Epitaksja z węglików krzemowych

Przygotowanie wysokiej jakości silikonowej epitaxy zależy od zaawansowanej technologii oraz akcesoriów sprzętu i sprzętu. Obecnie najczęściej stosowaną metodą wzrostu epitaxii węgla krzemu jest chemiczne osadzanie pary (CVD). Ma zalety precyzyjnej kontroli grubości folii epitaksjalnej i stężenia domieszkowania, mniejszej liczby wad, umiarkowanej szybkości wzrostu, automatycznej kontroli procesu itp., I jest niezawodną technologią, która została pomyślnie stosowana na rynku.

Epitaksja CVD z węgla krzemu zwykle przyjmuje sprzęt CVD na gorącą ścianę lub ciepłą ścianę, który zapewnia kontynuację epitaksji warstwy krystalicznej SIC w warunkach wysokiej temperatury wzrostu (1500 ~ 1700 ℃), gorąca ściana lub ciepła ściana CVD po latach rozwoju, zgodnie z zależnością między kierunkiem przepływu powietrza i podłożem, komorę reakcji można podzielić na horyzontową strukturę i pionową konstrukcję reakcji reakcji i pionowej.

Istnieją trzy główne wskaźniki jakości pieca epitaksjalnego SIC, pierwszym jest wydajność wzrostu epitaksjalnego, w tym jednolitość grubości, jednorodność domieszkowania, szybkość defektów i tempo wzrostu; Drugi to wydajność temperatury samego sprzętu, w tym szybkość ogrzewania/chłodzenia, maksymalna temperatura, jednorodność temperatury; Wreszcie wydajność kosztów samego sprzętu, w tym cena i pojemność jednej jednostki.

Trzy rodzaje krzemowej węglika epitaksjalnego pieca wzrostu i podstawowe akcesoria różnice

Gorąca ściana pozioma CVD (typowy model PE1O6 z LPE Company), CVD Planetary Warm Planetary (typowy model Aixtron G5WWC/G10) i quasi ściany CVD (reprezentowane przez Epirevos6 firmy Nuflare) to główne rozwiązania techniczne sprzętu epitazyjnego, które zostały zrealizowane w zastosowaniach komercyjnych na tym etapie. Trzy urządzenia techniczne mają również własne cechy i można je wybrać zgodnie z popytem. Ich struktura jest pokazana w następujący sposób:

Odpowiednie elementy podstawowe są następujące:

(a) Gorąca ściana pozioma rdzeń części części składa się z części

Izolacja w dół

Główna górna izolacja

Górna półmoon

Izolacja w górę

Przejście 2

Przejście 1

Zewnętrzna dysza powietrzna

Zwężająca się snorkel

Zewnętrzna dysza gazowa

Dysza gazowa argonowa

Płytka podpalkowa

PIN CENTRING

Gwardia centralna

Okładka ochronna w dół rzeki

Downstream PRAWA Okładka ochronna

Upstream lewa osłona ochrony

PRAWA OBRAZ PRAWNE

Ściana boczna

Pierścień grafitowy

Felt ochronny

Wspieranie filcu

Blok kontaktowy

Cylinder wylotowy gazu

(b) Typ planetarny ciepłej ściany

Dysk planetarny i TAC powlekany TAC

(c) Quasi-Thermal Wall Rodzaj

NUFLARE (Japonia): Ta firma oferuje podwójne piece pionowe, które przyczyniają się do zwiększonej wydajności produkcji. Sprzęt ma szybką obrót do 1000 obrotów na minutę, co jest bardzo korzystne dla jednolitości epitaksjalnej. Ponadto jego kierunek przepływu powietrza różni się od innych urządzeń, będąc pionowo w dół, minimalizując w ten sposób wytwarzanie cząstek i zmniejszając prawdopodobieństwo spadania kropelek cząstek na wafle. Zapewniamy podstawowe komponenty grafitowe powlekane SIC dla tego sprzętu.

Jako dostawca elementów sprzętu epitaksjalnego SIC, Vetek Semiconductor jest zaangażowany w dostarczanie klientom wysokiej jakości komponentów powlekania w celu wsparcia pomyślnej wdrażania epitaxy SIC.

View as

Dysza do powlekania CVD SiC

Dysze powlekania CVD SIC są kluczowymi składnikami stosowanymi w procesie epitaksji LPE SIC w celu osadzania materiałów z węglika krzemu podczas produkcji półprzewodnikowej. Te dysze są zwykle wykonane z wysokiej temperatury i chemicznie stabilnego materiału z węglików krzemowych, aby zapewnić stabilność w trudnych środowiskach przetwarzania. Zaprojektowane do jednolitego osadzania, odgrywają kluczową rolę w kontrolowaniu jakości i jednorodności warstw epitaksjalnych uprawianych w zastosowaniach półprzewodnikowych. Witaj swoje dalsze zapytanie.

Zobacz więcej >> Wyślij zapytanie >>

CVD SIC Coating Protector

Zastosowanym obrońcą powlekania CVD SIC VEETK SIC jest Epitaksja LPE, termin „LPE” zwykle odnosi się do epitaksji niskiego ciśnienia (LPE) w osadzaniu się chemicznym pary (LPCVD). W produkcji półprzewodników LPE jest ważną technologią procesu dla uprawy cienkich folii z pojedynczych kryształów, często używanych do uprawy warstw epitaksjalnych silikonowych lub innych warstw epitaksyjnych półprzewodnikowych. PLS Bez wahania się z nami skontaktuj się z nami, aby uzyskać więcej pytań.

Zobacz więcej >> Wyślij zapytanie >>

Cokół pokryty SiC

Vetek Semiconductor jest profesjonalny w wytwarzaniu powlekania CVD SIC, powłoki TAC na materiale grafitu i krzemowym. Zapewniamy produkty OEM i ODM, takie jak SIC powlekane cokołami, przewoźnik opłat, płytki Chuck, Tray Pefer, dysk planetarny itd. Z czystym pomieszczeniem i urządzeniem do oczyszczania 1000, możemy dostarczyć produkty z zanieczyszczenia poniżej 5pp. od ciebie wkrótce.

Zobacz więcej >> Wyślij zapytanie >>

Pierścień wlotowy z powłoką SiC

Vetek Semiconductor wyróżnia się ściśle współpracując z klientami, aby stworzyć projekty na zamówienie dla pierścienia wlotowego SIC, dostosowanego do określonych potrzeb. Ten pierścień wlotowy SIC jest skrupulatnie zaprojektowany do różnych zastosowań, takich jak CVD SIC Equipment i Epitaksja z węglika krzemu. W przypadku dopasowanych rozwiązań wlotowych SIC Coating Ring, nie wahaj się skontaktować się z Vetek Semiconductor w celu spersonalizowanej pomocy.

Zobacz więcej >> Wyślij zapytanie >>

Pierścień rozgrzewający

Pierścień podgrzewający służy w procesie epitaksji półprzewodników do wstępnego podgrzewania płytek i zapewnienia bardziej stabilnej i jednolitej temperatury płytek, co ma ogromne znaczenie dla wysokiej jakości wzrostu warstw epitaksji. Vetek Semiconductor ściśle kontroluje czystość tego produktu, aby zapobiec ulatnianiu się zanieczyszczeń w wysokich temperaturach. Zapraszamy do dalszej dyskusji z nami.

Zobacz więcej >> Wyślij zapytanie >>

Trzpień do podnoszenia opłatka

VETEK Semiconductor jest wiodącym producentem i innowatorem pinu podnoszenia EPI w Chinach. Od wielu lat specjalizujemy się w powładzie SIC na powierzchni grafitu. Oferujemy szpilkę do podnoszenia EPI do procesu EPI. Dzięki wysokiej jakości i konkurencyjnej cenie witamy Cię do odwiedzenia naszej fabryki w Chinach.

Zobacz więcej >> Wyślij zapytanie >>

Veteksemicon silicon carbide epitaxy is your advanced procurement option for producing high-performance 4H-SiC and 6H-SiC epitaxial layers used in wide bandgap semiconductor devices. SiC epitaxy enables the formation of defect-controlled, dopant-engineered epitaxial layers critical for high-power, high-frequency, and high-temperature electronic devices.

Our offering includes specialized components such as SiC epitaxial susceptors, SiC-coated wafer holders, and epitaxy process rings, tailored for use in horizontal and vertical MOCVD and CVD reactors, including platforms by Veeco, Aixtron, and LPE. Veteksemicon’s parts are coated with high-purity CVD SiC, ensuring chemical compatibility, temperature uniformity, and minimal contamination during epitaxial layer growth.

Silicon carbide epitaxy is essential for fabricating power MOSFETs, IGBTs, and RF components, particularly in automotive, energy, and aerospace applications. The epitaxial process requires extremely precise control over doping concentration, layer thickness, and crystallographic orientation, which is why substrate compatibility and thermal stability of reactor parts are critical.

Relevant terms in this category include 4H-SiC epitaxial wafer, low-defect-density epitaxy, SiC epi-ready substrates, and wide bandgap semiconductors. Veteksemicon supports both research-scale and volume production needs with stable, repeatable, and thermally robust component solutions.

To learn more about our silicon carbide epitaxy support materials, visit the Veteksemicon product detail page or contact us for detailed specifications and engineering support.

Jako profesjonalny producent i dostawca w Chinach mamy własną fabrykę. Niezależnie od tego, czy potrzebujesz dostosowanych usług, aby zaspokoić konkretne potrzeby twojego regionu, czy chcesz kupić zaawansowane i trwałe Epitaksja z węglików krzemowych wyprodukowane w Chinach, możesz zostawić nam wiadomość.

Kod QR

O nas

Produkty

Skontaktuj się z nami

Telefon
+86-18069220752
Faks
+86-579-87223657
E-mail
anny@veteksemi.com
Adres
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, prowincja Zhejiang, Chiny

Menu internetowe

Wyszukiwarka produktów

Język

Wyjdź z menu

Epitaksja z węglików krzemowych

Trzy rodzaje krzemowej węglika epitaksjalnego pieca wzrostu i podstawowe akcesoria różnice

Odpowiednie elementy podstawowe są następujące:

(a) Gorąca ściana pozioma rdzeń części części składa się z części

(b) Typ planetarny ciepłej ściany

(c) Quasi-Thermal Wall Rodzaj

Dysza do powlekania CVD SiC

CVD SIC Coating Protector

Cokół pokryty SiC

Pierścień wlotowy z powłoką SiC

Pierścień rozgrzewający

Trzpień do podnoszenia opłatka

Wyślij zapytanie

Kod QR

O nas

Produkty

Skontaktuj się z nami

Telefon

Faks

E-mail

Adres