Obszarowanie grafitu

Podatnik na wafel jest koniecznością do procesu wzrostu epitaksjalnego. Podczas wzrostu epitaksjalnego podłoże opłat jest umieszczane w podatności. Wrażające podatniki z wysokim poziomem bezpieczeństwa semiconductora NVETEK Semiconductor są wykorzystywane w urządzeniach do przetwarzania materiałów w środowiskach wysokiej temperatury i wysokiej próżni. W epitaksjalnym wzroście azotku galu (proces MOCVD) odgrywają one rolę podtrzymującą w obrotu podłoża. Rotacyjny podatnik grafitowy VETEK Semiconductor ma następujące zalety:

● Wysoka czystość: Zawartość zanieczyszczenia w podatności obracających grafitu o wysokiej czystości wynosi poniżej 5 ppm. Ten poziom grafitu czystości może uniknąć uwalniania zanieczyszczeń w wysokich temperaturach, aby zapewnić czystość procesu osadzania. Dlatego nie jest wymagana powłoka w celu spełnienia wymagań roboczych.

Grafit o wysokiej czystości

● Doskonałe właściwości termiczne: Grafit o wysokiej czystości ma doskonałą przewodność cieplną, a jego przewodność cieplna jest znacznie wyższa niż inne materiały. Współczynnik rozszerzania cieplnego jest niewielki i może utrzymać stabilną wydajność podczas doświadczania zmian temperatury.

● Dobre właściwości mechaniczne: Graphit o wysokiej walce ma dobrą odporność na zużycie i wytrzymałość, które mogą spełniać złożone wymagania procesu CVD.

● Doskonała przewodność: Przewodność jest sto razy wyższa niż w przypadku ogólnych minerałów niemetalicznych.

● Stabilność chemiczna: Może odpierać korozję z kwasów, alkaliów i rozpuszczalników organicznych

Ponadto, jako wiodący producent i dostawca grafitu o wysokiej czystości rotacyjnej w Chinach, półprzewodnik Vetek dostarcza również wysokiej jakościSIC powlekane grafitowe podatnik dla MOCVD, SIC powlekana luf, Obsługa grafitu powlekana TACIPodatnik powlekania MOCVD SIC.Vetek Semiconductor jest zaangażowany w dostarczanie zaawansowanych rozwiązań technologicznych i produktów dla branży półprzewodnikowej, a także obsługuje dostosowane usługi. Z niecierpliwością oczekujemy, że zostaniemy twoim długoterminowym partnerem w Chinach.

To półprzewodnikGraphit rotacyjne sklepy z produktami podatkowymi: