Co to jest powłoka TAC? - Vetek Semiconductor

Powłoka TAC (Powłoka z węglikiem tantalu) jest wysokowydajnym materiałem powłokowym wytwarzanym przez proces osadzania pary chemicznej (CVD). Ze względu na doskonałe właściwości powłoki TAC w ekstremalnych warunkach jest szeroko stosowany w procesie produkcji półprzewodników, szczególnie w urządzeniach i komponentach wymagających wysokiej temperatury i silnego środowiska żrących. Powłoka TAC jest zwykle stosowana do ochrony substratów (takich jak grafit lub ceramika) przed uszkodzeniem w wyniku wysokiej temperatury, gazy korozyjnej i zużycia mechanicznego.

Fizyczne właściwości powłoki TAC

Funkcje produktu i zalety

● Niezwykle wysoka stabilność termiczna:

Opis funkcji: Powłoka TAC ma temperaturę topnienia o wartości większej niż 3880 ° C i może utrzymać stabilność bez rozkładu lub deformacji w środowisku bardzo wysokiej temperatury.

Zaleta: To czyni go niezbędnym materiałem w wysokiej temperaturze sprzętu półprzewodnikowego, takiego jak powłoka CVD TAC i powlekanie TAC, szczególnie w przypadku zastosowań w reaktorach MOCVD, takich jak sprzęt AIXtron G5.

● Doskonała odporność na korozję:

Opis cech: TAC ma wyjątkowo silną bezwładność chemiczną i może skutecznie opierać się erozji gazów korozyjnych, takich jak chlorki i fluorki.

Zalety: W procesach półprzewodnikowych obejmujących wysoce żrące chemikalia TAC chroni elementy sprzętu przed atakiem chemicznym, przedłuża żywotność serwisową i poprawia stabilność procesu, szczególnie w stosowaniu łodzi z węglowodanów krzemowych i innych kluczowych elementów.

● Doskonała twardość mechaniczna:

Opis cech: Twardość powłoki TAC wynosi nawet 9-10 MOHS, co sprawia, że ​​jest odporna na zużycie mechaniczne i naprężenie o wysokiej temperaturze.

Zaleta: właściwość wysokiej twardości sprawia, że ​​powłoka TAC jest szczególnie odpowiednia do stosowania w środowiskach o wysokim zużyciu i wysokim stresie, zapewniając długoterminową stabilność i niezawodność sprzętu w trudnych warunkach.

● Niska reaktywność chemiczna:

Opis cechy: Ze względu na bezwładność chemiczną powłokę TAC może utrzymać niską reaktywność w środowiskach o wysokiej temperaturze i unikać niepotrzebnych reakcji chemicznych z gazami reaktywnymi.

Zaleta: jest to szczególnie ważne w procesie produkcji półprzewodników, ponieważ zapewnia czystość środowiska procesowego i wysokiej jakości osadzanie materiałów.

Rola powłoki TAC w przetwarzaniu półprzewodników

● Ochrona kluczowych elementów sprzętu:

Opis funkcji: powłoka TAC jest szeroko stosowana w kluczowych elementach sprzętu do produkcji półprzewodników, takich jak podatnik powlekany TAC, który musi pracować w ekstremalnych warunkach. Poprzez powlekanie TAC komponenty te mogą działać przez długi czas w środowiskach o wysokiej temperaturze i żrące bez uszkodzenia.

● Rozszerzyć żywotność sprzętu:

Opis funkcji: W sprzęcie MOCVD, takim jak Aixtron G5, powłoka TAC może znacznie poprawić trwałość elementów sprzętu i zmniejszyć potrzebę konserwacji i wymiany sprzętu z powodu korozji i zużycia.

● Zwiększ stabilność procesu:

Opis funkcji: W produkcji półprzewodnikowej powłoka TAC zapewnia jednorodność i spójność procesu osadzania, zapewniając stabilne środowisko o wysokiej temperaturze i chemicznym. Jest to szczególnie ważne w procesach wzrostu epitaksjalnego, takich jak epitaksja krzemu i azotek galu (GAN).

● Popraw wydajność procesu:

Opis funkcji: Optymalizując powłokę na powierzchni sprzętu, powłoka TAC może poprawić ogólną wydajność procesu, zmniejszyć szybkość defektów i zwiększyć wydajność produktu. Ma to kluczowe znaczenie dla wytwarzania precyzyjnych materiałów półprzewodników o wysokiej czystości.

Wysoka stabilność termiczna, doskonała odporność na korozję, twardość mechaniczna i niska reaktywność chemiczna wykazywana przez powlekanie TAC podczas przetwarzania półprzewodnikowego sprawiają, że jest to idealny wybór do ochrony elementów sprzętu do produkcji półprzewodników. W miarę wzrostu popytu branży półprzewodnikowej na wysoką temperaturę, wysoką czystość i wydajne procesy produkcyjne, powłoka TAC ma szerokie perspektywy zastosowania, szczególnie w urządzeniach i procesach obejmujących powłokę CVD TAC, podatnik powlekany TAC i AIXTRON G5.

VETEK Semiconductor Technology Co., Ltd jest wiodącym dostawcą zaawansowanych materiałów powłokowych dla przemysłu półprzewodnikowego. Nasza firma koncentruje się na opracowywaniu najnowocześniejszych rozwiązań dla branży.

Nasze główne oferty produktów obejmująPowłoki z węglików krzemowych CVD (SIC), Powłoki do węglików do tantalu (TAC), Bulk SIC, proszki SIC i materiały SIC o dużej czystości, podatność grafitowa powlekana SIC, pierścienie podgrzewania, pierścień rozrywki powlekanej TAC, części Halfmoon itp., Czystość jest poniżej 5 ppm, może spełniać wymagania klientów.

Vetek Semiconductor koncentruje się na opracowywaniu najnowocześniejszych rozwiązań technologicznych i rozwoju produktu dla przemysłu półprzewodnikowego.Mamy szczerze mamy zostać twoim długoterminowym partnerem w Chinach.