Części odbiornika EPI

Ogólne informacje o produkcie

Warunki handlowe dotyczące produktu

✔ Aplikacja: W dążeniu do najwyższej wydajności i wydajności w procesach epitaksjalnych SiC, Veteksemicon EPI Susceptor zapewnia doskonałą stabilność termiczną i jednorodność, stając się kluczowym wsparciem w poprawie wydajności urządzeń mocy i RF oraz obniżeniu ogólnych kosztów.

✔ Usługi, które można świadczyć: analiza scenariuszy zastosowań u klienta, dopasowywanie materiałów, rozwiązywanie problemów technicznych. 

✔ Profil firmy Veteksemicon posiada 2 laboratoria, zespół ekspertów z 20-letnim doświadczeniem materiałowym, z możliwościami badawczo-rozwojowymi oraz produkcją, testowaniem i weryfikacją.

Podstawowe zalety Veteksemicon EPI Contractor Part

1. Zapewnij najwyższą jednolitość

W procesach epitaksjalnych węglika krzemu nawet wahania grubości na poziomie mikronów i niejednorodności domieszkowania bezpośrednio wpływają na wydajność i wydajność końcowego urządzenia. Veteksemicon EPI Susceptor osiąga optymalny rozkład pola termicznego w komorze reakcyjnej dzięki precyzyjnej symulacji termodynamicznej i projektowaniu strukturalnemu. Nasz wybór podłoża o wysokiej przewodności cieplnej w połączeniu z unikalnym procesem obróbki powierzchni gwarantuje, że różnice temperatur w dowolnym punkcie powierzchni płytki są kontrolowane w niezwykle małym zakresie, nawet przy dużych prędkościach obrotowych i w środowiskach o wysokiej temperaturze. Bezpośrednią wartością, jaką to przynosi, jest wysoce powtarzalna warstwa epitaksjalna, nakładana między partiami, o doskonałej jednorodności, stanowiąca solidną podstawę do produkcji wysokowydajnych, wysoce spójnych układów mocy.

2. Odporność na wysokie temperatury

Procesy epitaksjalne SiC zazwyczaj wymagają długotrwałej pracy w temperaturach przekraczających 1500°C, co stanowi poważne wyzwanie dla każdego materiału. Veteksemicon Susceptor wykorzystuje specjalnie obrobiony grafit prasowany izostatycznie, którego wytrzymałość na zginanie w wysokiej temperaturze i odporność na pełzanie znacznie przewyższają wytrzymałość zwykłego grafitu. Nawet po setkach godzin ciągłych cykli termicznych w wysokiej temperaturze nasz produkt zachowuje swoją początkową geometrię i wytrzymałość mechaniczną, skutecznie zapobiegając wypaczeniu, poślizgowi lub ryzyku zanieczyszczenia wnęki technologicznej w wyniku deformacji tacki, zasadniczo zapewniając ciągłość i bezpieczeństwo działań produkcyjnych.

3. Maksymalizuj stabilność procesu

Przerwy w produkcji i nieplanowane konserwacje są głównymi zabójcami kosztów w produkcji płytek. Veteksemicon uważa stabilność procesu za kluczową metrykę Susceptora. Nasza opatentowana powłoka CVD SiC jest gęsta, nieporowata i ma lustrzaną gładką powierzchnię. To nie tylko znacznie zmniejsza wydzielanie cząstek pod wpływem przepływu powietrza o wysokiej temperaturze, ale także znacznie spowalnia przyleganie produktów ubocznych reakcji (takich jak polikrystaliczny SiC) do powierzchni tacy. Oznacza to, że komora reakcyjna może pozostać czysta przez dłuższy czas, wydłużając odstępy między regularnym czyszczeniem a konserwacją, poprawiając w ten sposób ogólne wykorzystanie sprzętu i przepustowość.

4. Przedłuż żywotność

Jako element eksploatacyjny, częstotliwość wymiany susceptorów ma bezpośredni wpływ na koszty operacyjne produkcji. Veteksemicon wydłuża żywotność produktu dzięki dwojakiemu podejściu technologicznemu: „optymalizacji podłoża” i „wzmocnieniu powłoki”. Podłoże grafitowe o dużej gęstości i niskiej porowatości skutecznie spowalnia penetrację i korozję podłoża przez gazy technologiczne; jednocześnie nasza gruba i jednolita powłoka SiC działa jak solidna bariera, znacznie tłumiąc sublimację w wysokich temperaturach. Testy w warunkach rzeczywistych pokazują, że w tych samych warunkach procesu susceptory Veteksemicon wykazują wolniejsze tempo pogarszania się wydajności i dłuższą efektywną żywotność, co skutkuje niższymi kosztami operacyjnymi w przeliczeniu na płytkę.

5. Zatwierdzenie weryfikacji łańcucha ekologicznego

Weryfikacja łańcucha ekologicznego Veteksemicon EPI Susceptor Part obejmuje surowce do produkcji, przeszła międzynarodową certyfikację standardową i posiada szereg opatentowanych technologii zapewniających niezawodność i zrównoważony rozwój w półprzewodnikach i nowych dziedzinach energii.

Aby uzyskać szczegółowe specyfikacje techniczne, białe księgi lub ustalenia dotyczące przykładowych testów, skontaktuj się z naszym zespołem pomocy technicznej, aby dowiedzieć się, w jaki sposób Veteksemicon może zwiększyć wydajność Twojego procesu.

Główne obszary zastosowań

Magazyn produktów Mój rywal