Wafle piezoelektryczne PZT (PZT na Si/SOI)

1. Architektura techniczna

Nasze wafle charakteryzują się wyrafinowaną wielowarstwową strukturą stosu zaprojektowaną w celu zapewnienia optymalnej przyczepności, przewodności i reakcji piezoelektrycznej podczas złożonego przetwarzania MEMS:

 ●Górna elektroda (warstwa kluczowa): Pt (Platyna).

● Warstwa piezoelektryczna (warstwa rdzeniowa): PZT.

● Warstwy pośrednie: Zawiera warstwę buforową, elektrodę dolną i warstwę adhezyjną w celu optymalizacji orientacji ziaren i stabilności strukturalnej.

● Podłoże: Kompatybilny z płytkami Si lub SOI.

2. Zapewnienie jakości i analiza mikrostruktury

Zapewniamy wysoką niezawodność poprzez rygorystyczną charakterystykę techniczną:

 ●Analiza SEM: Obrazy ze skaningowej mikroskopii elektronowej (SEM) ujawniają gęstą, pozbawioną pęknięć morfologię powierzchni z równomiernym rozkładem wielkości ziaren, idealną do zastosowań MEMS o wysokiej niezawodności.

 ●Charakterystyka XRD: Wzory dyfrakcji promieni rentgenowskich (XRD) potwierdzają tworzenie czystej fazy perowskitu o silnej (100) preferowanej orientacji, zapewniając maksymalne współczynniki wydajności piezoelektrycznej.

3. Dane techniczne (charakterystyka)

4. Podstawowe aplikacje

 ● Piezoelektryczne mikroobrobione przetworniki ultradźwiękowe (pMUT): Zminiaturyzowane układy o wysokiej częstotliwości do czujników odcisków palców, rozpoznawania gestów i samochodowych radarów ultradźwiękowych.

 ● Komunikacja: Klucz do produkcji filtrów FBAR lub SAW w 5G/6G w celu uzyskania szerszej przepustowości i niższych tłumienności wtrąceniowej.

 ● Akustyczne MEMS: Zapewnia potężną reakcję przejściową dla głośników MEMS i poprawia stosunek sygnału do szumu (SNR) dla mikrofonów MEMS.

 ● Precyzyjna kontrola cieczy: Szybkie wibracje w trybie d31 umożliwiające precyzyjną kontrolę objętości kropel w atramentowych głowicach drukujących w skali nanolitrów.

 ● Medycyna i uroda (mikropompowanie): Napędza nebulizatory medyczne lub kosmetyczne pompy ultradźwiękowe o wysokiej niezawodności i kompaktowych rozmiarach.

5. Usługi dostosowywania

Oprócz standardowego osadzania na płytkach Si, świadczymy również usługi osadzania na zamówienie:

 ●Dostosowywanie folii i grubości: Osadzanie określonych typów folii i niestandardowych grubości zgodnie z wymaganiami projektowymi.

 ●Odlewnia OEM: Przyjmowanie płytek dostarczonych od klientów do wysokiej jakości piezoelektrycznego wzrostu cienkowarstwowego.

 ●Wsparcie podłoża SOI: Specjalistyczne osadzanie na płytkach SOI o następujących specyfikacjach: