Produkty
Wiosła o wysokiej czystości sic
  • Wiosła o wysokiej czystości sicWiosła o wysokiej czystości sic

Wiosła o wysokiej czystości sic

Vetek Semiconductor jest wiodącym producentem i dostawcą produktu do wiosłowania wspornikowego o wysokiej czystości w Chinach. Płynce wspornikowe o wysokiej czystości są powszechnie stosowane w półprzewodnikowych piecach dyfuzyjnych jako platformy transferowe lub ładowania.

Paddle o wysokiej czystości sic jest kluczowym elementem stosowanym w sprzęcie do przetwarzania półprzewodników. Produkt jest wykonany z materiału z węglika krzemowego o dużej czystości (SIC).  Klienci mogą swobodnie wybierać spiekany materiał SIC lub rekrystalizowany materiał SIC. Za pomocą doskonałych charakterystyk wysokiej czystości, wysokiej stabilności termicznej i odporności na korozję jest szeroko stosowany w procesach takich jak transfer opłat, wsparcie i przetwarzanie w wysokiej temperaturze, zapewniając niezawodną gwarancję zapewnienia dokładności procesu i jakości produktu.


Paddle o wysokiej czystości sic odgrywa następujące specyficzne role w procesie przetwarzania półprzewodnikowego:


Przeniesienie opłat: Wiosłowca wspornikowa o wysokiej czystości jest zwykle stosowana jako urządzenie przenoszące opłatek w piecach dyfuzji lub utleniania wysokotemperatury. Jego wysoka twardość sprawia, że ​​jest odporny na zużycie i nie jest łatwy do zdeformowania podczas długoterminowego użytkowania i może zapewnić, że wafel pozostaje dokładnie ustawiony podczas procesu transferu. W połączeniu z wysoką temperaturą i odpornością na korozję, może bezpiecznie przenosić płytki do rurki do pieca w środowiskach o wysokiej temperaturze bez powodowania zanieczyszczenia lub uszkodzenia waflarzy.


Wsparcie opłatek: Materiał SIC ma niski współczynnik rozszerzalności cieplnej, co oznacza, że ​​jego rozmiar zmienia się mniej, gdy zmienia się temperatura, co pomaga utrzymać precyzyjną kontrolę w procesie. W procesach chemicznych odkładania pary (CVD) lub fizycznym odkładaniu pary (PVD) wiosła SIC Contilever służy do wsparcia i naprawy opłatek, aby upewnić się, że wafel pozostaje stabilny i płaski podczas procesu osadzania, poprawiając w ten sposób jednolitość i jakość filmu.


Zastosowanie procesów o wysokiej temperaturze: Paddle Sic Corlever ma doskonałą stabilność termiczną i może wytrzymać temperatury do 1600 ° C. Dlatego ten produkt jest szeroko stosowany w wyższym poziomie wyższym temperaturze, utlenianiu, dyfuzji i innych procesach.


Podstawowe właściwości fizyczne wiosła wspornikowej o wysokiej czystości:

Fizyczne właściwości spiekanego krzemowego węglika

Nieruchomość

Typowa wartość

Skład chemiczny

Sic> 95% , I <5%

Gęstość luzem

> 3.07 g/cm³
Pozorna porowatość
<0,1%
Moduł pęknięcia przy 20 ℃
270 MPa
Moduł pęknięcia przy 1200 ℃
290 MPa
Twardość w wieku 20 ℃
2400 kg/mm²
Wytrzymałość złamania wynosi 20%
3.3 MPa · m1/2
Przewodność cieplna przy 1200 ℃
45 W/M.K
Rozbudowa termiczna w 20-1200 ℃
4,5 × 10-6/℃
Max Temperatura pracy
1400 ℃
Odporność na wstrząsy termiczne przy 1200 ℃
Dobry

Fizyczne właściwości rekrystalizowanego węgliku krzemu
Nieruchomość
Typowa wartość
Temperatura pracy (° C)
1600 ° C (z tlenem), 1700 ° C (środowisko redukujące)
Treść sic
> 99,96%
Darmowa zawartość SI
<0,1%
Gęstość luzem
2,60-2,70 g/cm3
Pozorna porowatość
<16%
Siła kompresji
> 600 MPa
Zimna siła zginania
80-90 MPa (20 ° C)
Gorąca siła zginania
90-100 MPa (1400 ° C)
Rozszerzanie termiczne @1500 ° C.
4,70 x 10-6/° C.
Przewodność cieplna @1200 ° C.
23 W/m • k
Moduł sprężystości
240 GPA
Odporność na wstrząsy termiczne
Niezwykle dobry


Wiosła o wysokiej czystości sicsklepy:


VeTek Semiconductor Production Shop


Przegląd sieci przemysłu Epitaksy Chip Chip:


Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain

Gorące Tagi: Wiosła o wysokiej czystości sic
Wyślij zapytanie
Informacje kontaktowe
For inquiries about Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite or price list, please leave your email to us and we will be in touch within 24 hours.
X
Używamy plików cookie, aby zapewnić lepszą jakość przeglądania, analizować ruch w witrynie i personalizować zawartość. Korzystając z tej witryny, wyrażasz zgodę na używanie przez nas plików cookie. Polityka prywatności
OdrzucićPrzyjąć