Podatnik na obrót powlekania TAC

VETEK Semiconductor TAC Rotting Rotacja jest kluczowym elementem obsługi płytki w przetwarzaniu półprzewodnikowym. JegoTaC CoNaszMa doskonałą tolerancję w wysokiej temperaturze (punkt topnienia do 3880 ° C), stabilność chemiczną i odporność na korozję, które zapewniają wysoką precyzję i wysoką jakość w przetwarzaniu opłat.

Podatność obrotu powłoki TAC (podatność obrotowa powłoki węglowej tantalum) jest kluczowym elementem sprzętu stosowanego w przetwarzaniu półprzewodnikowym. Jest zwykle instalowany wchemiczne osadzanie pary (CVD)oraz sprzęt epitaxy wiązki molekularnej (MBE) do podparcia i obracania płytek, aby zapewnić jednolite osadzanie materiału i wydajną reakcję. Ten rodzaj produktu znacznie poprawia żywotność usług i wydajność sprzętu w środowisku wysokiej temperatury i korozyjnej poprzez powlekanie podłożapowłoka Tantalum Carbon (TAC).

Podatnik obrotu powłoki TAC zwykle składa się z powlekania TAC i grafitu lub węgla krzemu jako materiału podłoża. TAC to ultra-wysoka temperatura materiału ceramiczna o wyjątkowo wysokiej temperaturze topnienia (punkt topnienia do 3880 ° C), twardość (twardość Vickers wynosi około 2000 hk) i doskonałą odporność na korozję chemiczną. Półprzewodnik VETEK może skutecznie i równomiernie pokryć powłokę węgla tantalum na materiale podłoża za pomocą technologii CVD.

Podatność obrotowa jest zwykle wykonana z wysokiej przewodności cieplnej i materiałów o wysokiej wytrzymałości (grafit lubKrzemowy węglik), który może zapewnić dobre wsparcie mechaniczne i stabilność termiczną w środowiskach o wysokiej temperaturze. Idealne połączenie tych dwóch określa idealną wydajność podatności na obrót powłoki TAC w podtrzymywaniu i obracających się waflach.

Podatność obrotu powłoki TAC podpiera i obraca wafel w procesie CVD. Twardość TAC Vickersa wynosi około 2000 HK, co pozwala mu oprzeć się powtarzającym się tarciem materiału i odgrywanie dobrej roli podtrzymującej, zapewniając w ten sposób, że gaz reakcyjny jest równomiernie rozmieszczony na powierzchni opłat i materiał jest równomiernie osadzony. Jednocześnie tolerancja o wysokiej temperaturze i odporność na korozję powłoki TAC umożliwiają stosowanie jej przez długi czas w atmosferze o wysokiej temperaturze i korozyjnej atmosferze, co skutecznie unika zanieczyszczenia opłatek i nośnika.

Ponadto przewodność cieplna TAC wynosi 21 w/m · k, która ma dobre przeniesienie ciepła. Dlatego podatnik obrotu powlekania TAC może równomiernie podgrzewać płytki w warunkach wysokiej temperatury i zapewnić jednolitość procesu osadzania gazu poprzez ruch obrotowy, utrzymując w ten sposób spójność i wysoką jakośćWzrost opłatek.

Powłoka z węglika tantalu (TAC) na mikroskopijnym przekroju：

Fizyczne właściwości powłoki TAC：

Sklepy podatne na rotację powlekania TAC: