Aktualności

W świecie wytwarzania półprzewodników o wysokich stawkach precyzja i stabilność są wszystkim-i tam wkracza elektrostatyczne Chuck (ESC). O wiele więcej niż tylko narzędzie do trzymania, ESC wykorzystuje siły elektrostatyczne, aby bezpiecznie zaciskać płytki podczas krytycznych procesów, takich jak trawienie, osadzanie i implantacja jonów. Ale jak to naprawdę działa? Dlaczego jest lepszy od tradycyjnego mechanicznego zacisku? I jaką rolę odgrywa w osiąganiu dokładności nanoskali i wydajności przepustowości? Witamy w przeczytaniu.

Zasada Dechucka elektrostatycznego chucka jest kluczową częścią jego przepływu pracy, który obejmuje eliminację siły elektrostatycznej i mechanizmy uwalniania płytek.

Szklisty węgiel to nie wykonany węgiel, który łączy właściwości szkła i ceramiki. Ma wiele właściwości, takich jak odporność na wysoką temperaturę, odporność na korozję, dobra przewodność elektryczna itp. Ten blog analizuje historię badań i przyszły trend rozwoju szklanego węgla, który warto przeczytać.