Produkty
Krzemowa wiosła z węglikiem (sic)
  • Krzemowa wiosła z węglikiem (sic)Krzemowa wiosła z węglikiem (sic)

Krzemowa wiosła z węglikiem (sic)

Rola wiosłowania krzemowego (SIC) w branży półprzewodnikowej jest wsparcie i transport. W procesach o wysokiej temperaturze, takich jak dyfuzja i utlenianie, wiosłowanie wspornikowe SIC może stabilnie przenosić łodzie i płytki waflowe bez deformacji lub uszkodzenia z powodu wysokiej temperatury, zapewniając płynny postęp procesu. Dokonywanie dyfuzji, utleniania i innych procesów bardziej jednolite ma kluczowe znaczenie dla poprawy spójności i wydajności przetwarzania wafla. VETEK Semiconductor wykorzystuje zaawansowaną technologię do budowy wiosła wspornikowego SIC z węglikiem silikonowym o dużej czystości, aby upewnić się, że wafle nie będą zanieczyszczone. Vetek Semiconductor oczekuje długoterminowej współpracy z Produktami wiosłowania krzemowego (SIC).

Łopatka wspornikowa z węglika krzemu (SiC) jest niezbędnym kluczowym elementem w procesie przetwarzania płytek. Jest to głównie część systemu transportu płytek. Podejmuje ważne zadanie przenoszenia i transportu płytek w urządzeniach takich jak wysokotemperaturowe piece utleniająco-dyfuzyjne, zapewniając koncentryczność wafla i rury pieca oraz poprawiając konsystencję i wydajność przetwarzania płytek.


Paddle SIC wspornik ma doskonałą wydajność w wysokiej temperaturze: w środowisku o wysokiej temperaturze do 1600 ℃, wiosłowca SIC może nadal utrzymywać wysoką wytrzymałość i stabilność, nie będzie deformację, uszkodzenie i inne problemy i może działać stabilnie przez długi czas.


Łopatka wspornikowa z węglika krzemu jest wykonana z materiału SiC o wysokiej czystości i żadne cząsteczki nie odpadną podczas przetwarzania płytki, unikając zanieczyszczenia powierzchni płytki. Materiał z węglika krzemu ma wysoką wytrzymałość na zginanie i może wytrzymać większe naprężenia podczas przenoszenia większej liczby płytek i nie jest podatny na pękanie, zapewniając bezpieczeństwo i stabilność procesu przenoszenia płytek. Doskonała stabilność chemiczna SiC sprawia, że ​​łopatki wspornikowe SiC są odporne na korozję powodowaną przez różne chemikalia i gazy, zapobiegają zanieczyszczeniu płytki w wyniku korozji materiału i wydłużają żywotność produktu.


SiC Cantilever Paddle working diagram

Schemat działania łopatki wspornikowej SiC


Specyfikacje produktu


● Różne rozmiary: Oferujemy łopatki wspornikowe z węglika krzemu (SiC) o różnych rozmiarach, aby zaspokoić potrzeby różnych typów sprzętu półprzewodnikowego i obróbki płytek o różnych rozmiarach.


●  Dostosowana usługa: Oprócz produktów o standardowej specyfikacji możemy również tworzyć ekskluzywne rozwiązania dla klientów zgodnie z ich specjalnymi wymaganiami, takimi jak określony rozmiar, kształt, nośność itp.


●  Jednoczęściowa konstrukcja formowania: Zazwyczaj jest produkowany przy użyciu jednoczęściowego procesu formowania, w tym sekcji łączącej, sekcji przejściowej i sekcji łożyska. Części są ściśle połączone i mają silną integralność, co skutecznie poprawia wytrzymałość strukturalną i stabilność produktu oraz zmniejsza ryzyko awarii spowodowanej przez słabe części połączenia.


●  Wzmocniona struktura: Niektóre produkty są wyposażone w konstrukcje wzmacniające w kluczowych częściach, takich jak sekcja przejściowa, taka jak płyta dolna, płyta dociskowa, korbowód itp., co dodatkowo zwiększa wytrzymałość połączenia pomiędzy sekcją przejściową a sekcją łączącą i sekcją nośną , poprawia niezawodność łopatki wspornikowej SiC o wysokiej czystości podczas przenoszenia płytki i zapobiega problemom, takim jak pęknięcia w obszarze przejściowym.


●  Specjalny projekt obszaru łożyska: Projekt obszaru łożyska w pełni rozważa umieszczenie i przenoszenie ciepła opłatek. Niektóre produkty są wyposażone w rowki w kształcie litery U, długie otwory paski, prostokątne otwory i inne struktury w obszarze łożyska, co nie tylko zmniejsza ciężar samego obszaru łożyska, ale także zmniejsza obszar kontaktu z opłatą, aby uniknąć blokowania ciepła. Jednocześnie może również zapewnić stabilność opłatek podczas transmisji i zapobiec upadkowi wafla.


Właściwości fizyczne rekrystalizowanego węglika krzemu:

Nieruchomość
Typowa wartość
Temperatura pracy (°C)
1600 ° C (z tlenem), 1700 ° C (środowisko redukujące)
Zawartość SiC
> 99,96%
Darmowa zawartość SI
< 0,1%
Gęstość nasypowa
2,60-2,70 g/cm23
Pozorna porowatość
< 16%
Pozorna porowatość
> 600 MPa
Zimna siła zginania
80-90 MPa (20°C)
Gorąca siła zginania
90-100 MPa (1400 ° C)
Rozszerzanie termiczne @1500 ° C.
4,70 10-6/°C
Przewodność cieplna @1200 ° C.
23 W/m • k
Moduł sprężystości
240 GPA
Odporność na szok termiczny
Niezwykle dobry


Podczas procesu produkcyjnego każda łopatka wspornikowa z węglika krzemu (SiC) musi przejść rygorystyczne kontrole jakości, w tym kontrolę dokładności wymiarowej, kontrolę wyglądu, badanie właściwości fizycznych, badanie stabilności chemicznej itp., aby upewnić się, że produkt spełnia wysokie standardy jakości i może spełniać rygorystyczne wymagania dotyczące przetwarzania płytek półprzewodnikowych.


VETEK SEMICONDUCTOR zapewnia pełny zakres usług posprzedażnych. Jeśli klienci napotkają jakiekolwiek problemy podczas użytkowania, profesjonalny zespół po sprzedaży zareaguje w odpowiednim czasie i zapewni klientom szybkie i skuteczne rozwiązania, aby zapewnić, że nie wpłynie to na produkcję klientów.



To półprzewodnikZakłady produkcyjne łopatek wspornikowych SiC o wysokiej czystości:


SiC Coating substrateTaC coated guide ring testSilicon carbide ceramic processingSemiconductor process equipment

Gorące Tagi: Krzemowa wiosła z węglikiem (sic)
Wyślij zapytanie
Informacje kontaktowe
For inquiries about Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite or price list, please leave your email to us and we will be in touch within 24 hours.
X
Używamy plików cookie, aby zapewnić lepszą jakość przeglądania, analizować ruch w witrynie i personalizować zawartość. Korzystając z tej witryny, wyrażasz zgodę na używanie przez nas plików cookie.Polityka prywatności
OdrzucićPrzyjąć