Nieprzezroczysta tarcza kwarcowa i przesłona o wysokiej czystości do MOCVD

1. Dane techniczne

Zapewniamy precyzyjną obróbkę w oparciu o rysunki techniczne, aby zapewnić idealne dopasowanie do konkretnych modeli sprzętu.

2. Podstawowe obszary zastosowań

● Ochrona procesu MOCVD: Pełni funkcję niezbędnych wewnętrznych osłon/wyściółek chroniących środowisko reakcji.

● Epitaksja półprzewodnikowa: Używane jako precyzyjne przesłony do stabilizacji przepływu i temperatury podczas wzrostu cienkowarstwowego.

● Produkcja półprzewodników o szerokiej przerwie energetycznej: Kompatybilny ze środowiskami o wysokich wymaganiach dla GaN i innych zaawansowanych materiałów.

3. Dlaczego warto wybrać rozwiązania VETEK Quartz?

● Doskonałe zarządzanie promieniowaniem cieplnym: Nasz mlecznobiały kwarc zawiera dużą gęstość mikropęcherzyków, które skutecznie rozpraszają i blokują promieniowanie cieplne o wysokiej temperaturze (>1000°C). Pochłania światło widzialne i bliską podczerwień z elementów grzejnych i przekształca je w promieniowanie dalekiej podczerwieni, zapewniając bardzo równomierne ogrzewanie.
● Kontrola zanieczyszczeń i łatwa konserwacja: Jako zastępcza lub wymienna wyściółka wewnętrzna, tarcza kwarcowa utrzymuje komorę reakcyjną w czystości, zapobiegając osadzaniu się produktów ubocznych na drogich ścianach komory i grzejnikach. Części te można zregenerować poprzez czyszczenie na mokro (np. roztworami SPM+DHF) lub łatwo wymienić, aby zapewnić wysoką wydajność płytek.
● Ekstremalna odporność chemiczna: Kwarc VETEK został zaprojektowany tak, aby wytrzymywał częste cykle termiczne i był odporny na korozję ze strony związków organicznych metali (takich jak TMGa) i wodorków (takich jak AsH₃).
● Precyzyjna kontrola procesu: Nasze żaluzje kwarcowe utrzymują wysoką stabilność wymiarową pod wpływem ogrzewania na podczerwień lub żarnika. Ich niska bezwładność cieplna pozwala na szybką reakcję mechaniczną, umożliwiając precyzyjną kontrolę wzrostu „na poziomie atomowym” i zapobiegając zanieczyszczeniu krzyżowemu podczas przełączania wielu płytek lub wielu procesów.
● Ekonomiczna alternatywa: W przypadku projektów o rygorystycznych wymaganiach budżetowych nasze produkty kwarcowe stanowią niezawodny punkt wyjścia w porównaniu z grafitem powlekanym, oferując niezbędną ochronę i funkcjonalność systemów MOCVD.