Powłoka z węglika tantalu

Firma VeTek semiconductor jest wiodącym producentem materiałów powłokowych z węglika tantalu dla przemysłu półprzewodników. Nasza główna oferta produktów obejmuje części z powłoką z węglika tantalu CVD, części ze spiekanej powłoki TaC do hodowli kryształów SiC lub procesu epitaksji półprzewodników. Przeszedł ISO9001, VeTek Semiconductor ma dobrą kontrolę nad jakością. Firma VeTek Semiconductor pragnie stać się innowatorem w branży powłok z węglika tantalu poprzez ciągłe badania i rozwój technologii iteracyjnych.

Głównymi produktami sąPierścień prowadzący pokryty TaC, Trójpłatkowy pierścień prowadzący pokryty powłoką CVD TaC, Halfmoon pokryty węglikiem tantalu TaC, Susceptor epitaksjalny planetarny SiC z powłoką CVD TaC, Pierścień z powłoką z węglika tantalu, Porowaty grafit pokryty węglikiem tantalu, Susceptor rotacji powłoki TaC, Pierścień z węglika tantalu, Płytka obrotowa z powłoką TaC, Susceptor waflowy pokryty TaC, Pierścień deflektora pokryty TaC, Powłoka CVD TaC, Uchwyt pokryty TaCitp., czystość jest poniżej 5 ppm, może spełnić wymagania klienta.

Grafit z powłoką TaC powstaje poprzez pokrycie powierzchni podłoża grafitowego o wysokiej czystości cienką warstwą węglika tantalu w opatentowanym procesie chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD). Zaletę pokazano na poniższym obrazku:

Excellent properties of TaC coating graphite

Powłoka z węglika tantalu (TaC) zyskała na popularności ze względu na wysoką temperaturę topnienia do 3880°C, doskonałą wytrzymałość mechaniczną, twardość i odporność na szoki termiczne, co czyni ją atrakcyjną alternatywą dla złożonych procesów epitaksji półprzewodnikowej o wyższych wymaganiach temperaturowych, takie jak system Aixtron MOCVD i proces epitaksji LPE SiC. Ma również szerokie zastosowanie w procesie wzrostu kryształów SiC metodą PVT.

Kluczowe funkcje:

●Stabilność temperatury

●Bardzo wysoka czystość

●Odporność na H2, NH3, SiH4,Si

●Odporność na zapasy termiczne

●Silna przyczepność do grafitu

●Konformalne pokrycie powłoką

● Rozmiar do średnicy 750 mm (jedyny producent w Chinach osiąga ten rozmiar)

Aplikacje:

●Nośnik opłatków

● Indukcyjny wspornik grzejny

● Rezystancyjny element grzejny

●Dysk satelitarny

●Głowica prysznicowa

●Pierścień prowadzący

●Odbiornik LED Epi

●Dysza wtryskowa

●Pierścień maskujący

● Osłona termiczna

Powłoka z węglika tantalu (TaC) na mikroskopijnym przekroju poprzecznym:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parametr powłoki z węglika tantalu VeTek Semiconductor:

Właściwości fizyczne powłoki TaC
Gęstość	14,3 (g/cm3)
Specyficzna emisyjność	0.3
Współczynnik rozszerzalności cieplnej	6,3 10^-6/K
Twardość (HK)	2000 HK
Opór	1×10^-5Om*cm
Stabilność termiczna	<2500 ℃
Zmiany rozmiaru grafitu	-10~-20um
Grubość powłoki	Typowa wartość ≥20um (35um±10um)

Dane EDX powłoki TaC：

EDX data of TaC coating

Dane dotyczące struktury kryształu powłoki TaC:

Element	Procent atomowy
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Przeciętny
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
Ich	47.90	42.59	47.63	46.04

Uchwyt z powłoką TaC Dysk planetarny z powłoką TaC
Płyta pokryta TaC Płytka obrotowa z powłoką TaC Odbiornik powłoki TaC Powłoka CVD TaC Pierścień z powłoką CVD TaC Płyta z powłoką TaC

View as

Pierścień przewodnika powlekanego TAC

Pierścień przewodnika pokryty TAC jest wykonany z wysokiej jakości grafitu i powłoki TAC. W przygotowaniu kryształów SIC metodą PVT pierścień przewodnika powlekanego TAC VETEK Semiconductor jest głównie używany do prowadzenia i kontrolowania przepływu powietrza, optymalizacji procesu wzrostu pojedynczego kryształu i poprawy wydajności pojedynczej kryształu. Dzięki doskonałej technologii powlekania TAC nasze produkty mają doskonałą odporność na wysoką temperaturę, odporność na korozję i dobre właściwości mechaniczne.

Zobacz więcej >> Wyślij zapytanie >>

Planetarny dysk obrotowy pokryty węglikiem tantalu

VETEK Semiconductor jest wiodącym producentem i dostawcą dysku powłanego z rotacji węgla Tantalum w Chinach, koncentrując się na technologii powlekania TAC przez wiele lat. Nasze produkty mają wysoką czystość i doskonałą oporność w wysokiej temperaturze, które są szeroko rozpoznawane przez producentów półprzewodników. Vetek półprzewodnik Tantalum Carbide powlekany planeta dysk rotacyjny stał się kręgosłupem przemysłu epitaksji opłat. Z niecierpliwością oczekujemy długoterminowego partnerstwa w celu wspólnie promowania postępu technologicznego i optymalizacji produkcji.

Zobacz więcej >> Wyślij zapytanie >>

Nośnik wafla z grafitu powlekanego TaC

Firma VeTek Semiconductor starannie zaprojektowała dla klientów grafitowy nośnik waflowy pokryty TaC. Składa się z grafitu o wysokiej czystości i powłoki TaC, która nadaje się do różnych epitaksjalnych procesów obróbki płytek waflowych. Od wielu lat specjalizujemy się w powłokach SiC i TaC. W porównaniu z powłoką SiC, nasz grafitowy nośnik waflowy pokryty TaC ma wyższą odporność na temperaturę i zużycie. Z niecierpliwością czekamy na zostanie Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.

Zobacz więcej >> Wyślij zapytanie >>

Jako profesjonalny producent i dostawca w Chinach mamy własną fabrykę. Niezależnie od tego, czy potrzebujesz dostosowanych usług, aby zaspokoić konkretne potrzeby twojego regionu, czy chcesz kupić zaawansowane i trwałe Powłoka z węglika tantalu wyprodukowane w Chinach, możesz zostawić nam wiadomość.

Kod QR

O nas

Produkty

Skontaktuj się z nami

Telefon
+86-18069220752
Faks
+86-579-87223657
E-mail
anny@veteksemi.com
Adres
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, prowincja Zhejiang, Chiny

Menu internetowe

Wyszukiwarka produktów

Język

Wyjdź z menu

Powłoka z węglika tantalu

Kluczowe funkcje:

Aplikacje:

Powłoka z węglika tantalu (TaC) na mikroskopijnym przekroju poprzecznym:

Parametr powłoki z węglika tantalu VeTek Semiconductor:

Dane EDX powłoki TaC：

Dane dotyczące struktury kryształu powłoki TaC:

Pierścień przewodnika powlekanego TAC

Planetarny dysk obrotowy pokryty węglikiem tantalu

Nośnik wafla z grafitu powlekanego TaC

Wyślij zapytanie

Kod QR

O nas

Produkty

Skontaktuj się z nami

Telefon

Faks

E-mail

Adres