Wafel z węglikiem silikonowym Chuck

Półprzewodnik z węglikiem krzemowym VETEK Chuck wykorzystuje doskonałe właściwości krzemowych materiałów węglika, aby spełnić rygorystyczne wymagania produkcji półprzewodników, szczególnie w przetwarzaniu półprzewodników, które wymaga wyjątkowo wysokiej precyzji i niezawodności.

W procesie przetwarzania półprzewodników,Krzemowy węglikma doskonałą oporność w wysokiej temperaturze (może działać stabilnie w temperaturze do 1400 ° C), niska przewodność (SIC ma stosunkowo niską przewodność, zwykle 10^^-3S/M) i niski współczynnik rozszerzalności cieplnej (około 4,0 × 10^^-6/° C), który jest niezbędnym i ważnym materiałem, szczególnie odpowiednim do produkcji płytki krzemowej Chucka.

PodczasProces wzrostu epitaksjalnego, cienka warstwa materiału półprzewodnikowego jest osadzana na podłożu, wymagając absolutnej stabilności z wafla, aby zapewnić jednolite i wysokiej jakości warstwy składania warstwy. SiC próżni Chuck osiąga to, tworząc mocne, konsekwentne wstrzymanie próżni, aby zapobiec jakimkolwiek ruchowi lub deformacji opłatek.

Walka z węglikiem krzemowym Chuck oferuje również doskonałą odporność na wstrząs termiczny. Szybkie zmiany temperatury są powszechne w produkcji półprzewodników, a materiały, które nie mogą wytrzymać tych fluktuacji, mogą pękać, zgiąć lub zawieść. Krzem krzemowy ma niski współczynnik ekspansji cieplnej i może utrzymać jego kształt i funkcję nawet przy drastycznych zmianach temperatury, zapewniając, że wafel pozostaje bezpieczny podczas procesu epitaxii bez ruchu lub niewspółosiowości.

PonadtoProces epitaxiiCzęsto obejmuje gazy reaktywne i inne korozyjne chemikalia. Newa chemiczne wafla SIC Chucka zapewnia, że ​​nie mają wpływu na te surowe środowiska, utrzymując jego wydajność i rozszerzając żywotność usług. Ta chemiczna trwałość nie tylko zmniejsza częstotliwość wymiany płytki, ale także zapewnia stałą wydajność produktu w wielu cyklach produkcyjnych, pomagając poprawić ogólną wydajność i opłacalność procesu produkcji półprzewodników.

Vetek Semiconductor jest wiodącym producentem i dostawcą produktów Chuck z węglików krzemowych w Chinach. Możemy dostarczyć różne rodzaje produktów Chucka, takie jakPorowate ceramiczne chuck, Porowaty sic próżniowy chuck, Porowaty ceramiczny chuckITAC powlekany Chuck, itp. Vetek Semiconductor jest zaangażowany w dostarczanie zaawansowanych rozwiązań technologicznych i produktów dla przemysłu półprzewodnikowego. Mamy szczerze mamy zostać twoim długoterminowym partnerem w Chinach.

Dane SEM CVDStruktura krystaliczna filmu SIC：

Vetek Semiconductor Silicon Carbide Wafer Shops：