Menu internetowe

Wyszukiwarka produktów

Język

Produkty

Powłoka z węglika tantalu

Firma VeTek semiconductor jest wiodącym producentem materiałów powłokowych z węglika tantalu dla przemysłu półprzewodników. Nasza główna oferta produktów obejmuje części z powłoką z węglika tantalu CVD, części ze spiekanej powłoki TaC do hodowli kryształów SiC lub procesu epitaksji półprzewodników. Przeszedł ISO9001, VeTek Semiconductor ma dobrą kontrolę nad jakością. Firma VeTek Semiconductor pragnie stać się innowatorem w branży powłok z węglika tantalu poprzez ciągłe badania i rozwój technologii iteracyjnych.


Głównymi produktami sąPierścień prowadzący pokryty TaC, Trójpłatkowy pierścień prowadzący pokryty powłoką CVD TaC, Halfmoon pokryty węglikiem tantalu TaC, Susceptor epitaksjalny planetarny SiC z powłoką CVD TaC, Pierścień z powłoką z węglika tantalu, Porowaty grafit pokryty węglikiem tantalu, Susceptor rotacji powłoki TaC, Pierścień z węglika tantalu, Płytka obrotowa z powłoką TaC, Susceptor waflowy pokryty TaC, Pierścień deflektora pokryty TaC, Powłoka CVD TaC, Uchwyt pokryty TaCitp., czystość jest poniżej 5 ppm, może spełnić wymagania klienta.


Grafit z powłoką TaC powstaje poprzez pokrycie powierzchni podłoża grafitowego o wysokiej czystości cienką warstwą węglika tantalu w opatentowanym procesie chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD). Zaletę pokazano na poniższym obrazku:


Excellent properties of TaC coating graphite


Powłoka z węglika tantalu (TaC) zyskała na popularności ze względu na wysoką temperaturę topnienia do 3880°C, doskonałą wytrzymałość mechaniczną, twardość i odporność na szoki termiczne, co czyni ją atrakcyjną alternatywą dla złożonych procesów epitaksji półprzewodnikowej o wyższych wymaganiach temperaturowych, takie jak system Aixtron MOCVD i proces epitaksji LPE SiC. Ma również szerokie zastosowanie w procesie wzrostu kryształów SiC metodą PVT.


Kluczowe funkcje:

 ●Stabilność temperatury

 ●Bardzo wysoka czystość

 ●Odporność na H2, NH3, SiH4,Si

 ●Odporność na zapasy termiczne

 ●Silna przyczepność do grafitu

 ●Konformalne pokrycie powłoką

 ● Rozmiar do średnicy 750 mm (jedyny producent w Chinach osiąga ten rozmiar)


Aplikacje:

 ●Nośnik opłatków

 ● Indukcyjny wspornik grzejny

 ● Rezystancyjny element grzejny

 ●Dysk satelitarny

 ●Głowica prysznicowa

 ●Pierścień prowadzący

 ●Odbiornik LED Epi

 ●Dysza wtryskowa

 ●Pierścień maskujący

 ● Osłona termiczna


Powłoka z węglika tantalu (TaC) na mikroskopijnym przekroju poprzecznym:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


Parametr powłoki z węglika tantalu VeTek Semiconductor:

Właściwości fizyczne powłoki TaC
Gęstość 14,3 (g/cm3)
Specyficzna emisyjność 0.3
Współczynnik rozszerzalności cieplnej 6,3 10-6/K
Twardość (HK) 2000 HK
Opór 1×10-5Om*cm
Stabilność termiczna <2500 ℃
Zmiany rozmiaru grafitu -10~-20um
Grubość powłoki Typowa wartość ≥20um (35um±10um)


Dane EDX powłoki TaC：

EDX data of TaC coating


Dane dotyczące struktury kryształu powłoki TaC:

Element Procent atomowy
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Przeciętny
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
Ich 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
Pokrywa powlekania CVD TAC

Pokrywa powlekania CVD TAC

Pokrywa powlekania CVD TAC dostarczona przez VETEK Semiconductor jest wysoce wyspecjalizowanym komponentem zaprojektowanym specjalnie do wymagających aplikacji. Dzięki zaawansowanym funkcjom i wyjątkowej wydajności nasza pokrywa powłoki CVD TAC oferuje kilka kluczowych zalet. Nasz pokrywa CVD TAC zapewnia niezbędną ochronę i wydajność wymaganą do sukcesu. Nie możemy się doczekać zbadania potencjalnej współpracy z Tobą!
Zobacz więcej >> Wyślij zapytanie >>
TAC Coating Planetary Sensceptor

TAC Coating Planetary Sensceptor

TAC Coating Planetary Wathceptor to wyjątkowy produkt dla urządzeń epitaxy Aixtron. Powłoka TAC Veteka Semiconductor zapewnia doskonałą oporność w wysokiej temperaturze i bezwładność chemiczną. Ta unikalna kombinacja zapewnia niezawodną wydajność i długą żywotność usług, nawet w wymagających środowiskach. VETEK jest zaangażowany w dostarczanie wysokiej jakości produktów i służenie jako długoterminowy partner na chińskim rynku z konkurencyjnymi cenami.
Zobacz więcej >> Wyślij zapytanie >>
TAC Coating Coking Talerz wspornika

TAC Coating Coking Talerz wspornika

Powłoka TAC może wytrzymać wysoką temperaturę 2200 ℃. Vetek Semiconductor zapewnia powłokę TAC o dużej czystości z zanieczyszczeniami poniżej 5ppm w Chinach. TAC Coating Coking Plate jest w stanie wytrzymać wodór amoniaku, argoninę w komorze reakcyjnej urządzenia epitaksjalnego. Poprawia żywotność usługi produktu. Zapewniasz wymagania, zapewniamy dostosowanie.
Zobacz więcej >> Wyślij zapytanie >>
Powłoka TAC Chuck

Powłoka TAC Chuck

Powłoka TAC VEEK Semiconductor Chuck ma wysokiej jakości powłokę powierzchniową, znaną z wybitnej oporności w wysokiej temperaturze i bezwładności chemicznej, szczególnie w procesach epitaxy węgla krzemu (SIC) (EPI). Dzięki wyjątkowym funkcjom i doskonałej wydajności, nasza powłoka TAC Chuck oferuje kilka kluczowych zalet. Jesteśmy zaangażowani w dostarczanie wysokiej jakości produktów w konkurencyjnych cenach i oczekujemy, że będziemy twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Zobacz więcej >> Wyślij zapytanie >>
Pierścień powlekania CVD TAC

Pierścień powlekania CVD TAC

W przemyśle półprzewodników pierścień powłoką CVD TAC jest bardzo korzystnym komponentem zaprojektowanym w celu spełnienia wymagających wymagań procesów wzrostu kryształów z węglików krzemionowych (SIC). Pierścień powlekania CVD TAC VETEK Semiconductor zapewnia wyjątkową oporność w wysokiej temperaturze i bezwładność chemiczną, co czyni go idealnym wyborem dla środowisk charakteryzujących się podwyższonymi temperaturami i warunkami żrącymi. Pls nie krępuj się skontaktować się z nami, aby uzyskać więcej pytań.
Zobacz więcej >> Wyślij zapytanie >>
Półksiężyc LPE SiC EPI

Półksiężyc LPE SiC EPI

LPE SiC Epi Halfmoon to specjalna konstrukcja poziomego pieca do epitaksji, rewolucyjny produkt zaprojektowany w celu usprawnienia procesów epitaksji SiC w reaktorze LPE. To najnowocześniejsze rozwiązanie może pochwalić się kilkoma kluczowymi funkcjami, które zapewniają doskonałą wydajność i efektywność w całej operacji produkcyjnej. Firma Vetek Semiconductor specjalizuje się w produkcji półksiężyca LPE SiC Epi w rozmiarach 6 i 8 cali. Nie mogę się doczekać nawiązania z Tobą długoterminowej współpracy.
Zobacz więcej >> Wyślij zapytanie >>
Jako profesjonalny producent i dostawca w Chinach mamy własną fabrykę. Niezależnie od tego, czy potrzebujesz dostosowanych usług, aby zaspokoić konkretne potrzeby twojego regionu, czy chcesz kupić zaawansowane i trwałe Powłoka z węglika tantalu wyprodukowane w Chinach, możesz zostawić nam wiadomość.
Zalecenia dotyczące wiadomości
Jaka jest różnica między CVD TAC a spiekanym TAC?
Jaka jest różnica między CVD TAC a spiekanym TAC?Zobacz więcej >>
Co to jest ceramika sic?
Co to jest ceramika sic?Zobacz więcej >>
Pełne wyjaśnienie procesu produkcji chipów (1/2): od opłatek do opakowania i testowania
Pełne wyjaśnienie procesu produkcji chipów (1/2): od opłatek do opakowania i testowaniaZobacz więcej >>
Jaki jest proces epitaksjalny?
Jaki jest proces epitaksjalny?Zobacz więcej >>
Porowate krzemowe węglika (SIC) Płytki ceramiczne: Materiały o wysokiej wydajności w produkcji półprzewodników
Porowate krzemowe węglika (SIC) Płytki ceramiczne: Materiały o wysokiej wydajności w produkcji półprzewodnikówZobacz więcej >>
Co to są ceramika z węglików krzemowych?
Co to są ceramika z węglików krzemowych?Zobacz więcej >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept