Grafitowy susceptor z powłoką SiC do EPI

✔ Zmniejszone zanieczyszczenie: Obojętny charakter SiC zapobiega przyleganiu zanieczyszczeń do powierzchni susceptora, zmniejszając ryzyko zanieczyszczenia osadzonych warstw.

✔ Zwiększona odporność na erozję: SIC jest znacznie bardziej odporny na erozję niż konwencjonalny grafit, co prowadzi do dłuższej żywotności dla podatnika.

✔ Poprawiona stabilność termiczna: SIC ma doskonałą przewodność cieplną i może wytrzymać wysokie temperatury bez znaczących zniekształceń.

✔ Zwiększona jakość filmu: Ulepszona stabilność termiczna i zmniejszone zanieczyszczenie powodują, że folie osadzane wyższej jakości o poprawie jednolitości i kontroli grubości.

✔ Diody LED na bazie GaN

✔ Elektronika mocy

✔ Urządzenia optoelektroniczne

✔ Tranzystory o wysokiej częstotliwości

✔ Czujniki

Parametr produktu powlekanego SIC Graphit Barrel

        Uwaga: Przed powlekaniem wykonamy pierwsze oczyszczanie, po powlekaniu wykonamy drugie oczyszczanie.

Podstawowe właściwości fizyczne powłoki CVD SIC