Ceramiczny uchwyt próżniowy SiC do płytek

Ceramiczny uchwyt próżniowy Veteksemicon sic do płytek półprzewodnikowych to główny element opracowany specjalnie do produkcji półprzewodników trzeciej generacji, zoptymalizowany pod kątem środowisk przetwarzania w wysokiej temperaturze i pod wysokim ciśnieniem, w jakich występują płytki. Wykonane z materiałów ceramicznych o wysokiej czystości, precyzyjna obróbka i specjalistyczna obróbka powierzchni zapewniają stabilną wydajność utrzymywania próżni i doskonałą stabilność termiczną w wymagającym procesie produkcji półprzewodników. Nasze uchwyty próżniowe zostały sprawdzone w praktyce przez setki producentów półprzewodników, wykazując doskonałą wydajność w krytycznych procesach, takich jak epitaksja SiC, implantacja jonów i fotolitografia. Skutecznie rozwiązują problemy z wypaczeniem płytek i dokładnością pozycjonowania spowodowane wysoką twardością materiału i wysokimi temperaturami procesu.

Ogólne informacje o produkcie

Warunki handlowe dotyczące produktu

Aplikacja: Ceramiczny uchwyt próżniowy Veteksemicon do płytek ceramicznych jest wykonany z wysokowydajnych materiałów ceramicznych i precyzyjnie obrobiony, aby zapewnić wyjątkowo płaską powierzchnię i doskonałą stabilność termiczną. Zapewnia niezawodne rozwiązania w zakresie adsorpcji i kontroli temperatury płytek w procesach takich jak wzrost epitaksjalny, implantacja jonów i fotolitografia, skutecznie poprawiając wydajność procesu i wydajność produkcji.

Usługi, które można świadczyć: analiza scenariuszy zastosowań u klientów, dopasowywanie materiałów, rozwiązywanie problemów technicznych.

Profil firmy Veteksemicon posiada 2 laboratoria, zespół ekspertów z 20-letnim doświadczeniem materiałowym, z możliwościami badawczo-rozwojowymi oraz produkcją, testowaniem i weryfikacją.

Ceramiczny uchwyt próżniowy Veteksemicon zapewniający zalety rdzenia waflowego

 ● Przełom w materiałoznawstwie

Mój rywal wykorzystuje unikalną formułę materiału i proces spiekania, aby znacznie zwiększyć wytrzymałość mechaniczną i stabilność termiczną swoich produktów, zachowując jednocześnie doskonałe właściwości izolacyjne materiałów ceramicznych. Nasza ceramika na bazie tlenku glinu wykorzystuje surowce o wysokiej czystości i specjalną formułę dodatków, zapewniając doskonałą stabilność wymiarową nawet w środowiskach o wysokiej temperaturze. Nasza ceramika na bazie węglika krzemu, dzięki zoptymalizowanemu procesowi spiekania, osiąga wyższą przewodność cieplną i lepsze dopasowanie termiczne, dzięki czemu szczególnie dobrze nadaje się do obróbki płytek SiC w wysokiej temperaturze.

 ● Doskonała wydajność zarządzania ciepłem

Nasza unikalna wielowarstwowa konstrukcja i precyzyjna obróbka zapewniają, że uchwyt utrzymuje doskonałą równomierność termiczną nawet w warunkach pracy w wysokiej temperaturze. Uchwyt z węglika krzemu charakteryzuje się przewodnością cieplną przekraczającą 200 W/m·K, co umożliwia szybkie równoważenie temperatury i utrzymywanie wahań temperatury powierzchni płytki w granicach ±0,8°C. Ta doskonała zdolność zarządzania temperaturą skutecznie pozwala uniknąć wad procesu spowodowanych zmianami temperatury i znacznie poprawia wydajność produktu.

● Ultraprecyzyjna technologia obróbki

Mój rywal może poszczycić się wiodącymi w Chinach centrami precyzyjnej obróbki, wykorzystującymi unikalne procesy szlifowania i polerowania w celu uzyskania submikronowej płaskości powierzchni. Nasze uchwyty z węglika krzemu osiągają płaskość powierzchni w zakresie 0,8 μm, przy wartości chropowatości powierzchni Ra nie większej niż 0,1 μm. Ta niezwykle precyzyjna jakość powierzchni zapewnia idealne dopasowanie płytki do uchwytu, zapewniając niezawodne płaskie odniesienie w precyzyjnych procesach, takich jak fotolitografia.

● Wydłużona żywotność

Dzięki zoptymalizowanym składom materiałów i wzmocnionej konstrukcji nasze produkty mają żywotność przekraczającą 40% w porównaniu do tradycyjnych produktów. Specjalne technologie wzmacniania krawędzi i powlekania powierzchni sprawiają, że nasze produkty są odporne na częste operacje mocowania i czyszczenia. Gwarantujemy, że produkty na bazie tlenku glinu będą działać ponad 200 000 razy, podczas gdy produkty na bazie węglika krzemu mogą osiągnąć ponad 500 000 cykli, co znacznie zmniejsza koszty operacyjne dla naszych klientów.

● Zatwierdzenie weryfikacji łańcucha ekologicznego

Ceramiczny uchwyt próżniowy Veteksemicon do weryfikacji łańcucha ekologicznego płytki obejmuje surowce do produkcji, przeszedł międzynarodową certyfikację standardową i posiada szereg opatentowanych technologii zapewniających niezawodność i zrównoważony rozwój w półprzewodnikach i nowych dziedzinach energii.

Aby uzyskać szczegółowe specyfikacje techniczne, białe księgi lub przykładowe ustalenia dotyczące testów, prosimy o kontaktskontaktuj się z naszym zespołem pomocy technicznejaby dowiedzieć się, w jaki sposób Veteksemicon może zwiększyć wydajność procesów.