Poziomy nośnik płytek SiC

Firma VeTek SemiconductorPoziomy przewoźnik opłatek/Boat ma wyjątkowo wysoką temperaturę topnienia (około 2700°C), co umożliwiaPoziomy przewoźnik opłatek/Łódź do stabilnego pracy w środowiskach o wysokiej temperaturze bez deformacji lub degradacji. Ta funkcja jest szczególnie ważna w procesie produkcji półprzewodników, szczególnie w procesach, takich jak wyżarzanie w wysokiej temperaturze lub odkładanie pary chemicznej (CVD).

.Poziomy nośnik płytek SiC/Boat w szczególności pełni następujące role w procesie przewozu nośników opłatków:

Noszenie i wsparcie płytek krzemowych: Horyzontalna łódź waflowa jest używana głównie do przenoszenia i wspierania waflów silikonowych podczas produkcji półprzewodnikowej. Może mocno umówić wiele płytek krzemowych, aby zapewnić, że pozostają one w dobrej pozycji i stabilności podczas całego procesu przetwarzania.

Jednolite ogrzewanie i chłodzenie: Ze względu na wysoką przewodność cieplną SiC, Wafer Boat może skutecznie rozprowadzać ciepło równomiernie do wszystkich płytek krzemowych. Pomaga to uzyskać równomierne ogrzewanie lub chłodzenie płytek krzemowych podczas obróbki w wysokiej temperaturze, zapewniając spójność i niezawodność procesu przetwarzania.

Zapobiegać zanieczyszczeniu: Stabilność chemiczna SiC umożliwia jego dobre działanie w środowiskach o wysokiej temperaturze i gazach korozyjnych, zmniejszając w ten sposób narażenie płytek krzemowych na możliwe zanieczyszczenia lub reagenty, zapewniając czystość i jakość płytek krzemowych.

W rzeczywistości pozioma łódź waflowa SiC może pełnić powyższą rolę ze względu na swoje unikalne cechy produktu:

Doskonała stabilność chemiczna: Materiał SIC ma doskonałą odporność na korozję na różne pożywki chemiczne. W procesie przetwarzania gapów korozyjnych lub cieczy łódź opłat SIC może skutecznie opierać się korozji chemicznej i chronić płytki krzemowe przed zanieczyszczeniem lub uszkodzeniem.

Wysoka przewodność cieplna: Wysoka przewodność cieplna SiC pomaga równomiernie rozprowadzać ciepło w procesie nośnika i zmniejszać akumulację ciepła. Może to poprawić dokładność kontroli temperatury podczas precyzyjnego przetwarzania i zapewnić równomierne ogrzewanie lub chłodzenie płytek krzemowych.

Niski współczynnik rozszerzalności cieplnej: Niski współczynnik rozszerzania termicznego materiału SIC oznacza, że ​​wymiarowa zmiana łodzi opłatek SIC jest bardzo mała podczas zmian temperatury. Pomaga to utrzymać stabilność wymiarową podczas przetwarzania o wysokiej temperaturze i zapobiega deformacji lub przemieszczenia pozycyjnego krzemowych waflów spowodowanych rozszerzeniem cieplnym.

Podstawowe właściwości fizyczne poziomego przewoźnika waflowego:

Porównaj półprzewodnikowy sklep produkcyjny:

Przegląd łańcucha przemysłu epitaxy chipów półprzewodników: