Element grzewczy CVD SIC

Element ogrzewania powłoki CVD jest stosowany głównie w sprzęcie PVD (fizyczne osadzanie pary). W procesie odparowywania materiał jest podgrzewany w celu osiągnięcia odparowania lub rozpylania, a na podłożu powstaje jednolita cienka warstwa.

Ⅰ.Konkretna aplikacja

Cienkie odkładanie warstwy: CVD SIC Element ogrzewania jest używany w źródle parowania lub źródle rozpylania. Przez ogrzewanie element ogrzewa materiał, który ma być osadzony do wysokiej temperatury, tak że jego atomy lub cząsteczki są oddzielone od powierzchni materiału, tworząc w ten sposób pary lub plazmę. Nasza powłoka SIC oparta na elemencie grzewczym może również bezpośrednio podgrzewać niektóre materiały metalowe lub ceramiczne, aby odparować lub sublimować je w środowisku próżniowym w celu wykorzystania jako źródło materiału w procesie PVD. Ponieważ struktura ma koncentryczne rowki, może lepiej kontrolować bieżącą ścieżkę i rozkład ciepła, aby zapewnić jednorodność ogrzewania.

Schematyczny schemat procesu parowania

Ⅱ.Zasada pracy

Ogrzewanie rezystancyjne, gdy prąd przechodzi przez ścieżkę oporową grzejnika powleczonego SIC, generuje się ciepło dżurowe, osiągając w ten sposób efekt ogrzewania. Koncentryczna struktura umożliwia równomierne rozmieszczenie prądu. Urządzenie kontroli temperatury jest zwykle podłączone do elementu w celu monitorowania i regulacji temperatury.

Ⅲ.Materiał i konstrukcja

Element ogrzewania powłoki CVD jest wykonany z grafitu o wysokiej czystości i powłokach SIC, aby poradzić sobie ze środowiskiem o wysokiej temperaturze. Sam grafit o wysokiej czystości był szeroko stosowany jako materiał pola termicznego. Po nałożeniu warstwy powłoki na powierzchnię grafitową metodą CVD jego stabilność w wysokiej temperaturze, odporność na korozję, wydajność cieplną i inne cechy są dodatkowo poprawiane.

Projekt koncentrycznych rowków pozwala prądowi utworzyć jednolitą pętlę na powierzchni dysku. Osiąga jednolity rozkład ciepła, pozwala uniknąć miejscowego przegrzania spowodowane stężeniem w niektórych obszarach, zmniejsza dodatkową utratę ciepła spowodowaną stężeniem prądu, a tym samym poprawia wydajność ogrzewania.

Element ogrzewania powłoki CVD SIC składa się z dwóch nóg i ciała. Każda noga ma wątek łączący się z zasilaczem. Semiconductor Vetek może wytwarzać jednoczęściowe części lub podzielone części, to znaczy nogi i ciało są wytwarzane osobno, a następnie montowane. Bez względu na to, jakie masz wymagania dotyczące grzejnika powlekanego CVD SIC, skonsultuj się z nami. Vetesemi może dostarczyć potrzebne produkty.

Podstawowe właściwości fizyczne powłoki CVD SIC ：