Grafitowy nośnik RTP RTA pokryty CVD węglikiem krzemu (SiC).

Cechy produktu

· Podstawowe wyposażenie:Zaprojektowane do systemów szybkiego wyżarzania termicznego (RTA) i szybkiej obróbki termicznej (RTP).

· Głównyry Azastosowanie: Zoptymalizowany pod kątem procesów wyżarzania płytek półprzewodnikowych.

· Opeocena Tetemperatura:Stabilna praca od 200°C do 700°C.

· Excwspaniały Thermała jednolitość: Zapewnia równomierną dystrybucję ciepła w celu spójnego przetwarzania płytek.

· Niskie cząstkiGenergia: Gęsta powłoka CVD SiC minimalizuje zanieczyszczenia i poprawia wydajność produkcji.

· Doskonała odporność chemiczna:Odporny na utlenianie i korozyjne gazy procesowe podczas obróbki termicznej.

· Znakomityg Termal Odporność na wstrząsy: Utrzymuje integralność strukturalną poprzez powtarzające się szybkie cykle ogrzewania i chłodzenia.

· Długa żywotność:Odporna na zużycie powłoka SiC znacznie wydłuża żywotność komponentów i zmniejsza koszty konserwacji.

· ZwyczajProdukcja:Dostępne w różnych rozmiarach i konfiguracjach, aby dopasować je do różnych urządzeń RTP/RTA.

Dane techniczne

Aplikacje

·Szybkie wyżarzanie termiczne (RTA)

· Szybka obróbka termiczna (RTP)

· Wyżarzanie płytek krzemowych

· Aktywacja domieszki

· Utlenianie

· Dyfuzja

·Produkcja półprzewodników złożonych

·Produkcja MEMSów

·Przetwarzanie półprzewodników mocy

Często zadawane pytania

1. Kim jest przewoźnik RTP/RTA?

Nośnik RTP/RTA to element nośny płytek stosowany w systemach szybkiej obróbki termicznej i szybkiego wyżarzania termicznego. Bezpiecznie utrzymuje płytki półprzewodnikowe, zapewniając jednocześnie równomierne przenoszenie ciepła w całym cyklu termicznym.

2. Dlaczego preferowana jest powłoka CVD SiC?

W porównaniu z gołym grafitem powłoka CVD SiC zapewnia doskonałą odporność na utlenianie, mniejsze wytwarzanie cząstek, lepszą stabilność chemiczną i znacznie dłuższą żywotność.

3. Czy firma VETEK może zapewnić dostosowanych przewoźników RTP/RTA?

Tak. VETEK oferuje niestandardowe nośniki RTP/RTA w oparciu o rysunki klienta.