Solidny pierścień ostrości SiC

6.Główne pola zastosowań

7. Zalety rdzenia pierścienia ostrości z litego SiC firmy Veteksem

Doskonała odporność na korozję plazmową

W przypadku długotrwałego narażenia na działanie silnie korozyjnej plazmy o dużej gęstości, takiej jak CF4, O2 i Cl2, konwencjonalne materiały są podatne na szybkie zużycie i zanieczyszczenie cząstkami stałymi. Nasz solidny pierścień ostrości SiC wykazuje doskonałą odporność na korozję, a szybkość korozji jest znacznie niższa niż w przypadku materiałów takich jak kwarc czy tlenek glinu. Oznacza to, że przez długi czas utrzymuje gładką powierzchnię, znacznie zmniejszając ryzyko defektów płytek spowodowanych zużyciem komponentów, zapewniając ciągłą i stabilną produkcję masową.

Doskonała stabilność w wysokich temperaturach i wydajność zarządzania ciepłem

Proces trawienia półprzewodników generuje znaczną ilość ciepła, przez co elementy komory podlegają gwałtownym wahaniom temperatury. Nasze pierścienie ostrości mają wyjątkowo niski współczynnik rozszerzalności cieplnej, są w stanie wytrzymać przejściowe temperatury do 1600°C bez pęknięć i deformacji. Co więcej, ich wrodzona wysoka przewodność cieplna pomaga równomiernie i szybko rozproszyć ciepło, skutecznie poprawiając rozkład temperatury na krawędzi płytki, zwiększając w ten sposóbng wytrawiania jednorodności i spójności krytycznych wymiarów na całej płytce.

Wyjątkowa czystość materiału i gęstość strukturalna

Ściśle kontrolujemy czystość surowców węglika krzemu (≥99,999%) i eliminujemy zanieczyszczenia metalami podczas procesu spiekania, aby spełnić rygorystyczne wymagania zaawansowanych procesów produkcyjnych w zakresie kontroli śladowych zanieczyszczeń. Gęsta struktura utworzona w wyniku spiekania w wysokiej temperaturze ma wyjątkowo niską porowatość, prawie całkowicie blokując przenikanie gazów procesowych i produktów ubocznych. Zapobiega to pogorszeniu wydajności i wzrostowi cząstek spowodowanemu degradacją materiału wewnętrznego, zapewniając czyste środowisko w komorze procesowej.

Długotrwała żywotność mechaniczna i kompleksowa opłacalność

W porównaniu do konwencjonalnych materiałów eksploatacyjnych, które wymagają częstej wymiany, pierścienie ostrości Veteksemi z litego SiC zapewniają wyjątkową trwałość. Utrzymują stabilną wydajność przez cały okres użytkowania, kilkakrotnie wydłużając cykle wymiany. To nie tylko bezpośrednio zmniejsza koszty zakupu części zamiennych, ale także znacznie poprawia wykorzystanie maszyny poprzez skrócenie przestojów sprzętu w celu konserwacji, co skutkuje znacznymi ogólnymi korzyściami kosztowymi dla klientów.

Precyzyjna kontrola rozmiaru i elastyczne usługi dostosowywania

Rozumiemy dokładne wymagania różnych maszyn i procesów w zakresie materiałów eksploatacyjnych. Każdy pierścień ostrości poddawany jest precyzyjnej obróbce i rygorystycznym testom, aby zapewnić krytyczne tolerancje wymiarowe w granicach ± ​​0,05 mm. Oferujemy również usługi dostosowane do indywidualnych potrzeb, w tym niestandardowe rozmiary, wykończenia powierzchni (polerowanie do Ra ≤ 0,2 μm) i regulację przewodności, aby idealnie dopasować je do konkretnych wymagań procesu i scenariuszy zastosowań.

Aby uzyskać szczegółowe specyfikacje techniczne, białe księgi lub ustalenia dotyczące przykładowych testów, skontaktuj się z naszym zespołem pomocy technicznej, aby dowiedzieć się, w jaki sposób firma Veteksemi może zwiększyć wydajność Twojego procesu.