Aktualności

Jakie jest konkretne zastosowanie części powlekanych TAC w polu półprzewodnikowym?

Vetek Tantalum carbide coating parts



Fizyczne właściwości powłoki węgla tantalu (TAC)



Fizyczne właściwości powłoki TAC
Gęstość powlekania węgla tantalu (TAC)
14.3 (g/cm³)
Specyficzna emisyjność
0.3
Współczynnik rozszerzalności cieplnej
6.3x10-6/K
TAC Twardość (HK)
2000 HK
Opór
1 × 10-5Ohm*cm
Stabilność termiczna
<2500 ℃
Zmiany wielkości grafitu
-10 ~ -20um
Grubość powłoki
≥20um typowa wartość (35um ± 10um)


Zastosowanie powłoki węgla tantalu (TAC) w polu półprzewodnikowym


1. Składniki reaktora wzrostu epitaksjalnego

Powłoka TAC jest szeroko stosowana w chemicznych składnikach reaktora pary (CVD) epitaksjalnego i węgliku krzemowego (GAN)przewoźnicy opłat, dania satelitarne, dysze i czujniki. Te elementy wymagają wyjątkowo wysokiej trwałości i stabilności w środowiskach wysokiej temperatury i korozyjnej. Powłoka TAC może skutecznie przedłużyć żywotność usług i poprawić wydajność.


2. Składnik wzrostu pojedynczego kryształu

W procesie wzrostu pojedynczego kryształu materiałów takich jak SIC, GAN i azotek aluminiowy (AIN),Powłoka TACstosuje się do kluczowych elementów, takich jak tygle, uchwyty kryształów nasion, pierścienie przewodników i filtry. Materiały grafitowe z powłoką TAC mogą zmniejszyć migrację zanieczyszczeń, poprawić jakość kryształów i zmniejszyć gęstość defektów.


3. Komponenty przemysłowe w wysokiej temperaturze

Powłoka TAC może być stosowana w zastosowaniach przemysłowych o wysokiej temperaturze, takich jak oporowe pierwiastki grzewcze, dyszę wtryskową, pierścienie osłonowe i oprawy lutowe. Te elementy muszą zachować dobrą wydajność w środowiskach o wysokiej temperaturze, a odporność na ciepło i odporność na korozję TAC sprawiają, że jest to idealny wybór.


4. Grzeźby w systemach MOCVD

Pokażone TAC podgrzewacze grafitowe zostały z powodzeniem wprowadzone w systemach organicznych chemicznych osadzania pary (MOCVD). W porównaniu z tradycyjnymi grzejnikami pokrytych PBN, grzejniki TAC mogą zapewnić lepszą wydajność i jednolitość, zmniejszyć zużycie energii i zmniejszyć emisyjność powierzchni, co poprawia integralność.


5. Przewoźnicy opłat

Pokryte TAC przewoźniki opłat odgrywają ważną rolę w przygotowaniu materiałów półprzewodnikowych trzeciej generacji, takich jak SIC, Ain i Gan. Badania wykazały, że szybkość korozjiPowłoki TACW wysokiej temperaturze amoniaku i środowiskach wodoru jest znacznie niższe niż w środowiskuPowłoki sic, co sprawia, że ​​wykazuje lepszą stabilność i trwałość w długoterminowym użyciu.

Powiązane wiadomości
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept