CVD SIC Coating Protector

Pozycjonowanie produktu i funkcje rdzeniowe ：

Protektor powlekania CVD SIC jest kluczowym elementem sprzętu epitaksjalnego węgla krzemowego, stosowanego głównie do ochrony wewnętrznej struktury komory reakcyjnej i poprawy stabilności procesu. Jego podstawowe funkcje obejmują:

Ochrona ochrony korozji: powłoka z węglika krzemu utworzona w procesie chemicznego odkładania pary (CVD) może oprzeć się chemicznej korozji chloru/fluoru plazmy i jest odpowiednia do trudnych środowisk, takich jak sprzęt do trawienia;

Zarządzanie termicznie: Wysoka przewodność cieplna materiału węgla krzemu może zoptymalizować jednolitość temperatury w komorze reakcyjnej i poprawić jakość warstwy epitaksjalnej;

Zmniejszenie zanieczyszczenia: Jako komponent podszewki może zapobiec bezpośrednim kontaktowaniu się z komorą i przedłużenia cyklu konserwacji sprzętu.

Charakterystyka techniczna i projekt ：

Projekt konstrukcyjny:

Zwykle podzielone na górne i dolne półksiężycowe części, symetrycznie zainstalowane wokół tacy, tworząc strukturę ochronną w kształcie pierścienia;

Współpracowanie z komponentami, takimi jak tace i głowice prysznicowe w celu optymalizacji dystrybucji przepływu powietrza i efektów skupienia plazmy.

Proces powlekania:

Metoda CVD jest stosowana do osadzania powłok SIC o wysokiej ostrości, z jednolitością grubości filmu w granicach ± ​​5% i chropowatością powierzchni tak niską jak RA ≤ 0,5 μm;

Typowa grubość powłoki wynosi 100-300 μm i może wytrzymać środowisko o wysokiej temperaturze 1600 ℃.

Scenariusze aplikacji i zalety wydajności ：

Odpowiedni sprzęt:

Użyte głównie do 6-calowego 8-calowego silikonowego pieca węglika LPE, wspierającego homoepitaksjalny wzrost SIC;

Nadaje się do urządzeń do trawienia, sprzętu MOCVD i innych scenariuszy wymagających wysokiej odporności na korozję.

Kluczowe wskaźniki:

Współczynnik rozszerzalności cieplnej: 4,5 × 10⁻⁶/k (dopasowanie do podłoża grafitowego w celu zmniejszenia naprężenia termicznego);

Rezystywność: 0,1-10 Ω · cm (spełniające wymagania przewodności);

Życie serwisowe: 3-5 razy dłuższe niż tradycyjne materiały kwarcowe/krzemowe.

Bariery techniczne i wyzwania

Produkt ten musi przezwyciężyć trudności procesowe, takie jak kontrola jednorodności powlekania (takie jak kompensacja grubości krawędzi) i optymalizacja wiązania interfejsu powlekania podłoża (≥30 MPa), a jednocześnie musi dopasować rotację szybkiej (1000 obr / min) i wymagania dotyczące gradientu temperatury sprzętu LPE.