Produkty
CVD SIC Coating Epitaksy Podatność
  • CVD SIC Coating Epitaksy PodatnośćCVD SIC Coating Epitaksy Podatność
  • CVD SIC Coating Epitaksy PodatnośćCVD SIC Coating Epitaksy Podatność

CVD SIC Coating Epitaksy Podatność

Epitaksja CVD SIC SIC powlekanie CVD SIC VEETK jest precyzyjnym narzędziem zaprojektowanym do obsługi i przetwarzania waflów półprzewodników. Ta podatność na epitaksję powlekania SIC odgrywa istotną rolę w promowaniu wzrostu cienkich warstw, epilacyjnych i innych powłok, i może dokładnie kontrolować właściwości temperatury i materiału. Witaj swoje dalsze zapytania.

Powłoka CVD SIC VeteSemicon Epitaksy jest precyzyjnym narzędziem zaprojektowanym do przetwarzania opłatek półprzewodników. Ta podatność na epitaksję powlekania SIC odgrywa istotną rolę w promowaniu wzrostu cienkich warstw, epilacyjnych i innych powłok, i może dokładnie kontrolować właściwości temperatury i materiału. Witaj swoje dalsze zapytania.



PodstawowyFizyczne właściwości powłoki CVD SIC:

Podstawowe właściwości fizyczne powłoki CVD SIC
Nieruchomość
Typowa wartość
Struktura krystaliczna
FCC β faza polikrystaliczna, głównie (111) zorientowana
Gęstość
3,21 g/cm³
Twardość
2500 Vickers Twardość (500 g ładowanie)
Wielkość ziarna
2 ~ 10 mm
Czystość chemiczna
99,99995%
Pojemność cieplna
640 J · kg-1· K-1
Temperatura sublimacji
2700 ℃
Siła zginania
415 MPA RT 4-punktowy
Moduł Younga
430 GPA 4PT Bend, 1300 ℃
Przewodność cieplna
300 W · m-1· K-1
Rozbudowa termiczna (CTE)
4,5 × 10-6K-1

CVD SIC Coating Epitaksy Product Product Product:


● Precyzyjne zeznanie: Wrażliwość łączy wysoce przewodzący termicznie podłoże grafitowe z powłoką SIC, aby zapewnić stabilną platformę wsparcia dla substratów (takich jak Sapphire, SIC lub GAN). Jego wysoka przewodność cieplna (np. SIC wynosi około 120 W/m · k) może szybko przenosić ciepło i zapewnić jednolity rozkład temperatury na powierzchni podłoża, promując w ten sposób wysokiej jakości wzrost warstwy epitaksjalnej.

● Zmniejszone zanieczyszczenie: Powłoka SIC przygotowana przez proces CVD ma wyjątkowo wysoką czystość (zawartość zanieczyszczeń <5 ppm) i jest wysoce odporna na gazy korozyjne (takie jak Cl₂, NH₃), unikając zanieczyszczenia warstwy epitaksjalnej.

● Trwałość: Wysoka twardość SIC (twardość MOHS 9.5) i odporność na zużycie zmniejszają mechaniczną utratę podstawy podczas powtarzającego się użytkowania i są odpowiednie do procesów produkcji półprzewodników o wysokiej częstotliwości.



Vetesemicon jest zaangażowany w dostarczanie wysokiej jakości produktów i cen konkurencyjnych. Z niecierpliwością czekamy na bycie twoim długoterminowym partnerem w Chinach.


To półprzewodnik Sklepy produktów:

graphite-epi-susceptormocvd-led-epi-susceptorgraphite-epitaxygraphite-epitaxy-susceptor


Gorące Tagi: CVD SIC Coating Epitaksy Podatność
Wyślij zapytanie
Informacje kontaktowe
W przypadku pytań dotyczących powłoki z węglika krzemu, powłoki z węglika tantalu, specjalnego grafitu lub cennika, zostaw nam swój e-mail, a my skontaktujemy się z tobą w ciągu 24 godzin.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept