Produkty
Łódź waflowa z węglika krzemu powlekana SiC
  • Łódź waflowa z węglika krzemu powlekana SiCŁódź waflowa z węglika krzemu powlekana SiC
  • Łódź waflowa z węglika krzemu powlekana SiCŁódź waflowa z węglika krzemu powlekana SiC
  • Łódź waflowa z węglika krzemu powlekana SiCŁódź waflowa z węglika krzemu powlekana SiC
  • Łódź waflowa z węglika krzemu powlekana SiCŁódź waflowa z węglika krzemu powlekana SiC
  • Łódź waflowa z węglika krzemu powlekana SiCŁódź waflowa z węglika krzemu powlekana SiC

Łódź waflowa z węglika krzemu powlekana SiC

Łódź waflowa z węglika krzemu powlekana SiC została zaprojektowana ze 165 miejscami do przenoszenia płytek. VeTek Semiconductor jest profesjonalnym producentem i dostawcą w Chinach łodzi waflowej z węglika krzemu powlekanej SiC, z wieloletnim doświadczeniem w badaniach i rozwoju oraz produkcji, może dobrze kontrolować jakość i oferować konkurencyjne cena. Zapraszamy do odwiedzenia naszej fabryki i dalszej dyskusji na temat współpracy.

VeTek Semiconductor to chiński producent i dostawca, który z wieloletnim doświadczeniem produkuje głównie łodzie waflowe z węglika krzemu powlekanego SiC. Mam nadzieję nawiązać z Tobą relacje biznesowe. Łódź z waflami z węglika krzemu pokrytymi SiC jest stosowana w półprzewodnikowych piecach dyfuzyjnych do przenoszenia płytek w różnych procesach wysokotemperaturowych, takich jak implantacja jonów, dyfuzja i wyżarzanie. Może zapewnić stabilne środowisko dla płytek, zapewniając jednolitość i spójność temperatury podczas przetwarzania.

Łodzie waflowe z węglika krzemu pokrytego SiC mają wyższą odporność cieplną i stabilność chemiczną, dzięki czemu mogą pracować w wyższych temperaturach i zapewniają dłuższą żywotność. Dodatkowo mają niższą szybkość parowania materiału i szybkość adsorpcji gazu, co pomaga zmniejszyć wpływ zanieczyszczeń na przetwarzanie płytek.

Możemy wyprodukować różne rodzaje łodzi z węglików krzemowych, takich jak pozioma łódź opłat, pionowa łódź opłat i wszelkie inne spersonalizowane łodzie.


Zalety naszego węglika krzemu o wysokiej czystości:

1. Stabilność w wysokiej temperaturze

2. Bezwładność chemiczna

3. Płacowa zawartość zanieczyszczenia

4. Przewodność cieplna


Fizyczne właściwości rekrystalizowanego węgliku krzemu

Fizyczne właściwości rekrystalizowanego węgliku krzemu
Nieruchomość Typowa wartość
Temperatura pracy (°C) 1600°C (z tlenem), 1700°C (środowisko redukujące)
Zawartość SiC > 99,96%
Darmowa zawartość SI < 0,1%
Gęstość nasypowa 2,60-2,70 g/cm23
Pozorna porowatość < 16%
Siła ściskania > 600 MPa
Zimna siła zginania 80-90 MPa (20 ° C)
Gorąca siła zginania 90-100 MPa (1400 ° C)
Rozszerzanie termiczne @1500 ° C. 4,70x10-6/° C.
Przewodność cieplna @1200°C 23 W/m • k
Moduł sprężystości 240 GPA
Odporność na szok termiczny Niezwykle dobry


Sklep produkcyjny półprzewodników VeTek:

VeTek Semiconductor Production Shop


Gorące Tagi: Łódź waflowa z węglika krzemu powlekana SiC
Wyślij zapytanie
Informacje kontaktowe
For inquiries about Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite or price list, please leave your email to us and we will be in touch within 24 hours.
X
Używamy plików cookie, aby zapewnić lepszą jakość przeglądania, analizować ruch w witrynie i personalizować zawartość. Korzystając z tej witryny, wyrażasz zgodę na używanie przez nas plików cookie.Polityka prywatności