Zastosowanie stałego krzemowego węgliku

Solidowe węglika krzemu jest zaawansowanym materiałem ceramicznym złożonym z krzemu (SI) i węgla (C). Nie jest to substancja powszechnie występująca w naturze i zwykle wymaga syntezy o wysokiej temperaturze. Jego unikalna kombinacja właściwości fizycznych i chemicznych sprawia, że ​​jest to kluczowy materiał, który działa dobrze w ekstremalnych środowiskach, szczególnie w produkcji półprzewodników.

Ⅰ. Kluczowe właściwości fizyczne stałego węgliku krzemu (stałe sic)

▶ Wysoka twardość i odporność na zużycie:

SIC ma twardość MOHS wynoszącą około 9-9,5, drugie tylko Diamond. Daje to doskonałą odporność na zarysowanie i zużycie, i działa dobrze w środowiskach, które muszą wytrzymać naprężenie mechaniczne lub erozję cząstek.

▶ Doskonała wytrzymałość i stabilność w wysokiej temperaturze

1. SIC może utrzymać swoją wytrzymałość mechaniczną i integralność strukturalną w wyjątkowo wysokich temperaturach (działając w temperaturach do 1600 ° C lub nawet wyższych, w zależności od rodzaju i czystości).

2. Jego niski współczynnik rozszerzalności cieplnej oznacza, że ​​ma dobrą stabilność wymiarową i nie jest podatny na deformację lub pękanie, gdy temperatura zmienia się drastycznie.

▶ Wysoka przewodność cieplna:

W przeciwieństwie do wielu innych materiałów ceramicznych, SIC ma stosunkowo wysoką przewodność cieplną. Pozwala to na efektywne prowadzenie i rozpraszanie ciepła, co ma kluczowe znaczenie dla zastosowań wymagających precyzyjnej kontroli temperatury i jednorodności.

Najwyższa bezwładność chemiczna i odporność na korozję:

SIC wykazuje wyjątkowo silną odporność na najsilniejsze kwasy, silne zasady i gazy korozyjne powszechnie stosowane w procesach półprzewodnikowych (takich jak gazy na bazie fluoru i chloru w środowiskach plazmowych), nawet w wysokich temperaturach. Ma to kluczowe znaczenie dla zapobiegania korozji lub zanieczyszczeniu składników komory procesowej.

▶ Potencjał wysokiej czystości:

Niezwykle wysokiej czystości powłoki SIC lub części stałych można wytwarzać poprzez określone procesy produkcyjne (takie jak chemiczne osadzanie pary - CVD). W produkcji półprzewodnikowej czystość materiału wpływa bezpośrednio na poziom zanieczyszczenia opłatek i wydajność produktu końcowego.

▶ Wysoka sztywność (moduł Younga):

SIC ma moduł wysokiego Younga, co oznacza, że ​​jest bardzo trudny i nie łatwy do odkształcenia pod obciążeniem. Jest to bardzo ważne dla komponentów, które muszą zachować precyzyjny kształt i rozmiar (takie jak przewoźnicy płytki).

▶ Dostrojenia właściwości elektryczne:

Chociaż jest często stosowany jako izolator lub półprzewodnik (w zależności od jego kryształowej postaci i domieszkowania), jego wysoka rezystywność pomaga w zarządzaniu zachowaniem w osoczu lub zapobiega niepotrzebnemu rozładowaniu łuku w niektórych zastosowaniach.

Ⅱ. Specyficzne zastosowania i zalety stałego krzemowego węgliku (solid SIC) gotowych produktów w produkcji półprzewodników

Na podstawie powyższych właściwości fizycznych SIC jest wytwarzany na różne komponenty precyzyjne i jest szeroko stosowane w wielu kluczowych linkach półprzewodnikowych procesów front-end.

1) Nośnik stałego wafla (stałe opłatek / łódź):

Aplikacja:

Służy do przenoszenia i przenoszenia płytek krzemowych w procesach o wysokiej temperaturze (takich jak dyfuzja, utlenianie, LPCVD-chemiczne osadzanie pary niskociśnieniowej).

Analiza zalet:

1. Stabilność wysokiej temperatury: W temperaturach procesu przekraczających 1000 ° C nosiciele SIC nie zmiękną, odkształcają ani zwisają tak łatwo jak kwarc i mogą dokładnie utrzymać odstępy w płytkach, aby zapewnić jednolitość procesu.

2. Długa żywotność i niska generowanie cząstek: twardość i odporność SIC znacznie przekraczają kwarc i nie jest łatwo wytwarzać małe cząsteczki do zanieczyszczenia płytek. Jego żywotność jest zwykle kilka razy, a nawet kilkadziesiąt razy większa niż kwarcowych przewoźników, zmniejszając częstotliwość wymiany i koszty konserwacji.

3. Newa chemiczne: Może odpierać erozję chemiczną w procesie atmosfery i zmniejszyć zanieczyszczenie wafla spowodowanego wytrąceniem własnych materiałów.

4. Przewodnictwo cieplne: Dobra przewodność cieplna pomaga osiągnąć szybkie i jednolite ogrzewanie i chłodzenie nośników i waflerzy, poprawia wydajność procesu i jednolitość temperatury.

5. Wysoka czystość: przewoźnicy SIC o dużej czystości mogą być wyprodukowane w celu spełnienia surowych wymagań zaawansowanych węzłów w celu kontroli zanieczyszczenia.

Wartość użytkownika:

Popraw stabilność procesu, zwiększyć wydajność produktu, skróć czas przestojów spowodowany awarią lub zanieczyszczeniem komponentów oraz zmniejsz całkowity koszt własności w dłuższej perspektywie.

2) Solid SIC w kształcie dysku / gazowy prysznic:

Aplikacja:

Zainstalowane na górze komory reakcyjnej wyposażenia, takiego jak trawienie plazmowe, chemiczne osadzanie pary (CVD), osadzanie warstwy atomowej (ALD) itp., Odpowiedzialne za równomierne rozkładanie gazów procesowych na powierzchnię opłatek poniżej.

Analiza przewagi:

1. Tolerancja w osoczu: W wysokoenergetycznym, chemicznie aktywnym środowisku plazmowym SIC Shower Head wykazuje wyjątkowo silną odporność na bombardowanie w osoczu i korozję chemiczną, która jest znacznie lepsza od kwarcu lub tlenku glinu.

2. Jednościowość i stabilność: precyzyjna głowica prysznicowa SIC może zapewnić równomiernie przepływ gazu na całej powierzchni opłat, co ma kluczowe znaczenie dla jednolitości grubości filmu, jednolitości składu lub szybkości trawienia. Ma dobrą długoterminową stabilność i nie jest łatwy do odkształcenia lub zatkania.

3. Zarządzanie termicznie: Dobra przewodność cieplna pomaga utrzymać jednolitość temperatury na powierzchni prysznicowej, co ma kluczowe znaczenie dla wielu procesów osadzania lub trawienia wrażliwego na ciepło.

4. Niskie zanieczyszczenie: Wysoka czystość i bezwładność chemiczna zmniejszają zanieczyszczenie własnych materiałów prysznicowych do tego procesu.

Wartość użytkownika:

Znacząco poprawiają jednolitość i powtarzalność wyników procesu, przedłużyć żywotność serwisu prysznica, skróć czas konserwacji i problemy z cząstkami oraz wspieraj bardziej zaawansowane i bardziej rygorystyczne warunki procesu.

3) Pierścień ogniskowania trawienia solidowego (pierścień ogniskowania / krawędzi stałego SIC):

Aplikacja:

Stosowany głównie w komorze urządzeń do trawienia plazmowego (takiej jak ccp plazmy sprzężonego z pojemnościami lub indukcyjnie sprzężonym plazmowym trawniku ICP), zwykle umieszczonym na krawędzi nośnika opłat (Chuck), otaczającego wafel. Jego funkcją jest ograniczenie i prowadzenie plazmy tak, aby działał bardziej równomiernie na powierzchni opłat, chroniąc inne elementy komory.

Analiza przewagi:

1. Silna odporność na erozję w osoczu: jest to najważniejsza zaleta pierścienia ostrości SIC. W wyjątkowo agresywnych plazmie trawienia (takich jak chemikalia zawierające fluor lub chlor), SIC nosi znacznie wolniej niż kwarc, tlenkopię, a nawet Yttria (tlenek Yttrium) i ma wyjątkowo długą żywotność.

2. Utrzymanie krytycznych wymiarów: Wysoka twardość i wysoka sztywność pozwalają pierścienie skupiające się SIC na lepsze utrzymanie swojego precyzyjnego kształtu i wielkości przez długi czas użytkowania, co ma kluczowe znaczenie dla stabilizacji morfologii plazmy i zapewnienia jednolitości trawienia.

3. Niskie wytwarzanie cząstek: ze względu na odporność na zużycie znacznie zmniejsza cząstki generowane przez starzenie składników, co poprawia wydajność.

4. Wysoka czystość: Unikaj wprowadzenia metalu lub innych zanieczyszczeń.

Wartość użytkownika:

Znacznie rozszerz cykle wymiany komponentów, znacznie zmniejsz koszty konserwacji i przestoje sprzętu; poprawić stabilność i powtarzalność procesów trawienia; Zmniejsz wady i popraw wydajność produkcji układów wysokiej klasy.

Ⅲ.Streszczenie

Wybitny węglik krzemowy stał się jednym z niezbędnych kluczowych materiałów we współczesnej produkcji półprzewodników ze względu na unikalną kombinację właściwości fizycznych - wysokiej twardości, wysokiej temperatury topnienia, wysokiej przewodności cieplnej, doskonałej stabilności chemicznej i odporności na korozję. Niezależnie od tego, czy jest to przewoźnik do przenoszenia płytek, głowica prysznicowa do kontrolowania dystrybucji gazu, czy pierścień ogniskowy dla prowadzenia plazmy, produkty solidne SIC pomagają producentom ChIP radzić sobie z coraz bardziej rygorystycznymi wyzwaniami procesowymi dzięki ich doskonałej wydajności i niezawodności, poprawie wydajności produkcji i wydajności produktu, a tym samym promować zrównoważony rozwój całej branży półprzewodnikowej.

Jako wiodący producent i dostawca stałych produktów z węglików krzemowych w Chinach,Semiconprodukty, takie jakSolidny przewoźnik / łódź wafla, Solid SIC w kształcie dysku / głowica prysznicowa, Pierścień ogniskowania / krawędzi stałego sitsą szeroko sprzedawane w Europie i Stanach Zjednoczonych i zdobyli wysokie uznanie i uznanie tych klientów. Z niecierpliwością oczekujemy, że zostaniemy twoim długoterminowym partnerem w Chinach. Witamy, aby skonsultować się.

Mob/WhatsApp: +86-180 6922 0752

E -mail: anny@veteksemi.com