Obsługa grafitu powlekana TAC

Jesteście mile widziani, że przybywasz do naszego fabrycznego półprzewodnika Vetek, aby kupić najnowszą sprzedaż, niską cenę i wysokiej jakości podatność grafitową powlekaną TAC. Z niecierpliwością czekamy na współpracę z Tobą.

Tantalu Materiał ceramiczny topnienie do 3880 ℃, to wysoka temperatura topnienia i dobrą stabilność chemiczną związku, jego środowisko wysokiej temperatury może nadal utrzymywać stabilną wydajność, a ponadto ma również oporność na wysoką temperaturę, odporność na korozję chemiczną, dobrą chemiczną oraz kompatybilność mechaniczną z materiałami węglowymi i innymi cechami, co czyni go idealnym materiałem powłokowym ochronnym podłoża grafitowego. Powłoka z węglikiem tantalu może skutecznie chronić składniki grafitowe przed wpływem gorącego amoniaku, wodoru i krzemowego i stopionego metalu w środowisku surowego użytkowania, znacznie rozszerzyć żywotność serwisowa składników grafitowych i hamować migrację zanieczyszczeń w graficie, Zapewnienie jakości wzrostu epitaxii i kryształów. Jest to głównie stosowane w procesie ceramicznym na mokrej.

Chemiczne osadzanie z fazy gazowej (CVD) jest najbardziej dojrzałą i optymalną metodą przygotowania powłoki z węglika tantalu na powierzchni grafitu.

Metoda powlekania CVD TaC dla susceptora grafitowego powlekanego TaC:

Proces powlekania wykorzystuje odpowiednio TACL5 i propylen jako źródło węgla i źródło tantalu, a argon jako gaz nośnika w celu wprowadzenia pary pentachlorku tantalu do komory reakcyjnej po zgazowaniu w wysokiej temperaturze. Pod docelową temperaturą i ciśnieniem para materiału prekursorowego jest adsorbowana na powierzchni części grafitowej i występuje szereg złożonych reakcji chemicznych, takich jak rozkład i kombinacja źródła węgla i źródła tantalu. Jednocześnie zaangażowana jest również seria reakcji powierzchniowych, takich jak dyfuzja prekursora i desorpcja produktów ubocznych. Wreszcie na powierzchni części grafitowej powstaje gęsta warstwa ochronna, która chroni część grafitową przed stabilnością w ekstremalnych warunkach środowiskowych. Scenariusze aplikacji materiałów grafitowych są znacznie rozszerzone.

Parametr produktu powlekanego TAC Graphit podatnik:

Sklepy produkcyjne:

Przegląd łańcucha przemysłu epitaxy chipów półprzewodników: