CVD TAC Coating Crucible

Podatność obrotowa powłoki TAC odgrywa kluczową rolę w procesach osadzania wysokiej temperatury, takich jak CVD i MBE, i jest ważnym elementem przetwarzania opłat w produkcji półprzewodnikowej. Wśród nich,Powłoka TACMa doskonałą oporność na wysoką temperaturę, odporność na korozję i stabilność chemiczną, co zapewnia wysoką precyzję i wysoką jakość podczas przetwarzania wafla.

CVD TAC Coating Trucible zwykle składa się z powlekania TAC igrafitsubstrat. Wśród nich TAC jest materiałem ceramicznym o wysokiej temperaturze topnienia o temperaturze topnienia do 3880 ° C. Ma wyjątkowo wysoką twardość (twardość Vickersa do 2000 hV), odporność na korozję chemiczną i silną odporność na utlenianie. Dlatego powłoka TAC jest doskonałym materiałem o wysokiej temperaturze w technologii przetwarzania półprzewodników.

Podłoża grafitowa ma dobrą przewodność cieplną (przewodność cieplna wynosi około 21 w/m · k) i doskonałą stabilność mechaniczną. Ta cecha określa, że ​​grafit staje się idealną powłokąsubstrat.

Tygód powlekania CVD TAC jest głównie stosowany w następujących technologiach przetwarzania półprzewodników:

Produkcja płytki: Półprzewodnik VETEK CVD TAC Coel Crutble ma doskonałą oporność w wysokiej temperaturze (punkt topnienia do 3880 ° C) i odporność na korozję, więc jest często stosowany w kluczowych procesach wytwarzania waflu, takich jak osadzanie pary w wysokiej temperaturze (CVD) i wzrost epitaxialny. W połączeniu z doskonałą stabilnością strukturalną produktu w bardzo wysokich środowiskach temperaturowych, zapewnia, że ​​sprzęt może stabilnie działać przez długi czas w wyjątkowo trudnych warunkach, tym samym skutecznie poprawiając wydajność produkcji i jakość wafli.

Proces wzrostu epitaksjalnego: W procesach epitaksjalnych, takich jakchemiczne osadzanie pary (CVD)a epitaxia wiązki molekularnej (MBE), powłoka CVD TAC Crucible odgrywa kluczową rolę w prowadzeniu. Jego powłoka TAC może nie tylko utrzymać wysoką czystość materiału w ekstremalnej temperaturze i korozyjnej atmosferze, ale także skutecznie zapobiegać zanieczyszczeniu reagentów materiału i korozji reaktora, zapewniając dokładność procesu produkcyjnego i spójności produktu.

Jako wiodący chiński producent i lider CVD TAC Coating Crucible, Vetek Semiconductor może świadczyć niestandardowe produkty i usługi techniczne zgodnie z wymogami dotyczącymi sprzętu i procesów. Mamy szczerze mamy zostać twoim długoterminowym partnerem w Chinach.

Powłoka z węglika tantalu (TAC) na mikroskopijnym przekroju：

Fizyczne właściwości powłoki TAC：

To półprzewodnik CVD TAC Coating Trucible Shops ：