Kod QR

Produkty
Skontaktuj się z nami
Telefon
Faks
+86-579-87223657
E-mail
Adres
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, prowincja Zhejiang, Chiny
Fizyczne właściwości powłoki TAC |
|
Gęstość powlekania węgla tantalu (TAC) |
14.3 (g/cm³) |
Specyficzna emisyjność |
0.3 |
Współczynnik rozszerzalności cieplnej |
6.3x10-6/K |
TAC Twardość (HK) |
2000 HK |
Opór |
1 × 10-5Ohm*cm |
Stabilność termiczna |
<2500 ℃ |
Zmiany wielkości grafitu |
-10 ~ -20um |
Grubość powłoki |
≥20um typowa wartość (35um ± 10um) |
1. Składniki reaktora wzrostu epitaksjalnego
Powłoka TAC jest szeroko stosowana w chemicznych składnikach reaktora pary (CVD) epitaksjalnego i węgliku krzemowego (GAN)przewoźnicy opłat, dania satelitarne, dysze i czujniki. Te elementy wymagają wyjątkowo wysokiej trwałości i stabilności w środowiskach wysokiej temperatury i korozyjnej. Powłoka TAC może skutecznie przedłużyć żywotność usług i poprawić wydajność.
2. Składnik wzrostu pojedynczego kryształu
W procesie wzrostu pojedynczego kryształu materiałów takich jak SIC, GAN i azotek aluminiowy (AIN),Powłoka TACstosuje się do kluczowych elementów, takich jak tygle, uchwyty kryształów nasion, pierścienie przewodników i filtry. Materiały grafitowe z powłoką TAC mogą zmniejszyć migrację zanieczyszczeń, poprawić jakość kryształów i zmniejszyć gęstość defektów.
3. Komponenty przemysłowe w wysokiej temperaturze
Powłoka TAC może być stosowana w zastosowaniach przemysłowych o wysokiej temperaturze, takich jak oporowe pierwiastki grzewcze, dyszę wtryskową, pierścienie osłonowe i oprawy lutowe. Te elementy muszą zachować dobrą wydajność w środowiskach o wysokiej temperaturze, a odporność na ciepło i odporność na korozję TAC sprawiają, że jest to idealny wybór.
4. Grzeźby w systemach MOCVD
Pokażone TAC podgrzewacze grafitowe zostały z powodzeniem wprowadzone w systemach organicznych chemicznych osadzania pary (MOCVD). W porównaniu z tradycyjnymi grzejnikami pokrytych PBN, grzejniki TAC mogą zapewnić lepszą wydajność i jednolitość, zmniejszyć zużycie energii i zmniejszyć emisyjność powierzchni, co poprawia integralność.
5. Przewoźnicy opłat
Pokryte TAC przewoźniki opłat odgrywają ważną rolę w przygotowaniu materiałów półprzewodnikowych trzeciej generacji, takich jak SIC, Ain i Gan. Badania wykazały, że szybkość korozjiPowłoki TACW wysokiej temperaturze amoniaku i środowiskach wodoru jest znacznie niższe niż w środowiskuPowłoki sic, co sprawia, że wykazuje lepszą stabilność i trwałość w długoterminowym użyciu.
+86-579-87223657
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, prowincja Zhejiang, Chiny
Copyright © 2024 VETek Semiconductor Technology Co., Ltd. Wszelkie prawa zastrzeżone.
Links | Sitemap | RSS | XML | Privacy Policy |