Produkty

Ekran półprzewodnikowy Vetesemicon półprzewodnikowy jest istotnym elementem w systemach chemicznych osadzania pary (MOCVD), odgrywając kluczową rolę w optymalizacji procesów wzrostu cienkiego filmu. Ta strona szczegółów produktu podkreśla ekrany kwarcowe VeteSemicon o wysokiej czystości, zaprojektowane w celu zwiększenia jednolitości, czystości i wydajności konserwacji sprzętu MOCVD.

Kwarc o wysokiej czystości jest niezbędny element podstawowy w zaawansowanych procesach produkcyjnych półprzewodników, szczególnie w przypadku zastosowań wymagających wyjątkowo wysokiej stabilności termicznej, czystości chemicznej i dokładności wymiarowej. Vetesemicon oferuje najwyższej klasy tyrcy o wysokiej czystości, zaprojektowane w celu zaspokojenia ekstremalnych wymagań procesów półprzewodnikowych.

Porowata ceramiczna chuck przez Vetesemicon jest precyzyjną platformą próżniową zaprojektowaną do bezpiecznego i wolnego od cząstek waflów w zaawansowanych procesach półprzewodników, takich jak trawienie, implantacja jonów, CMP i kontrola. Wyprodukowany z porowatego krzemowego węgliku o dużej czystości, oferuje wyjątkową przewodność cieplną, odporność chemiczną i wytrzymałość mechaniczną. Dzięki konfigurowalnym rozmiarom i wymiarom porów VeteSemicon dostarcza dostosowane rozwiązania w celu zaspokojenia rygorystycznych wymagań środowisk przetwarzania płytek czystych.

Nasze łodzie z waflami kwarcowymi są roztworem opłatek do opłat o wysokim czystości dostosowanym do procesów produkcyjnych półprzewodników, LED, ogniwa słonecznego i baterii. Ta łódź kwarcowa zaprojektowana w celu znoszenia wysokich temperatur i chemicznie agresywnych środowisk ma niską ekspansję cieplną, doskonałą izolację elektryczną i długoterminową stabilność wymiarową. Idealny do procesów dyfuzji, utleniania i LPCVD, obsługuje precyzyjne wyrównanie płytki i jest dostępny w różnych rozmiarach, aby spełnić różne wymagania sprzętu.

Płynce wspornikowe Vetesemicon sic to ramiona wsporcze węglików krzemowych o dużej czystości zaprojektowane do obsługi płytki w poziomych piecach dyfuzyjnych i reaktorach epitaksjalnych. Dzięki wyjątkowej przewodności cieplnej, odporności na korozję i wytrzymałości mechanicznej, łopatki te zapewniają stabilność i czystość w wymagających środowiskach półprzewodnikowych. Dostępne w niestandardowych rozmiarach i zoptymalizowane pod kątem długiej żywotności.

Blok SIC Vetesemicon jest przeznaczony do wysokowydajnego szlifowania i przerzedzania krzemowych i szafirowych waflów. Przy doskonałej przewodności cieplnej (≥120 W/m · K), wysokiej odporności na wstrząsy cieplne i doskonałej odporności na zużycie (MOHS ≥9), nasze bloki poprawia stabilność procesu i zmniejszają częstotliwość zmiany narzędzia. Dostępne w rozmiarach od 120 mm do 480 mm, z niestandardowymi opcjami i szybką dostawą w celu zaspokojenia różnorodnych potrzeb produkcyjnych.