Utlenianie i piec dyfuzyjny

● Oporność na wysoką temperaturę (do 1600 ℃)

● Doskonała przewodność cieplna i stabilność termiczna

● Dobra odporność na korozję chemiczną

● Niski współczynnik rozszerzalności cieplnej

● Wysoka siła i twardość

● Długa żywotność

W piecach utleniania i dyfuzyjnych, ze względu na obecność wysokiej temperatury i gazów korozyjnych, wiele komponentów wymaga zastosowania materiałów o wysokiej temperaturze i oporności na korozję, w tym powszechnie stosowany wybór węgla krzemu (SIC). Poniżej znajdują się powszechne składniki węglików krzemionowych występujących w piecach utleniania i piecach dyfuzyjnych:

● Łódź opłat

Łódź waflowa krzemowa to pojemnik używany do przenoszenia płytek silikonowych, który może wytrzymać wysokie temperatury i nie reaguje z płynami krzemowymi.

● Rurka pieca

Rurka pieca jest podstawowym składnikiem pieca dyfuzyjnego, stosowanego do pomieszczeń waflów krzemowych i kontrolowania środowiska reakcji. Rurki pieca z węglika krzemu mają doskonałą wydajność oporności na wysoką temperaturę i korozję.

● Płyta przegrody

Służy do regulacji rozkładu przepływu powietrza i temperatury wewnątrz pieca

● Rurka ochrony termopary

Służy do ochrony termopar mierzący temperatury przed bezpośrednim kontaktem z gazami korozyjnymi.

● Paddle wspornikowe

Płynce krzemowe z węglika krzemowego są odporne na wysoką temperaturę i korozję i są używane do transportu łodzi silikonowych lub łodzi kwarcowych niosących płytki silikonowe do rur pieca dyfuzyjnego.

● Wtryskiwacz gazu

Używany do wprowadzenia gazu reakcyjnego do pieca, musi być odporny na wysoką temperaturę i korozję.

● Nośnik łodzi

Nośnik łodzi w płytach węgla krzemu służy do naprawy i wspierania płytek krzemowych, które mają zalety, takie jak wysoka wytrzymałość, odporność na korozję i dobra stabilność strukturalna.

● drzwi pieca

Po wewnętrznej stronie drzwi pieca można również zastosować powłoki lub komponenty z krzemowych węglików.

● Element grzewczy

Elementy ogrzewania węgla krzemu są odpowiednie do wysokich temperatur, wysokiej mocy i mogą szybko podnieść temperatury do ponad 1000 ℃.

● Wkładka SIC

Służy do ochrony wewnętrznej ściany rur pieca, może pomóc zmniejszyć utratę energii cieplnej i wytrzymać trudne środowiska, takie jak wysoka temperatura i wysokie ciśnienie.