Chemiczny proces osadzania pary

Proces CVD Pierścień stałego krawędzi SIC:

● Tworzywo: Pierścień ogniskowy jest wytwarzany z stałego SIC, wysokiej czystości i wysokiej wydajności materiału ceramicznego. Jest przygotowywany przez chemiczne osadzanie pary. Materiał stały SIC zapewnia wyjątkową trwałość, oporność w wysokiej temperaturze i doskonałe właściwości mechaniczne.

●  Zalety: Pierścień CVD SIC oferuje wyjątkową stabilność termiczną, utrzymując jego integralność strukturalną nawet w warunkach wysokotemperaturowych napotkanych w procesach suchego trawienia. Jego wysoka twardość zapewnia odporność na stres mechaniczny i zużycie, co prowadzi do długotrwałej żywotności. Ponadto Solid SIC wykazuje bezwładność chemiczną, chroniąc ją przed korozją i utrzymując jego wydajność w czasie.

Powłoka CVD SIC:

●  Tworzywo: Powłoka SIC CVD jest cienkim odkładaniem się warstwy SIC przy użyciu technik chemicznego odkładania pary (CVD). Powłoka jest nakładana na materiał podłoża, taki jak grafit lub krzem, w celu zapewnienia właściwości SIC na powierzchnię.

●  Porównanie: Podczas gdy powłoki CVD SIC oferują pewne zalety, takie jak kompozycja konformacyjna w złożonych kształtach i dostrajalnych właściwościach filmowych, mogą nie pasować do solidności i wydajności solidnego SIC. Grubość powłoki, struktura krystaliczna i chropowatość powierzchni mogą się różnić w zależności od parametrów procesu CVD, potencjalnie wpływając na trwałość powłoki i ogólną wydajność.

Podsumowując, półprzewodnikowy pierścień ogniskowy SIC Vetek jest wyjątkowym wyborem do zastosowań suchego trawienia. Jego stały materiał SIC zapewnia oporność o wysokiej temperaturze, doskonałą twardość i bezwładność chemiczną, co czyni go niezawodnym i długotrwałym rozwiązaniem. Podczas gdy powłoka CVD SIC zapewnia elastyczność w osadzaniu, pierścień CVD SIC wyróżnia się w zapewnianiu niezrównanej trwałości i wydajności wymaganej do wymagania procesów suchego trawienia.

Fizyczne właściwości stałego sic