Piec utleniający i dyfuzyjny

Piece utleniające i dyfuzyjne są stosowane w różnych dziedzinach, takich jak urządzenia półprzewodnikowe, urządzenia dyskretne, urządzenia optoelektroniczne, urządzenia energoelektroniczne, ogniwa słoneczne i produkcja układów scalonych na dużą skalę. Są wykorzystywane w procesach obejmujących dyfuzję, utlenianie, wyżarzanie, tworzenie stopów i spiekanie płytek.

VeTek Semiconductor jest wiodącym producentem specjalizującym się w produkcji wysokiej czystości komponentów z grafitu, węglika krzemu i kwarcu w piecach utleniających i dyfuzyjnych. Naszym celem jest dostarczanie wysokiej jakości komponentów pieców dla przemysłu półprzewodników i fotowoltaiki i jesteśmy w czołówce technologii powlekania powierzchni, takich jak CVD-SiC, CVD-TaC, pirowęglan itp.

Zalety komponentów z węglika krzemu VeTek Semiconductor:

Odporność na wysoką temperaturę (do 1600℃)

Doskonała przewodność cieplna i stabilność termiczna

Dobra odporność na korozję chemiczną

Niski współczynnik rozszerzalności cieplnej

Wysoka wytrzymałość i twardość

Długa żywotność

W piecach utleniających i dyfuzyjnych, ze względu na obecność gazów wysokotemperaturowych i korozyjnych, wiele komponentów wymaga zastosowania materiałów wysokotemperaturowych i odpornych na korozję, wśród których powszechnie stosowany jest węglik krzemu (SiC). Poniżej przedstawiono typowe składniki węglika krzemu występujące w piecach utleniających i piecach dyfuzyjnych:

Łódź Waflowa

Łódka z węglika krzemu to pojemnik służący do transportu płytek krzemowych, który wytrzymuje wysokie temperatury i nie wchodzi w reakcję z płytkami krzemowymi.

Rura pieca

Rura pieca jest głównym elementem pieca dyfuzyjnego, służącym do umieszczania płytek krzemowych i kontrolowania środowiska reakcji. Rury pieca z węglika krzemu mają doskonałą odporność na wysoką temperaturę i korozję.

Płyta przegrodowa

Służy do regulacji przepływu powietrza i rozkładu temperatury wewnątrz pieca

Rurka ochronna termopary

Stosowane do ochrony termopar do pomiaru temperatury przed bezpośrednim kontaktem z gazami korozyjnymi.

Wiosło wspornikowe

Łopatki wspornikowe z węglika krzemu są odporne na wysoką temperaturę i korozję i służą do transportu łodzi krzemowych lub łodzi kwarcowych przewożących płytki krzemowe do rur pieca dyfuzyjnego.

Wtryskiwacz gazu

Stosowany do wprowadzania gazu reakcyjnego do pieca, musi być odporny na wysoką temperaturę i korozję.

Przewoźnik łodzi

Wspornik łodzi z węglika krzemu służy do mocowania i podtrzymywania płytek krzemowych, które mają zalety takie jak wysoka wytrzymałość, odporność na korozję i dobra stabilność strukturalna.

Drzwi Pieca

Powłoki lub elementy z węglika krzemu można również zastosować na wewnętrznej stronie drzwi pieca.

Element grzewczy

Elementy grzejne z węglika krzemu nadają się do wysokich temperatur, dużej mocy i mogą szybko podnieść temperaturę do ponad 1000 ℃.

Wkładka SiC

Stosowany do ochrony wewnętrznej ściany rur pieca, może pomóc zmniejszyć straty energii cieplnej i wytrzymać trudne warunki, takie jak wysoka temperatura i wysokie ciśnienie.