Produkty
Krzemowa wiosła z węglikiem (sic)
  • Krzemowa wiosła z węglikiem (sic)Krzemowa wiosła z węglikiem (sic)

Krzemowa wiosła z węglikiem (sic)

Rola wiosłowania krzemowego (SIC) w branży półprzewodnikowej jest wsparcie i transport. W procesach o wysokiej temperaturze, takich jak dyfuzja i utlenianie, wiosłowanie wspornikowe SIC może stabilnie przenosić łodzie i płytki waflowe bez deformacji lub uszkodzenia z powodu wysokiej temperatury, zapewniając płynny postęp procesu. Dokonywanie dyfuzji, utleniania i innych procesów bardziej jednolite ma kluczowe znaczenie dla poprawy spójności i wydajności przetwarzania wafla. VETEK Semiconductor wykorzystuje zaawansowaną technologię do budowy wiosła wspornikowego SIC z węglikiem silikonowym o dużej czystości, aby upewnić się, że wafle nie będą zanieczyszczone. Vetek Semiconductor oczekuje długoterminowej współpracy z Produktami wiosłowania krzemowego (SIC).

Łopatka wspornikowa z węglika krzemu (SiC) jest niezbędnym kluczowym elementem w procesie przetwarzania płytek. Jest to głównie część systemu transportu płytek. Podejmuje ważne zadanie przenoszenia i transportu płytek w urządzeniach takich jak wysokotemperaturowe piece utleniająco-dyfuzyjne, zapewniając koncentryczność wafla i rury pieca oraz poprawiając konsystencję i wydajność przetwarzania płytek.


Paddle SIC wspornik ma doskonałą wydajność w wysokiej temperaturze: w środowisku o wysokiej temperaturze do 1600 ℃, wiosłowca SIC może nadal utrzymywać wysoką wytrzymałość i stabilność, nie będzie deformację, uszkodzenie i inne problemy i może działać stabilnie przez długi czas.


Łopatka wspornikowa z węglika krzemu jest wykonana z materiału SiC o wysokiej czystości i żadne cząsteczki nie odpadną podczas przetwarzania płytki, unikając zanieczyszczenia powierzchni płytki. Materiał z węglika krzemu ma wysoką wytrzymałość na zginanie i może wytrzymać większe naprężenia podczas przenoszenia większej liczby płytek i nie jest podatny na pękanie, zapewniając bezpieczeństwo i stabilność procesu przenoszenia płytek. Doskonała stabilność chemiczna SiC sprawia, że ​​łopatki wspornikowe SiC są odporne na korozję powodowaną przez różne chemikalia i gazy, zapobiegają zanieczyszczeniu płytki w wyniku korozji materiału i wydłużają żywotność produktu.


SiC Cantilever Paddle working diagram

Schemat działania łopatki wspornikowej SiC


Specyfikacje produktu


● Różne rozmiary: Oferujemy łopatki wspornikowe z węglika krzemu (SiC) o różnych rozmiarach, aby zaspokoić potrzeby różnych typów sprzętu półprzewodnikowego i obróbki płytek o różnych rozmiarach.


●  Dostosowana usługa: Oprócz produktów o standardowej specyfikacji możemy również tworzyć ekskluzywne rozwiązania dla klientów zgodnie z ich specjalnymi wymaganiami, takimi jak określony rozmiar, kształt, nośność itp.


●  Jednoczęściowa konstrukcja formowania: Zazwyczaj jest produkowany przy użyciu jednoczęściowego procesu formowania, w tym sekcji łączącej, sekcji przejściowej i sekcji łożyska. Części są ściśle połączone i mają silną integralność, co skutecznie poprawia wytrzymałość strukturalną i stabilność produktu oraz zmniejsza ryzyko awarii spowodowanej przez słabe części połączenia.


●  Wzmocniona struktura: Niektóre produkty są wyposażone w konstrukcje wzmacniające w kluczowych częściach, takich jak sekcja przejściowa, taka jak płyta dolna, płyta dociskowa, korbowód itp., co dodatkowo zwiększa wytrzymałość połączenia pomiędzy sekcją przejściową a sekcją łączącą i sekcją nośną , poprawia niezawodność łopatki wspornikowej SiC o wysokiej czystości podczas przenoszenia płytki i zapobiega problemom, takim jak pęknięcia w obszarze przejściowym.


●  Specjalny projekt obszaru łożyska: Projekt obszaru łożyska w pełni rozważa umieszczenie i przenoszenie ciepła opłatek. Niektóre produkty są wyposażone w rowki w kształcie litery U, długie otwory paski, prostokątne otwory i inne struktury w obszarze łożyska, co nie tylko zmniejsza ciężar samego obszaru łożyska, ale także zmniejsza obszar kontaktu z opłatą, aby uniknąć blokowania ciepła. Jednocześnie może również zapewnić stabilność opłatek podczas transmisji i zapobiec upadkowi wafla.


Właściwości fizyczne rekrystalizowanego węglika krzemu:

Nieruchomość
Typowa wartość
Temperatura pracy (°C)
1600 ° C (z tlenem), 1700 ° C (środowisko redukujące)
Zawartość SiC
> 99,96%
Darmowa zawartość SI
< 0,1%
Gęstość nasypowa
2,60-2,70 g/cm23
Pozorna porowatość
< 16%
Pozorna porowatość
> 600 MPa
Zimna siła zginania
80-90 MPa (20°C)
Gorąca siła zginania
90-100 MPa (1400 ° C)
Rozszerzanie termiczne @1500 ° C.
4,70 10-6/°C
Przewodność cieplna @1200 ° C.
23 W/m • k
Moduł sprężystości
240 GPA
Odporność na szok termiczny
Niezwykle dobry


Podczas procesu produkcyjnego każda łopatka wspornikowa z węglika krzemu (SiC) musi przejść rygorystyczne kontrole jakości, w tym kontrolę dokładności wymiarowej, kontrolę wyglądu, badanie właściwości fizycznych, badanie stabilności chemicznej itp., aby upewnić się, że produkt spełnia wysokie standardy jakości i może spełniać rygorystyczne wymagania dotyczące przetwarzania płytek półprzewodnikowych.


VETEK SEMICONDUCTOR zapewnia pełny zakres usług posprzedażnych. Jeśli klienci napotkają jakiekolwiek problemy podczas użytkowania, profesjonalny zespół po sprzedaży zareaguje w odpowiednim czasie i zapewni klientom szybkie i skuteczne rozwiązania, aby zapewnić, że nie wpłynie to na produkcję klientów.



To półprzewodnikZakłady produkcyjne łopatek wspornikowych SiC o wysokiej czystości:


SiC Coating substrateTaC coated guide ring testSilicon carbide ceramic processingSemiconductor process equipment

Gorące Tagi: Krzemowa wiosła z węglikiem (sic)
Wyślij zapytanie
Informacje kontaktowe
W przypadku pytań dotyczących powłoki z węglika krzemu, powłoki z węglika tantalu, specjalnego grafitu lub cennika, zostaw nam swój e-mail, a my skontaktujemy się z tobą w ciągu 24 godzin.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept