CVD SIC Coating Dummy Wafer

Funkcje produktu Vetesemi CVD SIC Coating Dummy Wafer:

● Opór gazu o wysokiej temperaturze: Wafel manekina SIC ma doskonałą odporność na erozję gazu o wysokiej temperaturze, odpowiednia do stosowania w ekstremalnych warunkach. Ta odporność zapewnia konsekwentną wydajność nawet w najbardziej wymagających środowiskach.

● Długoterminowa integralność strukturalna: Wafle z powłoką CVD SIC są zaprojektowane tak, aby odpierać zginanie i odkształcenie przez długi czas. Ich trwałość zapewnia, że ​​pozostają niezawodne w porównaniu z wieloma cyklami testowymi, zmniejszając potrzebę częstej wymiany.

● Powierzchnia bez cząstek: Wafle manekinowe SIC mają łatwą wczyszczoną powierzchnię, która minimalizuje problemy cząstek, co ma kluczowe znaczenie dla utrzymania środowiska bez zanieczyszczenia. Ta funkcja obsługuje wyniki wysokiej jakości i zmniejsza ryzyko wad.

● Stabilność chemiczna: Stabilność chemiczna obudowanego wafla powlekanego SIC pozwala mu wytrzymać różnorodne substancje żrące bez degradacji. Ta funkcja ma kluczowe znaczenie dla utrzymania integralności wafla podczas ekspozycji chemicznej.

Specyficzne zastosowania manekinów powlekanych CVD SIC ：

● Wszechstronne testy i eksperymenty: Pokryte manekiny SIC są niezbędne na wszystkich etapach produkcji półprzewodników, zapewniając bezpieczne i niezawodne środki testowania i eksperymentów. Są one niezbędne na początku procesu produkcyjnego, zapewniając, że wszystkie parametry są optymalne przed użyciem cennych płytek produkcyjnych.

● Ochrona podczas dyfuzji: Podczas procesu dyfuzyjnego wafle manekiny odgrywają istotną rolę, chroniąc standardowe wafle krzemowe. Ta funkcja ochronna zapobiega uszkodzeniom i zanieczyszczeniu, utrzymując w ten sposób integralność i jakość oryginalnego wafla.

● Dokładność pomiaru: Te płytki są starannie stosowane do pomiaru grubości filmu, odporności na ciśnienie i wskaźnika odblaskowego. Pomagają również wykryć obecność pinballów i oceniać wymiary wzorców w litografii, wnosząc znaczący wkład w dokładność procesu i redukcję wad.

W rzeczywistości VETEK Semiconductor obsługuje dostosowane usługi produktów i może zapewnić serializację zdefiniowaną przez użytkownika na każdej manekinie CVD SIC Coating według potrzeb klientów, umożliwiając dostosowany rozmiar i grubość. Niestandardowe grawerowanie laserowe dodatkowo eliminuje ryzyko zanieczyszczenia krzyżowego, zapewniając wysoki stopień czystości i niezawodności.

Dane SEM z filmu powlekania CVD SIC: