Produkty
Wiosła o wysokiej czystości sic
  • Wiosła o wysokiej czystości sicWiosła o wysokiej czystości sic

Wiosła o wysokiej czystości sic

Vetek Semiconductor jest wiodącym producentem i dostawcą produktu do wiosłowania wspornikowego o wysokiej czystości w Chinach. Płynce wspornikowe o wysokiej czystości są powszechnie stosowane w półprzewodnikowych piecach dyfuzyjnych jako platformy transferowe lub ładowania.

Paddle o wysokiej czystości sic jest kluczowym elementem stosowanym w sprzęcie do przetwarzania półprzewodników. Produkt jest wykonany z materiału z węglika krzemowego o dużej czystości (SIC).  Klienci mogą swobodnie wybierać spiekany materiał SIC lub rekrystalizowany materiał SIC. Za pomocą doskonałych charakterystyk wysokiej czystości, wysokiej stabilności termicznej i odporności na korozję jest szeroko stosowany w procesach takich jak transfer opłat, wsparcie i przetwarzanie w wysokiej temperaturze, zapewniając niezawodną gwarancję zapewnienia dokładności procesu i jakości produktu.


Paddle o wysokiej czystości sic odgrywa następujące specyficzne role w procesie przetwarzania półprzewodnikowego:


Przeniesienie opłat: Wiosłowca wspornikowa o wysokiej czystości jest zwykle stosowana jako urządzenie przenoszące opłatek w piecach dyfuzji lub utleniania wysokotemperatury. Jego wysoka twardość sprawia, że ​​jest odporny na zużycie i nie jest łatwy do zdeformowania podczas długoterminowego użytkowania i może zapewnić, że wafel pozostaje dokładnie ustawiony podczas procesu transferu. W połączeniu z wysoką temperaturą i odpornością na korozję, może bezpiecznie przenosić płytki do rurki do pieca w środowiskach o wysokiej temperaturze bez powodowania zanieczyszczenia lub uszkodzenia waflarzy.


Wsparcie opłatek: Materiał SIC ma niski współczynnik rozszerzalności cieplnej, co oznacza, że ​​jego rozmiar zmienia się mniej, gdy zmienia się temperatura, co pomaga utrzymać precyzyjną kontrolę w procesie. W procesach chemicznych odkładania pary (CVD) lub fizycznym odkładaniu pary (PVD) wiosła SIC Contilever służy do wsparcia i naprawy opłatek, aby upewnić się, że wafel pozostaje stabilny i płaski podczas procesu osadzania, poprawiając w ten sposób jednolitość i jakość filmu.


Zastosowanie procesów o wysokiej temperaturze: Paddle Sic Corlever ma doskonałą stabilność termiczną i może wytrzymać temperatury do 1600 ° C. Dlatego ten produkt jest szeroko stosowany w wyższym poziomie wyższym temperaturze, utlenianiu, dyfuzji i innych procesach.


Podstawowe właściwości fizyczne wiosła wspornikowej o wysokiej czystości:

Fizyczne właściwości spiekanego krzemowego węglika

Nieruchomość

Typowa wartość

Skład chemiczny

Sic> 95% , I <5%

Gęstość luzem

> 3.07 g/cm³
Pozorna porowatość
<0,1%
Moduł pęknięcia przy 20 ℃
270 MPa
Moduł pęknięcia przy 1200 ℃
290 MPa
Twardość w wieku 20 ℃
2400 kg/mm²
Wytrzymałość złamania wynosi 20%
3.3 MPa · m1/2
Przewodność cieplna przy 1200 ℃
45 W/M.K
Rozbudowa termiczna w 20-1200 ℃
4,5 × 10-6/℃
Max Temperatura pracy
1400 ℃
Odporność na wstrząsy termiczne przy 1200 ℃
Dobry

Fizyczne właściwości rekrystalizowanego węgliku krzemu
Nieruchomość
Typowa wartość
Temperatura pracy (° C)
1600 ° C (z tlenem), 1700 ° C (środowisko redukujące)
Treść sic
> 99,96%
Darmowa zawartość SI
<0,1%
Gęstość luzem
2,60-2,70 g/cm3
Pozorna porowatość
<16%
Siła kompresji
> 600 MPa
Zimna siła zginania
80-90 MPa (20 ° C)
Gorąca siła zginania
90-100 MPa (1400 ° C)
Rozszerzanie termiczne @1500 ° C.
4,70 x 10-6/° C.
Przewodność cieplna @1200 ° C.
23 W/m • k
Moduł sprężystości
240 GPA
Odporność na wstrząsy termiczne
Niezwykle dobry


Wiosła o wysokiej czystości sicsklepy:


VeTek Semiconductor Production Shop


Przegląd sieci przemysłu Epitaksy Chip Chip:


Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain

Gorące Tagi: Wiosła o wysokiej czystości sic
Wyślij zapytanie
Informacje kontaktowe
W przypadku pytań dotyczących powłoki z węglika krzemu, powłoki z węglika tantalu, specjalnego grafitu lub cennika, zostaw nam swój e-mail, a my skontaktujemy się z tobą w ciągu 24 godzin.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept