Produkty

Pierścień grafitowy powlekany CVD TaC firmy Veteksemicon został zaprojektowany tak, aby spełniać ekstremalne wymagania przetwarzania płytek półprzewodnikowych. Wykorzystując technologię chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD), gęsta i jednolita powłoka z węglika tantalu (TaC) jest nakładana na podłoża grafitowe o wysokiej czystości, uzyskując wyjątkową twardość, odporność na zużycie i obojętność chemiczną. W produkcji półprzewodników pierścień grafitowy pokryty CVD TaC jest szeroko stosowany w komorach MOCVD, trawienia, dyfuzji i epitaksjalnym, służąc jako kluczowy element konstrukcyjny lub uszczelniający nośniki płytek, susceptory i zespoły ekranujące. Czekamy na dalsze konsultacje.

Porowaty pierścień grafitowy pokryty TaC, produkowany przez firmę VETEK, wykorzystuje lekkie porowate podłoże grafitowe i jest pokryty powłoką z węglika tantalu o wysokiej czystości, charakteryzującą się doskonałą odpornością na wysokie temperatury, gazy korozyjne i erozję plazmową

Łopatka wspornikowa z węglika krzemu firmy Veteksemicon została zaprojektowana z myślą o zaawansowanym przetwarzaniu płytek w produkcji półprzewodników. Wykonany z wysokiej czystości SiC, zapewnia wyjątkową stabilność termiczną, doskonałą wytrzymałość mechaniczną i doskonałą odporność na wysokie temperatury i środowiska korozyjne. Cechy te zapewniają precyzyjną obsługę płytek, dłuższą żywotność i niezawodne działanie w procesach takich jak MOCVD, epitaksja i dyfuzja. Zapraszamy do konsultacji.

Ceramiczny uchwyt próżniowy Veteksemicon SiC do płytek półprzewodnikowych został zaprojektowany tak, aby zapewnić wyjątkową precyzję i niezawodność w obróbce płytek półprzewodnikowych. Wyprodukowany z węglika krzemu o wysokiej czystości, zapewnia doskonałą przewodność cieplną, odporność chemiczną i doskonałą wytrzymałość mechaniczną, dzięki czemu idealnie nadaje się do wymagających zastosowań, takich jak trawienie, osadzanie i litografia. Jego wyjątkowo płaska powierzchnia gwarantuje stabilne podparcie płytek, minimalizując defekty i poprawiając wydajność procesu. ten uchwyt próżniowy to zaufany wybór do wydajnej obróbki płytek.

Pierścień ostrości Veteksemi z litego SiC znacznie poprawia równomierność trawienia i stabilność procesu poprzez precyzyjną kontrolę pola elektrycznego i przepływu powietrza na krawędzi płytki. Jest szeroko stosowany w precyzyjnych procesach trawienia krzemu, dielektryków i złożonych materiałów półprzewodnikowych i jest kluczowym elementem zapewniającym wydajność produkcji masowej i długoterminowe niezawodne działanie sprzętu.

W kluczowych etapach czyszczenia płytek, trawienia i trawienia na mokro kąpiel kwarcowa o wysokiej czystości to coś więcej niż tylko pojemnik; to pierwsza linia obrony sukcesu procesu. Zanieczyszczenie jonami metali, pękanie w wyniku szoku termicznego, atak chemiczny i pozostałości cząstek to ukryte przyczyny wahań wydajności. Firma Veteksemi jest głęboko zakorzeniona w kwarcu klasy półprzewodnikowej. Każda wyprodukowana przez nas wanna kwarcowa została zaprojektowana tak, aby zapewnić bezkompromisową niezawodność i czystość w najnowocześniejszych procesach.