Pierścień powlekany z węglikiem tantalu

Vetek półprzewodnik Tantalum Carbide Coated Pierścień jest wykonany zgrafiti pokryte węglikiem Tantalum, kombinację, która wykorzystuje najlepsze właściwości obu materiałów, aby zapewnić doskonałą wydajność i długowieczność. 

Powłoka TAC na pierścieniu powłoki węgla tantalu zapewnia, że ​​pozostaje chemicznie obojętna w reaktywnej atmosferze pieców wzrostu SIC, które często obejmują gazy takie jak wodór, argon i azot. Ta bezwładność chemiczna jest niezbędna, aby zapobiec zanieczyszczeniu rosnącego kryształu, co może prowadzić do defektów i zmniejszenia wydajności ostatnich produktów półprzewodników. Ponadto stabilność termiczna zapewniana przez powłokę TAC pozwala skutecznie działać pierścień powłoki węgla tantalu w wysokich temperaturach wymaganych do wzrostu kryształu SIC, zwykle przekraczającego 2000 ° C.

Gęsta i jednolita powłoka TAC można przygotować na powierzchni grafitowej za pomocą opryskiwania plazmy, metody CVD i metody spiekania zawiesiny, ale metoda opryskiwania plazmy ma wysokie wymagania dotyczące sprzętu i tworzenie TA2C. Trudno jest przygotować powłokę kompozytową metodą spiekania zawiesiny, a odporność na wstrząs termiczny powłoki jest słaba. Powłoka przygotowana metodą CVD ma kontrolowany skład i najwyższą gęstość, która jest obecnie wspólną metodą powlekania węgla tantalu.

Właściwości mechaniczne TAC znacznie zmniejszają zużycie na pierścieniu powłoki węgla do tantalu. Ma to kluczowe znaczenie ze względu na powtarzalny charakter procesu wzrostu kryształów, który naraża pierścień prowadzący na częste cykle termiczne i naprężenia mechaniczne. Twardość i odporność na zużycie TAC zapewnia, że ​​pierścień pokryty TAC utrzymuje integralność strukturalną i precyzyjne wymiary przez długi czas, minimalizując potrzebę częstego wymiany i skracanie przestojów w procesie produkcyjnym. 

Gęstość luzem powłoki węgla tantalu wynosi 14,3 gm/cm3, emisyjność 0,3, twardość wynosi 2000 godzin, temperatura topnienia wynosi 3950s ℃, a dobre właściwości fizyczne wybrano jako wspólny materiał dla trzeciej generacji półprzewodników.

Ponadto kombinacja grafitu i TAC w pierścieniu powłoki węgla Tantalum optymalizuje zarządzanie termicznie w piecu wzrostu kryształów. Wysoka przewodność cieplna grafitu skutecznie rozkłada ciepło, zapobiegając hotspotom i promując jednolity wzrost kryształów. Tymczasem powłoka TAC służy jako bariera termiczna, chroniąc rdzeń graficzny przed bezpośrednią ekspozycją na wysokie temperatury i gazów reaktywnych. Ta synergia między materiałami rdzeniowymi i powłokowymi powoduje pierścień prowadzący, który nie tylko wytrzymuje surowe warunkiSIC Crystal Wzrostale zwiększa także ogólną wydajność i jakość procesu.

Pierścień powlekany węgla do węgla Tantalu Vetek jest niezbędnym elementem w branży półprzewodnikowej, specjalnie zaprojektowanej do rozwojuKryształy z węglików krzemowych. Jego projekt wykorzystuje mocne strony grafitu i węgliku tantalu, aby zapewnić wyjątkową wydajność w środowiskach o wysokiej temperaturze. Powłoka TAC zapewnia bezwładność chemiczną, trwałość mechaniczną i stabilność termiczną, z których wszystkie mają kluczowe znaczenie dla wytwarzania wysokiej jakości kryształów SIC. Utrzymując jego integralność i funkcjonalność w ekstremalnych warunkach, pierścień wspiera wydajny i wolny od wad wzrost kryształów SIC, przyczyniając się do rozwoju urządzeń półprzewodników o dużej mocy i wysokiej częstotliwości.

Vetek Semiconductor jest wiodącym producentem i dostawcąPowłoka z węglikiem tantalu, Powłoka z węglików silikonowychISpecjalny grafitw Chinach. Od dawna zobowiązujemy się do dostarczania zaawansowanych rozwiązań technologicznych i produktów dla przemysłu półprzewodnikowego i szczerze mamy nadzieję być twoim długoterminowym partnerem w Chinach.

Powłoka z węglikiem tantalu (TAC)na mikroskopijnym przekroju：

PrzeglądSieć przemysłu epitaksji chipów półprzewodnikowych：