Powłoka z węglika tantalu

Firma VeTek semiconductor jest wiodącym producentem materiałów powłokowych z węglika tantalu dla przemysłu półprzewodników. Nasza główna oferta produktów obejmuje części z powłoką z węglika tantalu CVD, części ze spiekanej powłoki TaC do hodowli kryształów SiC lub procesu epitaksji półprzewodników. Przeszedł ISO9001, VeTek Semiconductor ma dobrą kontrolę nad jakością. Firma VeTek Semiconductor pragnie stać się innowatorem w branży powłok z węglika tantalu poprzez ciągłe badania i rozwój technologii iteracyjnych.

Głównymi produktami sąPierścień prowadzący pokryty TaC, Trójpłatkowy pierścień prowadzący pokryty powłoką CVD TaC, Halfmoon pokryty węglikiem tantalu TaC, Susceptor epitaksjalny planetarny SiC z powłoką CVD TaC, Pierścień z powłoką z węglika tantalu, Porowaty grafit pokryty węglikiem tantalu, Susceptor rotacji powłoki TaC, Pierścień z węglika tantalu, Płytka obrotowa z powłoką TaC, Susceptor waflowy pokryty TaC, Pierścień deflektora pokryty TaC, Powłoka CVD TaC, Uchwyt pokryty TaCitp., czystość jest poniżej 5 ppm, może spełnić wymagania klienta.

Grafit z powłoką TaC powstaje poprzez pokrycie powierzchni podłoża grafitowego o wysokiej czystości cienką warstwą węglika tantalu w opatentowanym procesie chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD). Zaletę pokazano na poniższym obrazku:

Excellent properties of TaC coating graphite

Powłoka z węglika tantalu (TaC) zyskała na popularności ze względu na wysoką temperaturę topnienia do 3880°C, doskonałą wytrzymałość mechaniczną, twardość i odporność na szoki termiczne, co czyni ją atrakcyjną alternatywą dla złożonych procesów epitaksji półprzewodnikowej o wyższych wymaganiach temperaturowych, takie jak system Aixtron MOCVD i proces epitaksji LPE SiC. Ma również szerokie zastosowanie w procesie wzrostu kryształów SiC metodą PVT.

Kluczowe funkcje:

●Stabilność temperatury

●Bardzo wysoka czystość

●Odporność na H2, NH3, SiH4,Si

●Odporność na zapasy termiczne

●Silna przyczepność do grafitu

●Konformalne pokrycie powłoką

● Rozmiar do średnicy 750 mm (jedyny producent w Chinach osiąga ten rozmiar)

Aplikacje:

●Nośnik opłatków

● Indukcyjny wspornik grzejny

● Rezystancyjny element grzejny

●Dysk satelitarny

●Głowica prysznicowa

●Pierścień prowadzący

●Odbiornik LED Epi

●Dysza wtryskowa

●Pierścień maskujący

● Osłona termiczna

Powłoka z węglika tantalu (TaC) na mikroskopijnym przekroju poprzecznym:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parametr powłoki z węglika tantalu VeTek Semiconductor:

Właściwości fizyczne powłoki TaC
Gęstość	14,3 (g/cm3)
Specyficzna emisyjność	0.3
Współczynnik rozszerzalności cieplnej	6,3 10^-6/K
Twardość (HK)	2000 HK
Opór	1×10^-5Om*cm
Stabilność termiczna	<2500 ℃
Zmiany rozmiaru grafitu	-10~-20um
Grubość powłoki	Typowa wartość ≥20um (35um±10um)

Dane EDX powłoki TaC：

EDX data of TaC coating

Dane dotyczące struktury kryształu powłoki TaC:

Element	Procent atomowy
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Przeciętny
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
Ich	47.90	42.59	47.63	46.04

Uchwyt z powłoką TaC Dysk planetarny z powłoką TaC
Płyta pokryta TaC Płytka obrotowa z powłoką TaC Odbiornik powłoki TaC Powłoka CVD TaC Pierścień z powłoką CVD TaC Płyta z powłoką TaC

View as

Porowaty grafit z powlekaniem TAC

Porowata grafit z powlekaniem TAC to zaawansowany materiał przetwarzania półprzewodników dostarczany przez półprzewodnik VETEK. Porowata grafit z powlekaniem TAC łączy zalety porowatego grafitu i powłoki węgla tantalu (TAC), z dobrą przewodnością cieplną i przepuszczalności gazu. Vetek Semiconductor jest zaangażowany w dostarczanie wysokiej jakości produktów po konkurencyjnych cenach.

Zobacz więcej >> Wyślij zapytanie >>

Pokrywka powlekania z węglikiem tantalu

Pokrycie powłoki z węglikiem tantalu składa się z grafitu o dużej czystości i powłoku TAC. VETEK Semiconductor jest wiodącym dostawcą i producentem pokrycia powlekania węgla Tantalum w Chinach. Koncentrujemy się na dostarczaniu produktów do węglika tantalu o dużej czystości i wysokiej temperatury. Nasza pokrywa pokrytą na węgliku tantalu ma doskonałą wydajność i niezawodność i może skutecznie chronić materiały w bardzo wysokiej temperaturze i środowisku korozyjnym. Z niecierpliwością oczekujemy, że zostaniemy twoim długoterminowym partnerem w Chinach. Witamy, aby skonsultować się w dowolnym momencie.

Zobacz więcej >> Wyślij zapytanie >>

Pierścień deflektora pokryty TAC

Pierścień deflektora TAC powlekany TAC VETEK Semiconductor jest wysoce wyspecjalizowanym komponentem zaprojektowanym do procesów wzrostu kryształów SIC. Powłoka TAC zapewnia doskonałą oporność w wysokiej temperaturze i bezwładność chemiczną, aby poradzić sobie z wysokimi temperaturami i środowiskami korozyjnymi podczas procesu wzrostu kryształów. Zapewnia to stabilną wydajność i długą żywotność komponentu, zmniejszając częstotliwość wymiany i przestojów. Jesteśmy zaangażowani w dostarczanie wysokiej jakości produktów w konkurencyjnych cenach i czekamy na to, że będzie Twoim długoterminowym partnerem w Chinach. Spotkanie w dowolnym momencie.

Zobacz więcej >> Wyślij zapytanie >>

Rurka powlekana węglika tantalu do wzrostu kryształów

Rurka powlekana węglika tantalu do wzrostu kryształów stosuje się głównie w procesie wzrostu kryształów SIC. EETEK Semiconductor od wielu lat dostarcza rurkę powlekaną węglika tantalu do wzrostu kryształów i od wielu lat pracuje w dziedzinie powłoki TAC. Nasze produkty mają wysoką czystość i oporność w wysokiej temperaturze. Z niecierpliwością oczekujemy, że zostaniemy twoim długoterminowym partnerem w Chinach. Zapraszam do nas zapytać.

Zobacz więcej >> Wyślij zapytanie >>

Pierścień pokryty TAC do reaktora epitaksjalnego SIC

VETEK Semiconductor jest wiodącym producentem i innowatorem technologii pierścienia powlekanego TAC do reaktora epitaksjalnego SIC w Chinach, koncentrując się na zapewnieniu wysokowydajnych rozwiązań dla reaktorów epitaksjalnych SIC. Mamy wieloletnie doświadczenie w technologii powlekania TAC. Pierścień pokryty TAC ma charakterystykę wysokiej czystości, wysokiej stabilności, doskonałej odporności na korozję itp. I może zapewnić długoterminową stabilną wydajność w trudnych środowiskach roboczych reaktorów epitaksjalnych. Z niecierpliwością oczekujemy długoterminowego partnerstwa strategicznego z Tobą.

Zobacz więcej >> Wyślij zapytanie >>

Część półksiężyca pokryta węglikiem tantalu do LPE

VeTek Semiconductor jest wiodącym dostawcą części półksiężycowej powlekanej węglikiem tantalu dla LPE w Chinach, od wielu lat koncentrując się na technologii powlekania TaC. Nasza część półksiężyca pokryta węglikiem tantalu do LPE jest przeznaczona do procesu epitaksji w fazie ciekłej i może wytrzymać wysoką temperaturę ponad 2000 stopni Celsjusza. Dzięki doskonałej wydajności materiałów i innowacjom procesowym żywotność naszych produktów jest na wiodącym poziomie w branży. Firma VeTek Semiconductor z niecierpliwością czeka na współpracę z Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.

Zobacz więcej >> Wyślij zapytanie >>

Jako profesjonalny producent i dostawca w Chinach mamy własną fabrykę. Niezależnie od tego, czy potrzebujesz dostosowanych usług, aby zaspokoić konkretne potrzeby twojego regionu, czy chcesz kupić zaawansowane i trwałe Powłoka z węglika tantalu wyprodukowane w Chinach, możesz zostawić nam wiadomość.

Kod QR

O nas

Produkty

Skontaktuj się z nami

Telefon
+86-18069220752
Faks
+86-579-87223657
E-mail
anny@veteksemi.com
Adres
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, prowincja Zhejiang, Chiny

Menu internetowe

Wyszukiwarka produktów

Język

Wyjdź z menu

Powłoka z węglika tantalu

Kluczowe funkcje:

Aplikacje:

Powłoka z węglika tantalu (TaC) na mikroskopijnym przekroju poprzecznym:

Parametr powłoki z węglika tantalu VeTek Semiconductor:

Dane EDX powłoki TaC：

Dane dotyczące struktury kryształu powłoki TaC:

Porowaty grafit z powlekaniem TAC

Pokrywka powlekania z węglikiem tantalu

Pierścień deflektora pokryty TAC

Rurka powlekana węglika tantalu do wzrostu kryształów

Pierścień pokryty TAC do reaktora epitaksjalnego SIC

Część półksiężyca pokryta węglikiem tantalu do LPE

Wyślij zapytanie

Kod QR

O nas

Produkty

Skontaktuj się z nami

Telefon

Faks

E-mail

Adres