TAC Powłoka część zamienna

To półprzewodnikPłyta powłoki TACjest specjalnym materiałem szeroko stosowanym wpółprzewodnikproces produkcyjny. W połączeniu z jego wysoką twardością i odpornością na zużycie, odpornością na wysoką temperaturę, odpornością na korozję, niskim współczynnikiem tarcia i dobrej przewodnictwa cieplnego, płyta powlekania TAC odgrywa niezastąpioną rolę w wielu powiązaniach przetwarzania półprzewodników.

Zasadniczo zastosowaniaPłytki pokryte TACw przetwarzaniu półprzewodnikowym są następujące:

● Podłoże wzrostu CVD/ALD: Oporność w wysokiej temperaturze, stabilność chemiczna i niski współczynnik tarcia płyt powlekanych TAC sprawiają, że są one idealne podłoża wzrostu CVD/ALD. Może zapewnić stabilne środowisko wzrostu, aby zapewnić jednolitość i gęstość filmu.

●  Trawienie płyty maski: Wysoka twardość i odporność na korozję płytek powlekanych TAC pozwala im wytrzymać procesy o wysokiej energii, takie jak trawienie w osoczu, jak płytki maski trawienia, chroniące podstawowy film.

●  CMP Polishing Pad: Odporność na zużycie i niski współczynnik tarcia płyt powlekanych TAC sprawiają, że są one idealnymi materiałami do podkładek polerniczych CMP, które mogą skutecznie usuwać cząstki i wady na powierzchni folii.

●  Rurka pieca w wysokiej temperaturze: Oporność w wysokiej temperaturze i odporność na korozję płyt powlekanych TAC umożliwiają je stosować jako rurki pieców w piecach o wysokiej temperaturze do wyżarzania, dyfuzji i innych procesów w wysokiej temperaturze.

Parametry techniczne powlekania CVD TAC：

VETEK SEMICONDUCTOR TAC POWOLACJA PRODUKTY MARZECJA MARZEK：