Produkty

Solidny węglik krzemowy

Solidny krzemowa węglik krzemowy Vetek jest ważnym ceramicznym elementem w sprzęcie do trawienia plazmy, stałym węgliku krzemu (CVD Krzemowy węglik) Części w urządzeniach do trawienia obejmująPierścienie skupiające się, Gaz prysznicowy, taca, pierścienie krawędzi itp. Ze względu na niską reaktywność i przewodność stałego krzemowego węgla (węglika krzemowa CVD) do chloru - i gazy trawienia zawierające fluor, jest to idealny materiał do urządzeń do wycięcia plazmy i innych komponentów.


Na przykład pierścień ostrości jest ważną częścią umieszczoną poza płytki i w bezpośrednim kontakcie z opłatą, poprzez zastosowanie napięcia na pierścień, aby skupić plazmę przechodzącą przez pierścień, skupiając się w ten sposób plazmę na waflu w celu poprawy jednolitości przetwarzania. Tradycyjny pierścień ostrości jest wykonany z krzemu lubkwarc, przewodzący krzem jako wspólny materiał pierścienia ostrości, jest prawie zbliżony do przewodności płytek krzemowych, ale brak jest słaby odporność na trawienie w osoczu zawierającym fluor, materiały do ​​wykrawania, często używane przez pewien czas, będzie poważne zjawisko korozji, poważnie zmniejszając jego wydajność produkcji.


SOlid Sic Pierścień ostrościZasada pracy

Working Principle of Solid SiC Focus Ring


Porównanie pierścienia ogniskowego opartego na SI i pierścienia ostrości CVD SIC :

Porównanie pierścienia ogniskowego opartego na SI i pierścienia ogniskowania CVD
Przedmiot I CVD sic
Gęstość (g/cm3) 2.33 3.21
Band Gap (EV) 1.12 2.3
Przewodność cieplna (w/cm ℃) 1.5 5
CTE (x10-6/℃) 2.6 4
Moduł sprężysty (GPA) 150 440
Twardość (GPA) 11.4 24.5
Odporność na zużycie i korozja Słaby Doskonały


Vetek Semiconductor oferuje zaawansowany stały węglik krzemowy (węgliek krzemowy CVD), takie jak pierścienie ogniskowe SIC dla sprzętu półprzewodnikowego. Nasze pierścienie skupiające się na węgliku z krzemowego przewyższające tradycyjny krzemion pod względem wytrzymałości mechanicznej, odporności chemicznej, przewodnictwa cieplnego, trwałości wysokiej temperatury i odporności na trawienie jonów.


Kluczowe funkcje naszych pierścieni skupiających się:

Wysoka gęstość dla zmniejszonych szybkości trawienia.

Doskonała izolacja z wysoką bandgap.

Wysoka przewodność cieplna i niski współczynnik rozszerzalności cieplnej.

Najwyższa odporność na uderzenie mechaniczną i elastyczność.

Wysoka twardość, odporność na zużycie i odporność na korozję.

Wyprodukowane za pomocąZatrudnione w osoczu chemiczne odkładanie pary (PECVD)Techniki, nasze pierścienie skupiające się na SIC spełniają rosnące wymagania procesów trawienia w produkcji półprzewodnikowej. Zostały zaprojektowane tak, aby wytrzymać wyższą moc i energię plazmową, szczególnie wPlazma sprzężona pojemnościowo (CCP)systemy.

Pierścienie koncentracji SIC VETEK SIConductor zapewniają wyjątkową wydajność i niezawodność w produkcji urządzeń półprzewodnikowych. Wybierz nasze komponenty SIC dla najwyższej jakości i wydajności.


View as  
 
Głowa prysznicowa z węglików silikonowych

Głowa prysznicowa z węglików silikonowych

Głowica prysznicowa z węglików krzemowych ma doskonałą tolerancję w wysokiej temperaturze, stabilność chemiczną, przewodność cieplną i dobrą wydajność dystrybucji gazu, które mogą osiągnąć jednolity rozkład gazu i poprawić jakość filmu. Dlatego zwykle stosuje się go w procesach o wysokiej temperaturze, takich jak chemiczne osadzanie pary (CVD) lub fizyczne procesy osadzania pary (PVD). Witamy wobec nas dalszych konsultacji, Vetek Semiconductor.
Pierścień uszczelki z węglikiem silikonowym

Pierścień uszczelki z węglikiem silikonowym

Jako profesjonalny producent produktów i fabryki z pieczęciami z węglików krzemionowych w Chinach, półprzewodnikowy pierścień z węglikiem krzemowego Vetek jest szeroko stosowany w sprzęcie do przetwarzania półprzewodników ze względu na doskonałą odporność na ciepło, odporność na korozję, wytrzymałość mechaniczną i przewodność cieplną. Jest on szczególnie odpowiedni do procesów obejmujących gazy o wysokiej temperaturze i reaktywne, takie jak CVD, PVD i trawienie w osoczu, i jest kluczowym wyborem materiału w procesie produkcji półprzewodników. Twoje dalsze zapytania są mile widziane.
Blok CVD dla wzrostu kryształów SIC

Blok CVD dla wzrostu kryształów SIC

Blok CVD dla wzrostu kryształów SIC jest nowym surowcem o wysokiej czystości opracowanej przez półprzewodnik Veteka. Ma wysoki stosunek wejściowego wyjścia i może wyhodować wysokiej jakości pojedyncze kryształy węgla krzemu, który jest materiałem drugiej generacji zastępującej proszek używany obecnie na rynku. Witamy w omawianiu problemów technicznych.
SIC Crystal Growth Nowa technologia

SIC Crystal Growth Nowa technologia

Zaleca się, aby ultra-wysoki krzemowa węglika krzemowa (CVD) VETEK SETICONDUCTOR SETICONDUCTOR (CVD) jest stosowany jako materiał źródłowy do uprawy kryształów węgla krzemu przez fizyczny transport pary (PVT). W nowej technologii SIC Crystal Growth materiał źródłowy jest ładowany do tygla i sublimowany na kryształ nasion. Użyj bloków CVD o wysokiej czystości, aby być źródłem rosnących kryształów SIC. Witamy w nawiązaniu z nami partnerstwa.
CVD sic prysznicowa głowa

CVD sic prysznicowa głowa

Vetek Semiconductor jest wiodącym producentem i innowatorem prysznicowym CVD w Chinach. Od wielu lat specjalizujemy się w materiale SIC. Z niecierpliwością oczekujemy, że zostaniemy twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
SIC Prysznic

SIC Prysznic

VETEK SEMICONDUCTOR jest wiodącym producentem i innowatorem prysznicowym SIC w Chinach. Od wielu lat specjalizujemy się w materiale SIC.

Veteksemicon solid silicon carbide is the ideal procurement material for high-temperature, high-strength, and corrosion-resistant components used in semiconductor and industrial applications. As a fully dense, monolithic ceramic, solid silicon carbide (SiC) offers unmatched mechanical rigidity, extreme thermal conductivity, and exceptional chemical durability in harsh processing environments. Veteksemicon’s solid SiC is specifically developed for critical structural applications such as SiC wafer carriers, cantilever paddles, susceptors, and showerheads in semiconductor equipment.


Manufactured through pressureless sintering or reaction bonding, our solid silicon carbide parts exhibit excellent wear resistance and thermal shock performance, even at temperatures above 1600°C. These properties make solid SiC the preferred material for CVD/PECVD systems, diffusion furnaces, and oxidation furnaces, where long-term thermal stability and purity are essential.


Veteksemicon also offers custom-machined SiC parts, enabling tight dimensional tolerances, high surface quality, and application-specific geometries. Additionally, solid SiC is non-reactive in both oxidizing and reducing atmospheres, enhancing its suitability for plasma, vacuum, and corrosive gas environments.


To explore our full range of solid silicon carbide components and discuss your project specifications, please visit the Veteksemicon product detail page or contact us for technical support and quotations.


Jako profesjonalny producent i dostawca w Chinach mamy własną fabrykę. Niezależnie od tego, czy potrzebujesz dostosowanych usług, aby zaspokoić konkretne potrzeby twojego regionu, czy chcesz kupić zaawansowane i trwałe Solidny węglik krzemowy wyprodukowane w Chinach, możesz zostawić nam wiadomość.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept