w naszej fabryce w Chinach. Współpracujemy, aby skonsultować się w dowolnym momencie.
Zobacz więcej >> Wyślij zapytanie >>
Nośnik wafla z węglikiem krzemowym

Nośnik wafla z węglikiem krzemowym

Vetek Semiconductor jest wiodącym niestandardowym dostawcą nośnika z węglikiem krzemowym w Chinach. Specjalizowaliśmy się w zaawansowanym materiale przez ponad 20 lat. Oferujemy nośnik wafla epitaxy z węglikiem krzemowym do przenoszenia podłoża SIC, rosnącej warstwy epitaxy SIC w reaktorze epitaxialnym SIC. Ten nośnik wafla epitaxy z węglikiem krzemu jest ważną częścią powlekanej SIC części części Halfmoon, odporności na wysoką temperaturę, odpornością na utlenianie, odporność na zużycie. Zapraszamy do wizyty w naszej fabryce w Chinach. Współpracuj, aby skonsultować się w dowolnym momencie.
Zobacz więcej >> Wyślij zapytanie >>
Jako profesjonalny producent i dostawca w Chinach mamy własną fabrykę. Niezależnie od tego, czy potrzebujesz dostosowanych usług, aby zaspokoić konkretne potrzeby twojego regionu, czy chcesz kupić zaawansowane i trwałe Powłoka z węglika tantalu wyprodukowane w Chinach, możesz zostawić nam wiadomość.
Zalecenia dotyczące wiadomości
Przełom technologii węglika Tantalum, Zanieczyszczenie epitaksjalne SIC zmniejszone o 75%?
Przełom technologii węglika Tantalum, Zanieczyszczenie epitaksjalne SIC zmniejszone o 75%?Zobacz więcej >>
Na czym polega proces epitaksji półprzewodnikowej?
Na czym polega proces epitaksji półprzewodnikowej?Zobacz więcej >>
Zasady i technologia fizycznej powłoki osadzania pary (PVD) (2/2) - Vetek Semiconductor
Zasady i technologia fizycznej powłoki osadzania pary (PVD) (2/2) - Vetek SemiconductorZobacz więcej >>
Jaka jest różnica między powłokami węglików krzemowych a powłokami węglika tantalu?
Jaka jest różnica między powłokami węglików krzemowych a powłokami węglika tantalu?Zobacz więcej >>
Technologia przygotowania epitaksji krzemu(Si).
Technologia przygotowania epitaksji krzemu(Si).Zobacz więcej >>
Zastosowanie materiałów termicznych na bazie węgla w kryształach węgla krzemu
Zastosowanie materiałów termicznych na bazie węgla w kryształach węgla krzemuZobacz więcej >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept