Stały węglik krzemu

VeTek Semiconductor Stały węglik krzemu jest ważnym składnikiem ceramicznym w sprzęcie do trawienia plazmowego. Stały węglik krzemu (Węglik krzemu CVD) obejmują części sprzętu do trawieniapierścienie ostrości, głowica prysznicowa gazowa, taca, pierścienie krawędziowe itp. Ze względu na niską reaktywność i przewodność stałego węglika krzemu (węglik krzemu CVD) na gazy trawiące zawierające chlor i fluor, jest to idealny materiał na pierścienie ogniskujące i inne urządzenia do trawienia plazmowego komponenty.

Na przykład pierścień ogniskujący jest ważną częścią umieszczoną na zewnątrz płytki i mającą z nią bezpośredni kontakt, poprzez przyłożenie napięcia do pierścienia w celu skupienia plazmy przechodzącej przez pierścień, skupiając w ten sposób plazmę na płytce, aby poprawić jednorodność przetwarzanie. Tradycyjny pierścień ostrości wykonany jest z krzemu lubkwarc, przewodzący krzem jako powszechny materiał pierścienia ogniskującego, jest prawie zbliżony do przewodności płytek krzemowych, ale niedoborem jest słaba odporność na trawienie w plazmie zawierającej fluor, materiały części maszyn do trawienia często używane przez pewien okres czasu, wystąpią poważne zjawisko korozji, poważnie zmniejszając wydajność produkcji.

Sstary pierścień ostrości SiCZasada działania：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

Porównanie pierścienia ogniskującego na bazie Si i pierścienia ogniskującego CVD SiC:

Porównanie pierścienia ostrości na bazie Si i pierścienia ostrości CVD SiC
Przedmiot	I	CVD SiC
Gęstość (g/cm³)	2.33	3.21
Szczelina wzbroniona (eV)	1.12	2.3
Przewodność cieplna (W/cm℃)	1.5	5
CTE (x10^-6/℃)	2.6	4
Moduł sprężystości (GPa)	150	440
Twardość (GPa)	11.4	24.5
Odporność na zużycie i korozję	Słaby	Doskonały

VeTek Semiconductor oferuje zaawansowane części z pełnego węglika krzemu (węglik krzemu CVD), takie jak pierścienie ostrości SiC do sprzętu półprzewodnikowego. Nasze pierścienie ogniskujące z węglika krzemu przewyższają tradycyjny krzem pod względem wytrzymałości mechanicznej, odporności chemicznej, przewodności cieplnej, trwałości w wysokich temperaturach i odporności na trawienie jonowe.

Kluczowe cechy naszych pierścieni ogniskujących SiC obejmują:

Wysoka gęstość w celu zmniejszenia szybkości trawienia.

Doskonała izolacja z dużą przerwą wzbronioną.

Wysoka przewodność cieplna i niski współczynnik rozszerzalności cieplnej.

Doskonała odporność na uderzenia mechaniczne i elastyczność.

Wysoka twardość, odporność na zużycie i odporność na korozję.

Wyprodukowano przy użyciuchemiczne osadzanie z fazy gazowej wspomagane plazmą (PECVD)technik, nasze pierścienie ogniskujące SiC spełniają rosnące wymagania procesów trawienia w produkcji półprzewodników. Zostały zaprojektowane tak, aby wytrzymać wyższą moc i energię plazmy, szczególnie wplazma sprzężona pojemnościowo (CCP)systemy.

Pierścienie ostrości SiC firmy VeTek Semiconductor zapewniają wyjątkową wydajność i niezawodność w produkcji urządzeń półprzewodnikowych. Wybierz nasze komponenty SiC, aby uzyskać najwyższą jakość i wydajność.

View as

Chemiczny proces osadzania pary

Vetek Semiconductor zawsze był zaangażowany w badania i rozwój i produkcję zaawansowanych materiałów półprzewodników. Obecnie Vetek Semiconductor poczynił ogromne postępy w procesie chemicznego osadzania pary stałych produktów pierścieniowych i jest w stanie zapewnić klientom wysoce spersonalizowane pierścienie solidne SIC. Pierścienie krawędzi stałego SIC zapewniają lepszą jednolitość trawienia i precyzyjne pozycjonowanie wafla, gdy jest używane z elektrostatycznym chuckiem, zapewniając spójne i niezawodne wyniki trawienia. Czekamy na twoje zapytanie i stać się nawzajem długoterminowymi partnerami.

Zobacz więcej >> Wyślij zapytanie >>

Pierścień ogniskowania stałego sic

Pierścień ogniskujący z litego SiC do trawienia jest jednym z podstawowych elementów procesu trawienia płytek, który odgrywa rolę w utrwalaniu płytek, skupianiu plazmy i poprawie jednorodności trawienia płytek. Jako wiodący producent pierścieni ogniskujących SiC w Chinach, firma VeTek Semiconductor dysponuje zaawansowaną technologią i dojrzałym procesem oraz produkuje wytrawiający pierścień ogniskujący z litego SiC, który w pełni spełnia potrzeby klientów końcowych zgodnie z wymaganiami klienta. Z niecierpliwością czekamy na Twoje zapytanie i staniemy się dla siebie długoterminowymi partnerami.

Zobacz więcej >> Wyślij zapytanie >>

Jako profesjonalny producent i dostawca w Chinach mamy własną fabrykę. Niezależnie od tego, czy potrzebujesz dostosowanych usług, aby zaspokoić konkretne potrzeby twojego regionu, czy chcesz kupić zaawansowane i trwałe Stały węglik krzemu wyprodukowane w Chinach, możesz zostawić nam wiadomość.

Kod QR

O nas

Produkty

Skontaktuj się z nami

Telefon
+86-18069220752
Faks
+86-579-87223657
E-mail
anny@veteksemi.com
Adres
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, prowincja Zhejiang, Chiny

Menu internetowe

Wyszukiwarka produktów

Język

Wyjdź z menu

Stały węglik krzemu

Kluczowe cechy naszych pierścieni ogniskujących SiC obejmują:

Chemiczny proces osadzania pary

Pierścień ogniskowania stałego sic

Wyślij zapytanie

Kod QR

O nas

Produkty

Skontaktuj się z nami

Telefon

Faks

E-mail

Adres