Wsparcie powlekania z węglikiem tantalu

Główna funkcja półprzewodnika VetekPowłoka z węglikiem tantalu (TAC)Wsparcie polega na ulepszeniuodporność na ciepło, odporność na zużycie i odporność na korozjępodłoża przez powlekanie warstwy powłoki węgla tantalu, aby poprawić dokładność i niezawodność procesu oraz przedłużyć żywotność obsługi komponentów. Jest to wysokowydajny produkt powłoki stosowany w dziedzinie przetwarzania półprzewodników.

Suptor Vetek Semiconductor's Tantalum Carbide Coating ma twardość Mohsa wynoszącą prawie 9 ~ 10, drugie tylko do Diamond. Ma wyjątkowo silną odporność na zużycie i może skutecznie opierać się zużycie powierzchni i wpływ podczas przetwarzania, tym samym skutecznie rozszerzając żywotność serwisową elementów sprzętu. W połączeniu z wysoką temperaturą topnienia około 3880 ° C, jest często stosowany do powlekania kluczowych elementów sprzętu półprzewodnikowego, takich jak powłoki powierzchniowe struktur wsporniczych, sprzęt do oczyszczania ciepła, komory lub uszczelki w sprzęcie półprzewodników w celu zwiększenia odporności na zużycie i oporności w wysokiej temperaturze.

Ze względu na niezwykle wysoką temperaturę topnienia węgliku tantalu o powierzchni około 3880 ° C, w procesach przetwarzania półprzewodników, takich jakchemiczne osadzanie pary (CVD)IFizyczne osadzanie pary (PVD), Powłoka TAC z silną odpornością na wysoką temperaturę i odporność na korozję chemiczną może skutecznie chronić komponenty sprzętu i zapobiegać korozji lub uszkodzeniu podłoża w ekstremalnych środowiskach, zapewniając skuteczną ochronę środowisk wysokiej temperatury w produkcji opłat. Ta funkcja określa również, że wsparcie powłoki węgla Tantalum VEETK Semiconductor jest często stosowane w procesach trawienia i korozyjnych.

Obsługa powłoki z węglika tantalu ma również funkcję zmniejszania zanieczyszczenia cząstek. Podczas przetwarzania waflowania zużycie powierzchni zwykle powoduje zanieczyszczenie cząstek stałych, co wpływa na jakość produktu wafla. Ekstremalne charakterystyka produktu TAC Coating o twardości blisko 9-10 MOHS może skutecznie zmniejszyć to zużycie, zmniejszając w ten sposób wytwarzanie cząstek. W połączeniu z doskonałą przewodnością cieplną TAC (około 21 w/m · k), może zachować dobrą przewodność cieplną w warunkach wysokiej temperatury, tym samym znacznie poprawiając wydajność i spójność produkcji opłat.

Główne produkty powlekania TAC Vetek Semiconductor obejmująGrzeźnik powłoki TAC, CVD TAC Coating Crucible, Podatnik na obrót powlekania TACITAC Powłoka część zamiennaitp. i obsługują dostosowane usługi produktów. Vetek Semiconductor jest zaangażowany w dostarczanie doskonałych produktów i rozwiązań technicznych dla przemysłu półprzewodnikowego. Mamy szczerze mamy zostać twoim długoterminowym partnerem w Chinach.

Powłoka z węglika tantalu (TAC) na mikroskopijnym przekroju:

Podstawowe właściwości fizyczne powłoki CVD TAC：