Krzemowy grzejnik powłoki z węglików krzemowych

To półprzewodnikGrzeźnik powłoki ceramicznej krzemowej to grzejnik zaprojektowany do wysokiej temperatury i trudnych środowisk. Pokrywa warstwę silikonowej powłoki ceramicznej węglowej (SIC) na powierzchni elementu grzewczego, aby zapewnić sprzęt doskonały odporność na ciepło, odporność na korozję i przewodność cieplną. 

Grzeźnik powłoki ceramicznej krzemowejjest stosowany głównie w sprzęcie powłoki próżniowej (odparowywania). Powszechnie stosowanymi metodami są PCD (suszenie chemiczne w osoczu) i PVD (fizyczne osadzanie pary), które są szeroko stosowane w produkcji półprzewodnikowej i innych zastosowaniach przemysłowych o wysokim zakładzie.

W połączeniu z wysokowydajnym projektem powłoki krzemowej grzejnika powłoki z węglika węglikaMoże zapewnić doskonałe rozwiązanie grzewcze do procesów w wysokiej temperaturze.

Doskonała przewodność cieplna: Materiał SIC ma doskonałą przewodność cieplną, zapewniając, że grzejnik może osiągnąć jednolity rozkład ciepła w obszarze roboczym i zmniejszyć gradienty temperatury.

Zapewnij jednolity rozkład ciepła: Grzeźnik powłoki ceramicznej krzemowej wykorzystuje wysoką przewodność cieplną materiału SIC w celu osiągnięcia jednolitego rozkładu temperatury w całym obszarze grzewczym. Ma to kluczowe znaczenie dla zapewnienia jednolitego obróbki cieplnej waflów półprzewodników w różnych procesach wysokotemperaturowych, takich jak szybkie przetwarzanie termiczne (RTP), dyfuzja i utlenianie, unikając wad produktu spowodowanych miejscowym przegrzaniem lub nierównomierną temperaturą.

Tolerancja w wysokiej temperaturze: Powłoka SIC umożliwia grzejnikowi wytrzymanie wyjątkowo wysokich temperatur, zwykle do 1600 ° C, odpowiednie do różnych procesów przetwarzania w wysokiej temperaturze.

Poprawić odporność na ciepło: Ponieważ powłoka może wytrzymać wyjątkowo wysokie temperatury, dobrze działa w procesach wymagających długoterminowej pracy w wysokiej temperaturze. Na przykład w procesach chemicznych odkładania pary (CVD) ceramiczny grzejnik powłoki z węglika krzemu może zapewnić długoterminowe stabilne działanie sprzętu w wysokich temperaturach i utrzymywać stałą wydajność ogrzewania, poprawiając w ten sposób powtarzalność i niezawodność procesu.

Odporność na korozję chemiczną: Powłoka SIC ma wyjątkowo wysoką odporność na kwas, alkaliczne i korozyjne gazo i może pozostać stabilne przez długi czas w złożonym środowisku atmosfery chemicznej, przedłużając żywotność sprzętu. 

Przedłużenie życia sprzętu: Powłoka SIC ma doskonałą odporność na utlenianie i odporność na korozję oraz może skutecznie odporować na erozję chemiczną i utlenianie w wysokich temperaturach. Jest to bardzo ważne w procesie produkcji półprzewodników, szczególnie w środowisku, które obsługuje gazy korozyjne i chemikalia. Efekt ochronny powłoki może znacznie przedłużyć żywotność serwisową grzejnika i zmniejszyć częstotliwość kosztów wymiany i konserwacji sprzętu.

Podstawowe właściwości fizyczne krzemowego węgla ceramicznego podgrzewacza powłoki:

Vetek półprzewodnikowy krzemowe węglika ceramiczne sklepy grzejne:

Przegląd łańcucha przemysłu Epitaksy Chip Chip Vetek: