Co to jest powłoka TAC TAC Tantalum? - Veteksemicon

Co to jest Carbide Tantalum (TAC)?

Materiał ceramiczny z węglika Tantalum (TAC) ma temperaturę topnienia do 3880 ℃ i jest związek o wysokiej temperaturze topnienia i dobrą stabilność chemiczną. Może utrzymać stabilną wydajność w środowiskach o wysokiej temperaturze. Ponadto ma również oporność na wysoką temperaturę, odporność na korozję chemiczną oraz dobrą kompatybilność chemiczną i mechaniczną z materiałami węglowymi, co czyni go idealnym materiałem powłokowym ochronnym podłoża grafitowego. 

Powłoka z węglikiem tantalumoże skutecznie chronić komponenty grafitowe przed skutkami gorącego amoniaku, wodoru, pary krzemowej i stopionego metalu w trudnych środowiskach użytkowania, znacznie rozszerzając żywotność usług grafitowych i tłumią migrację zanieczyszczeń w graficie, zapewniając jakość jakościepitaksjalnyIWzrost kryształów.

Ryc. 1. Wspólne komponenty powlekane węglika tantalu

Przygotowanie powłoki TAC w procesie CVD

Chemiczne osadzanie pary (CVD) jest najbardziej dojrzałą i optymalną metodą wytwarzania powłok TAC na powierzchniach grafitowych.

Używając odpowiednio TACL5 i propylenu odpowiednio źródłów węgla i tantalu, a argon jako gaz nośnego, para reakcji TACL5 w wysokiej temperaturze wprowadza się do komory reakcyjnej. Przy docelowej temperaturze i ciśnieniu para materiału prekursorowego przylega na powierzchni grafitu, przechodząc szereg złożonych reakcji chemicznych, takich jak rozkład i połączenie źródeł węgla i tantalu, a także szereg reakcji powierzchniowych, takich jak dyfuzja i desorpcja produktów ubocznych prekursora. Wreszcie na powierzchni grafitu powstaje gęsta warstwa ochronna, która chroni grafit przed stabilnym istnieniem w ekstremalnych warunkach środowiskowych i znacznie rozszerza scenariusze zastosowania materiałów grafitowych.

Rysunek 2.Zasada procesu chemicznego odkładania pary (CVD)

Aby uzyskać więcej informacji o zasadach i procesie przygotowywania powłoki CVD TAC, zapoznaj się z artykułem:Jak przygotować powłokę CVD TAC?

Dlaczego warto wybrać VeteSemicon?

SemiconGłównie dostarcza produkty z węglikiemTAC Coating Crucible, Porowaty grafit powlekania TAC jest szeroko stosowany, to proces wzrostu kryształów SIC; Porowaty grafit z TAC powlekany TAC, Pokryty przewodnikiem TAC,TAC powlekany grafitowy przewoźnik opłatek, Wrażniki powlekania TAC,podatnik planet, A te produkty powlekania z węglikiem tantalu są szeroko stosowane wProces epitaksji SICISIC Proces wzrostu pojedynczego kryształu.

Rysunek 3.WeterynarzNajpopularniejsze produkty do powlekania z węglika Tantalum EK Semiconductor