Menu internetowe

Wyszukiwarka produktów

Język

Produkty
Grafitowy susceptor z powłoką SiC do EPI
  • Grafitowy susceptor z powłoką SiC do EPIGrafitowy susceptor z powłoką SiC do EPI
  • Grafitowy susceptor z powłoką SiC do EPIGrafitowy susceptor z powłoką SiC do EPI
  • Grafitowy susceptor z powłoką SiC do EPIGrafitowy susceptor z powłoką SiC do EPI

Grafitowy susceptor z powłoką SiC do EPI

Podstawa grzewcza płytek epitaksjalnych typu beczkowego jest produktem o skomplikowanej technologii przetwarzania, która stanowi duże wyzwanie dla sprzętu i możliwości obróbki. Firma Vetek Semiconductor posiada zaawansowany sprzęt i bogate doświadczenie w obróbce grafitowego susceptora z powłoką SiC do EPI, może zapewnić taką samą trwałość fabryczną, bardziej opłacalne beczki epitaksjalne. Jeśli interesują Cię nasze dane, nie wahaj się z nami skontaktować.
Wyślij zapytanie
Opis produktu

To półprzewodnikto chiński producent i dostawca, który z wieloletnim doświadczeniem produkuje głównie grafitowe susceptory z powłoką SiC do EPI. Mam nadzieję zbudować z Tobą relacje biznesowe.I (epitaksja)jest krytycznym procesem w produkcji zaawansowanych półprzewodników. Obejmuje osadzanie cienkich warstw materiału na podłożu w celu utworzenia złożonych struktur urządzeń. SiC powlekane grafit -lufą dla EPI są powszechnie stosowane jako podatniki w reaktorach EPI ze względu na ich doskonałą przewodność cieplną i odporność na wysokie temperatury. ZPowłoka CVD-SICstaje się bardziej odporny na zanieczyszczenia, erozję i szok termiczny. Skutkuje to dłuższą żywotnością susceptora i lepszą jakością folii.


Zalety naszego powlekanego SIC Graphit Barrel:


✔ Zmniejszone zanieczyszczenie: Obojętny charakter SiC zapobiega przyleganiu zanieczyszczeń do powierzchni susceptora, zmniejszając ryzyko zanieczyszczenia osadzonych warstw.

✔ Zwiększona odporność na erozję: SIC jest znacznie bardziej odporny na erozję niż konwencjonalny grafit, co prowadzi do dłuższej żywotności dla podatnika.

✔ Poprawiona stabilność termiczna: SIC ma doskonałą przewodność cieplną i może wytrzymać wysokie temperatury bez znaczących zniekształceń.

✔ Zwiększona jakość filmu: Ulepszona stabilność termiczna i zmniejszone zanieczyszczenie powodują, że folie osadzane wyższej jakości o poprawie jednolitości i kontroli grubości.


Aplikacje:

SiC powiązane z lufą grafitową powlekane SIC są szeroko stosowane w różnych zastosowaniach EPI, w tym:

✔ Diody LED na bazie GaN

✔ Elektronika mocy

✔ Urządzenia optoelektroniczne

✔ Tranzystory o wysokiej częstotliwości

✔ Czujniki

Parametr produktu powlekanego SIC Graphit Barrel

Właściwości fizycznegrafit izostatyczny
Nieruchomość Jednostka Typowa wartość
Gęstość luzem g/cm3 1.83
Twardość HSD 58
Oporność elektryczna µΩ.m 10
Siła zginania MPA 47
Siła ściskająca MPA 103
Wytrzymałość na rozciąganie MPA 31
Moduł Younga GPA 11.8
Rozszerzalność cieplna (CTE) 10-6K-1 4.6
Przewodność cieplna W · m-1· K-1 130
Średnia wielkość ziarna um 8-10
Porowatość % 10
Zawartość popiołu ppm ≤10 (po oczyszczeniu)

        Uwaga: Przed powlekaniem wykonamy pierwsze oczyszczanie, po powlekaniu wykonamy drugie oczyszczanie.

Podstawowe właściwości fizyczne powłoki CVD SIC

Podstawowe właściwości fizyczne powłok CVD SiC
Nieruchomość Typowa wartość
Struktura krystaliczna FCC β faza polikrystaliczna, głównie (111) zorientowana
Gęstość powłoki SiC 3,21 g/cm3
Twardość powłoki CVD SiC 2500 Vickers Twardość （500 g ładowanie）
Wielkość ziarna 2 ~ 10 mm
Czystość chemiczna 99,99995%
Pojemność cieplna 640 J · kg-1· K-1
Temperatura sublimacji 2700 ℃
Siła zginania 415 MPA RT 4-punktowy
Moduł Younga Zagięcie 430 Gpa, 4-punktowe, 1300 ℃
Przewodność cieplna 300 W · m-1· K-1
Rozszerzalność cieplna (CTE) 4,5×10-6K-1

To półprzewodnikSIC powlekana grafitowa podatnik na EPISklep produkcyjny

SiC Coated Graphite Barrel Susceptor for EPI products shops

Gorące Tagi: SIC powlekana grafitowa podatnik na EPI
Powiązana kategoria
Wyślij zapytanie
Informacje kontaktowe
W przypadku pytań dotyczących powłoki z węglika krzemu, powłoki z węglika tantalu, specjalnego grafitu lub cennika, zostaw nam swój e-mail, a my skontaktujemy się z tobą w ciągu 24 godzin.
Produkty powiązane
Górna płyta pokryta SIC dla LPE PE2061S
Górna płyta pokryta SIC dla LPE PE2061S Zobacz więcej >>
SIC powlekane wsparcie dla LPE PE2061S
SIC powlekane wsparcie dla LPE PE2061S Zobacz więcej >>
SIC powlekane podatnik na naleśniki dla LPE PE3061S 6 '' WAFERS
SIC powlekane podatnik na naleśniki dla LPE PE3061S 6 '' WAFERS Zobacz więcej >>
SIC powlekany grafitem deflektora tygla
SIC powlekany grafitem deflektora tygla Zobacz więcej >>
LPE, jeśli zestaw zwolenników EPI
LPE, jeśli zestaw zwolenników EPI Zobacz więcej >>
W ten sposób pokryte czesne EPI
W ten sposób pokryte czesne EPI Zobacz więcej >>
Zalecenia dotyczące wiadomości
Jak wybrać tacę grafitową MOCVD?
Jak wybrać tacę grafitową MOCVD?Zobacz więcej >>
Jaka jest różnica między zastosowaniami węglika krzemu (SiC) i azotku galu (GaN)? - Półprzewodnik VeTek
Jaka jest różnica między zastosowaniami węglika krzemu (SiC) i azotku galu (GaN)? - Półprzewodnik VeTekZobacz więcej >>
Projekt pola termicznego dla SIC pojedynczych kryształów
Projekt pola termicznego dla SIC pojedynczych kryształówZobacz więcej >>
Co to jest kontrolowany krokowo wzrost epitaksjalny?
Co to jest kontrolowany krokowo wzrost epitaksjalny?Zobacz więcej >>
Innowacje technologii CVD stojącej za Nagrodą Nobla
Innowacje technologii CVD stojącej za Nagrodą NoblaZobacz więcej >>
Historia rozwoju 3C SIC
Historia rozwoju 3C SICZobacz więcej >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept