Kwarcowy dzbanek klasy półprzewodnikowej

Kwarcowy słoik z klasy półprzewodnikowej jest wykonany z materiału kwarcowego o wysokiej czystości. Ma doskonałą stabilność termiczną i silną odporność na korozję i jest stosowany w wielu dziedzinach. W przemyśle półprzewodnikowym: półprzewodnikowy słoik kwarcowy zapewnia kontrolowane środowisko do osadzania się cienkiego warstwy na waflach podczas osadzania pary chemicznej (CVD). Kwarcowy słoik z półprzewodnikami jest również stosowany w procesach, które wymagają technologii próżniowej, takich jak produkcja powłok optycznych, powłok metalowych i innych rodzajów materiałów z cienkimi filmami. Kwarcowy słoik z klasy półprzewodnikowej jest również potrzebny w wielu eksperymentach fizycznych i materiałowych, które wymagają wysokiej czystości, uszczelnionego próżniowego środowiska.

Scenariusze wykorzystania branży półprzewodników:

Polysilicon jest materiałem krzemowym złożonym z wielu małych ziaren, który jest szeroko stosowany w obwodach zintegrowanych, ogniwach słonecznych i innych polach. Chemiczne osadzanie pary (CVD) jest jedną z głównych metod przygotowywania polikrystalicznego krzemu. Podstawową zasadą jest to, że gaz źródłowy krzemu, taki jak SIH4, jest rozkładany w wysokiej temperaturze i osadzany na podłożu z polikrystalicznego krzemu ：

SIHCL3 + H2 ⇒ SI + 3HCl

W warunkach wysokiej temperatury i próżni gaz źródłowy krzemu wprowadzano do chemicznego osadzania z fazy gazowej. Ostatecznie otrzymuje się krzem polikrystaliczny. Słoik kwarcowy klasy półprzewodnikowej jest ważną częścią reaktora CVD z krzemu polikrystalicznego.

Reaktor CVD z krzemu polikrystalicznego

W wyniku reakcji CVD w wysokiej temperaturze, słoik kwarcowy klasy półprzewodnikowej może zapewnić jednolite środowisko termiczne. Odporność na wysoką temperaturę materiału kwarcowego o wysokiej czystości (wytrzymuje temperatury do około 1100°C) umożliwia mu stabilną pracę w reakcjach CVD i zapewnia równomierny rozkład temperatury w obszarze reakcji. W procesie CVD występuje wiele toksycznych składników gazowych, takich jak PH3 itp. Kwarcowy dzbanek klasy półprzewodnikowej może skutecznie izolować gazy chemiczne w komorze reakcyjnej od środowiska zewnętrznego, aby zapobiec szkodliwemu wyciekowi gazu. Odporność na korozję materiału kwarcowego o wysokiej czystości umożliwia również stabilną pracę innych materiałów przez długi czas podczas procesu CVD i nie ulegają one łatwo korozji ani uszkodzeniom.

Kwarcowy dzbanek jest używany w połączeniu z kwarcową rurką zatrzymującą ciepło i pionową łódką kwarcową i jest najczęściej używany w procesie epitaksjalnym produkcji półprzewodnikowych układów scalonych. Piec epitaksjalny ma ogólnie konstrukcję pionową, z dzbanem kwarcowym na zewnątrz pionowej łodzi kwarcowej i kwarcową rurą zabezpieczającą ciepło jako podporą.

Kolejne typowe zastosowanie słoika z krążek półprzewodnikowych kwarcowych w środowisku o wysokiej temperaturze: podgrzanie partii części ortodontycznych do 704 ℃ w ciągu 1 sekundy w obojętnej atmosferze do lutowania ：

VeTek Semiconductor ma dojrzały zespół techniczny. Bez względu na kształt i materiał słoika kwarcowego o wysokiej czystości, którego potrzebujesz, możemy go dostosować do Twoich potrzeb.

VETEK SEMICONDUCTOR PRODUKTY SKLEPS: