Pierścień trawiony kwarcem o wysokiej czystości

1.Kluczowe funkcje i zalety

• Odwodniony topiony kwarc półprzewodnikowy z zawartością SiO₂ ≥ 99,999% i ściśle kontrolowanymi zanieczyszczeniami metalicznymi

• Stabilna praca ciągła do 1100°C, z krótkotrwałą możliwością pracy w pobliżu 1200°C

• Wysoka odporność na chemikalia trawiące na bazie fluoru i chloru oraz na działanie plazmy wysokoenergetycznej

• Niska rozszerzalność cieplna i dobra odporność na szok termiczny w powtarzających się cyklach temperatur w komorze

• Odgazowanie w niskiej próżni w celu ochrony podstawowego ciśnienia komory i składu gazu procesowego

• Kontrola wymiarów na poziomie mikronów z polerowanymi powierzchniami stykowymi zapewniającymi spójne dopasowanie komory i definicję granic plazmy

• Konfigurowalne projekty: pierścienie płaskie, stopniowane pierścienie wytrawiające, pierścienie ustalające/utrzymujące oraz w pełni niestandardowe profile dla głównych platform narzędzi do wytrawiania

2.Typowe zastosowania

Kwarcowe pierścienie trawiące o wysokiej czystości są stosowane w komorach procesowych suchego trawienia plazmowego do:

• Etapy trawienia plazmowego układu logicznego i pamięci

• Procesy trawienia urządzeń zasilających SiC i GaN

• Wytrawianie struktury o wysokim współczynniku kształtu

• Obróbka plazmowa podłoża optycznego i złożonego półprzewodnika

• Zaawansowane trawienie plazmowe opakowań i powiązane etapy czyszczenia

• Narzędzia laboratoryjne i produkcyjne RIE/ICP do trawienia

3.Kluczowe parametry techniczne

• Materiał: półprzewodnikowy dehydroksylowany topiony kwarc, SiO₂ ≥ 99,999%

• Kompatybilność płytek: 2/4/6/8/12 cali krzemu, SiC, GaN i szafiru

• Temperatura robocza: -20°C do 1100°C ciągła; krótkotrwały szczyt około 1200 °C

• Podstawowe funkcje: ograniczanie krawędzi plazmy, prowadzenie przepływu gazu, ochrona krawędzi i izolacja komory

• Jakość obróbki: tolerancje na poziomie mikronów, polerowane powierzchnie, kontrolowane krawędzie i czyste wykończenie

• Opcje konstrukcji: pierścień płaski, pierścień stopniowo trawiony, pierścień ustalający/ustalający i niestandardowe geometrie

• Personalizacja: średnica zewnętrzna/wewnętrzna, grubość, wysokość stopnia, elementy ustalające, fazowania i szczegóły interfejsu na rysunku

4.Dlaczego warto wybrać kwarcowe pierścienie trawione o wysokiej czystości VeTek?

VeTek Semiconductor dostarcza sprzęt kwarcowy o krytycznym znaczeniu dla procesu do narzędzi wytrawiających i termicznych. W przypadku pierścieni trawionych nacisk kładziony jest na:

• Czystość materiału i czystość powierzchni dostosowana do zaawansowanych środowisk trawienia na sucho

• Dokładność wymiarowa zapewniająca stabilną kontrolę granic plazmy i powtarzalne dopasowanie komory

• Elastyczność projektowania w celu wymiany w stylu OEM i w pełni niestandardowych interfejsów komór

• Pełna gama komponentów kwarcowych, która obejmuje również nośniki płytek, rury piecowe, łodzie i powiązane części technologiczne

Łącząc wysoką czystość, trwałość plazmy i ścisłą kontrolę geometrii, kwarcowe pierścienie wytrawiające VeTek o wysokiej czystości pomagają poprawić jednorodność trawienia w poprzek płytek, zmniejszyć defekty związane z krawędziami i zapewnić dłuższe, bardziej stabilne cykle produkcyjne w narzędziach do wytrawiania suchą plazmą.